EV-reeks saamgestelde molekulêre pompe
EV-reeks Tegniese Data
Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Inlaatflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Uitlaatflens (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Pompspoed (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Kompressieverhouding | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | > 8x103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Uiteindelike vakuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Rotasiespoed (rpm) | 24 000 | 24 000 | 24 000 | ||||
Vibrasie | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Aanlooptyd (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
Rugsteunpomp | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Verkoelingsmetode | Water(lug) verkoeling | Water(lug) verkoeling | Water(lug) verkoeling | ||||
Koelwatertemperatuur (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Omgewingstemperatuur (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Verkoelingswatervloeihoeveelheid | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
Uitbaktemperatuur (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Verwarmerkrag (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Verwarmer insetspanning (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Montering | Vertikaal ±5° | Vertikaal ±5° | Vertikaal ±5° | ||||
Gewig (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Atmosferiese pompkurwe van verbinding
Molekulêre pomp
Samepersverhoudingkromme van stikstof en waterstof
deur saamgestelde molekulêre pomp
EV-reeks installasie-afmetingstabel van saamgestelde molekulêre pomp
Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Inlaatflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Pomppoot-skroefgat | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Uitlaatflens (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV-reeks lugverkoeling saamgestelde molekulêre pompe
EV-reeks lugverkoelde saamgestelde molekulêre pomp bestaan uit turbomolekulêre pomp en skyf-traksiepomp.Dit het die kenmerke van hoë pompspoed en kompressieverhouding vir molekulêre vloei van turbomolekulêre pomp, hoë pompspoed en kompressieverhouding vir hoë druk van traksiepomp, en brei die toepassingsomvang van molekulêre pomp uit.
Die saamgestelde molekulêre pomp het geen selektiwiteit en geheue effek op die gepompte gas nie.As gevolg van sy hoë kompressieverhouding tot die gas met 'n groot molekulêre gewig, kan die pomp skoon hoë en ultrahoë vakuum verkry sonder koue lokval en olieskerm.Dit word wyd gebruik in verskeie velde van elektronika, metallurgie, chemiese industrie, wetenskaplike navorsing en vakuumtegnologie.
Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Inlaatflens (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Pomppoot-skroefgat | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |