Groot pompspoed duursaam Lae geraas DRV roterende vaan lugpomp vakuumpomp
Die DRV-reeks vakuumpomp is 'n dubbelstadium roterende vaanolie-verseëlde vakuumpomp wat geskik is vir lae en medium vakuumtoepassings, hoofsaaklik gebruik om lug en ander droë gasse te verwyder.Dit is een van die belangrikste toerusting vir lae en medium vakuum, dit kan alleen of as 'n voorpunt gebruik word
pomp van ander vakuumpompe.
Die vakuumpomp het die kenmerke van betroubare werkverrigting, minder slytende dele, lae vibrasie, lae geraas en hoë doeltreffendheid.
Die SV-reeks vakuumpomp word van buitelandse gevorderde tegnologie ingevoer, en die sleutelkomponente is ingevoerde komponente of ingevoer
materiaal.Die DRV-reeks vakuumpomp kan soortgelyke buitelandse produkte heeltemal vervang.
Brosjure vir die EVFB-reeks molekulêre pompproduk
Model:
EVFB-100/301 Saamgestelde geïntegreerde molekulêre pomp
EVFB-160/401 Saamgestelde geïntegreerde molekulêre pomp
EVFB-160/450D Anti-vibrasie molekulêre pomp
EVFB-160/701Saamgestelde geïntegreerde molekulêre pomp
EVFB-200/1401 Saamgestelde geïntegreerde molekulêre pomp
EVFB-250/2201 Saamgestelde geïntegreerde molekulêre pomp
EVFB-160/701 Saamgestelde molekulêre pomp
EVFB-200/1401 Saamgestelde molekulêre pomp
EVFB-250/2201 Saamgestelde molekulêre pomp
EVFB-400/3600 turbo molekulêre pomp
EVFB-400/4500 turbo molekulêre pomp
Produk Oorsig
Molekulêre pomp is 'n soort hoë spoed roterende momentum oordrag vakuum pomp, sy werk druk reeks is oor die algemeen 10-1Pa ~ 10-7Pa, is een van die belangrike vakuumverkrygingstoerusting om hoë vakuum en ultrahoë vakuum te bereik.Molekulêre pomp het die voordele van vinnige aanskakelspoed, wye werkbereik, lae kragverbruik, hoë netheid en eenvoudige instandhouding.
Molekulêre pompprodukte wat in hierdie voorbeeldboek beskryf word, is die tweede generasie produkte
nuut van stapel gestuur deur die maatskappy, wat hoofsaaklik ontwerp en geoptimaliseer is vir industriële vakuum en wetenskaplike navorsing velde, insluitend die eerste reeks van industriële vakuum molekulêre pomp produkte met geïntegreerde beheerders en buigsame toepassing scenario's.Volgens die kaliber is daar hoofsaaklik DN100, DN160, DN200, DN250 en DN400 en ander produkte.
Vet gesmeerde integrale molekulêre pomp
Belangrikste kenmerke van hierdie reeks produkte:
（1） Geïntegreerde kontroleerder: Geïntegreerde beheerderontwerp，Fasiliteer stelselintegrasie， 'n Sleutel begin-stop；
（2） Presisie laer: Vetsmeer presisie keramiek kogellager， geïnstalleer teen enige hoek；
（3） Hoë betroubaarheid: Algehele rotors，BLDC-dryftegnologie；
（4） Funksionele diversiteit: Volledige reeks bykomstighede， Gepasmaakte oplossings is beskikbaar；
（5） Verskaf verstelbare spoedfunksie，Om aan die vereistes van 'n verskeidenheid pompspoed te voldoen;
Hierdie reeks produkte is hoofsaaklik geskik vir PVD, CVD, vloeibare kristalplaat en ander industriële deklaag;Massaspektrometrie, hoë-energie fisika, vakuum lek opsporing, medisyne en biologiese ingenieurswese en ander wetenskaplike navorsing velde.
Molekulêre pomp tegniese spesifikasies
| Model | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(spesiaal gemaak） | ||||
| ☑Die vakuum grense | |||||||
| Pomp spoed (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Uiteindelik druk | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kompressie verhouding | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maksimum deurlopendeinletpress ure | 10 Pa | 2 Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maksimum deurlopendeVoorlyndruk | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maksimumvoorlyndrukverdraagsaamheid | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fisies parameter | |||||||
| Inlaat flens | DN100 ISO-K (LF) of CF | DN160 ISO-K (LF) of CF | |||||
| Voorlyn flens | DN25 ISO-KF of DN40KF (opsioneel) | ||||||
| Suiwer flens | DN16 ISO-KF | ||||||
| Gewig | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibrasie | ≤0,05 μm | ||||||
| Geraas | ≤55 dB (Die standaard lugverkoeling) | ||||||
| Bearing | Vet gesmeerde keramiek kogellager | ||||||
| Bedryf posisie | Enige | ||||||
| Oper.omringende Magneties veld | ≤3 mT (Die grootste 10 mT, moet aangepas word) | ||||||
| Oper.ambie nt | Lugverkoeling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Waterverkoeling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Verkoelingswatervereistes | Watertemperatuur: 15-30 ℃; druk: 0.15Mpa; PH6 ~ 8, duidelik, olievry; vloei: ≥ 1 l/min. | ||||||
| Aanbeveel voorpomp | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Beheerder grense | |||||||
| Beheerder | EVFB-II | ||||||
| Rotasie spoed | 48000rp | 36 000 rpm | |||||
| Laag spoed | 33600rp | 25200rpm | |||||
| Opstart tyd | ≤5 min | ||||||
| Spanning | 48VAC±2% | ||||||
| Kommunikasie wyse | RS-485 | ||||||
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑Die vakuum grense | |||||||
| Uiteindelik druk (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pomp spoed (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kompressie verhouding | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maksimum deurlopendeinletpress ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maksimum deurlopende voorlyndruk (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretoleransie (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fisies parameter | |||||||
| Inlaat flens | DN160 ISO-K（LF） of CF | DN200 ISO-K (LF) of CF | DN250 ISO-K (LF) of | ||||
| Voorlyn flens | DN25 ISO-KF of KF40 (opsioneel) | DN40 ISO-KF of KF50 (opsioneel) | |||||
| Suiwer flens | DN16 ISO-KF | ||||||
| Aanbeveel voorpomp (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Gewig(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibrasie | ≤ | ||||||
| Geraas (dB) | ≤ | ||||||
| Bearing | Vet gesmeerde keramiek kogellager | ||||||
| Bedryf posisie | Enige | ||||||
| Magneties veld intensiteit (mT) | ≤3（Die grootste 10mT，Moet pasmaak） | ||||||
| Oper.omringende temperatuur | Lug verkoeling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Water verkoeling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Verkoeling water vereistes | Watertemperatuur: 15-25 ℃; druk: 0.15Mpa; PH6 ~ 8, duidelik, olievry ；vloei: ≥1.5L/min | ||||||
| ☑Beheerder grense | |||||||
| Beheerder | EVFB-III-A | ||||||
| Kommunikasie wyse | RS-485 | ||||||
| Spanning(V） | 220V AC±10% | ||||||
| Frekwensie(Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Maksimum insette Krag(W） | 100 | ||||||
| Begin/stop beheer wyse | Beheerknoppies beheer begin en stop /RS485 beheerder begin en stop /DB15 Beheer begin en stop | ||||||
| Beskermings | Kontroleerder oorstroom, oorspanning, onderspanning, oorverhitting beskerming, molekulêre pomp oorstroom, oorlading, oorverhitting beskerming, ens | ||||||
| Rotasie spoed (r/min) | 36 000±0,1% | 30 000±0,1% | 24 000±0,1% | ||||
| Laag spoed (r/min) | 25200±0,1% | 21 000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| Huidige(A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Beskerming lont(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Opstarttyd(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Af tyd(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Algehele afmeting
| Model | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Model | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Bestelling Inligting
| Nommer | Produk model | Produk kode | Bykomstighede | Ordenommer | Verduidelik |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standaard molekulêre pomp | A3123 | Die standaard pomp (Lugverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede(klein vloei) | A3123-A | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) | |||
| Waterverkoelingskomponente | A3123-B | Die standaardpomp + waterverkoelingskomponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
| Suiwer klep bykomstighede (klein vloei), Waterverkoelingskomponente | A3123-C | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) + Waterverkoeling komponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standaard molekulêre pomp | A3124 | Die standaard pomp (Lugverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede(klein vloei) | A3124-A | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) | |||
| Waterverkoelingskomponente | A3124-B | Die standaardpomp + waterverkoelingskomponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
| Suiwer klep bykomstighede (klein vloei), Waterverkoelingskomponente | A3124-C | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) + Waterverkoeling komponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standaard molekulêre pomp | A3127 | Die standaard pomp (Lugverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede(klein vloei) | A3127-A | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) | |||
| Waterverkoelingskomponente | A3127-B | Die standaardpomp + waterverkoelingskomponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
| Suiwer klep bykomstighede (klein vloei), Waterverkoelingskomponente | A3127-C | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) + Waterverkoeling komponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standaard molekulêre pomp | A3128 | Die standaard pomp (Lugverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede(klein vloei) | A3128-A | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) | |||
| Waterverkoelingskomponente | A3128-B | Die standaardpomp + waterverkoelingskomponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
| Suiwer klep bykomstighede | A3128-C | Die standaard pomp + suiwer klep |
| (klein vloei), Waterverkoelingskomponente | bykomstighede (klein vloei) + Waterverkoelingskomponente (Vervanglugverkoelde komponente) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standaard molekulêre pomp | A3129 | Die standaard pomp (Lugverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede(klein vloei) | A3129-A | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) | |||
| Waterverkoelingskomponente | A3129-B | Die standaardpomp + waterverkoelingskomponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
| Suiwer klep bykomstighede (klein vloei), Waterverkoelingskomponente | A3129-C | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) + Waterverkoeling komponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standaard molekulêre pomp | A3130 | Die standaard pomp (Lugverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede(klein vloei) | A3130-A | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) | |||
| Waterverkoelingskomponente | A3130-B | Die standaardpomp + waterverkoelingskomponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
| Suiwer klep bykomstighede (klein vloei), Waterverkoelingskomponente | A3130-C | Die standaard pomp + suiwer klep bykomstighede (klein vloei) + Waterverkoeling komponente (Vervang lugverkoelde komponente) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standaard molekulêre pomp | A3139 | Die standaard pomp (Waterverkoelingis standaard by verstek) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3139-A | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede | |||
| Fan komponente | A3139-B | Die standaard pomp + Fan | |||
| Suiwer klep bykomstighede,Fan komponente | A3139-C | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede + Fan komponente | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standaard molekulêre pomp | A3140 | Die standaard pomp (Waterverkoelingis standaard by verstek) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3140-A | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede | |||
| Fan komponente | A3140-B | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Suiwer klep bykomstighede,Fan komponente | A3140-C | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede + Fan komponente | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standaard molekulêre pomp | A3135 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3135-A | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede | |||
| Fan komponente | A3135-B | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Suiwer klep bykomstighede, | A3135-C | Die standaard pomp + suiwer klep |
| Fan komponente | bykomstighede + Fan komponente | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standaard molekulêre pomp | A3136 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3136-A | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede | |||
| Fan komponente | A3136-B | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Suiwer klep bykomstighede、 | A3136-C | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede + Fan komponente | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standaard molekulêre pomp | A3141 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3141-A | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede | |||
| Fan komponente | A3141-B | Die standaard pomp + Fan | |||
| Suiwer klep bykomstighede、 Fan komponente | A3141-C | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede + Fan komponente | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standaard molekulêre pomp | A3142 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3142-A | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede | |||
| Fan komponente | A3142-B | Die standaard pomp + Fan | |||
| Suiwer klep bykomstighede、 | A3142-C | Die standaard pomp + suiwer klepbykomstighede + Fan komponente | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekulêre pompbeheerder（Geskik vir molekulêre pompe soos EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450D） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekulêre pompbeheerder（ Geskik vir molekulêre pompe soos EVFB-160/701、EVFB- 200/1401、EVFB-250/2201） |
Geskeide saamgestelde molekulêre pompe
Belangrikste kenmerke van hierdie reeks produkte:
（1） Geskeide kontroleerder： AC220V kragtoevoer， 'n Sleutel begin-stop；
（2） Hoë betroubaarheid: Algehele rotors，BLDC-dryftegnologie；
（3） Presisie laer: Presisie keramiek kogellager， Geïnstalleer teen enige hoek（Slegs vetgesmeerde modelle）；
（4） Funksionele diversiteit: Volledige reeks bykomstighede， Gepasmaakte oplossings is beskikbaar；
（5） Verskaf verstelbare spoedfunksie，Om aan die vereistes van 'n verskeidenheid pompspoed te voldoen; Hierdie reeks produkte is hoofsaaklik van toepassing op PVD, CVD, vloeibare kristalplaat en ander
industriële coating, wetenskaplike navorsing en ander velde.
Molekulêre pomp tegniese parameters
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑Die vakuum grense | ||||||||||
| Uiteindelike druk (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pomp spoed (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Kompressieverhouding | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maksimum deurlopend inlaatdruk (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maksimumdeurlopend Voorlyn | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maksimumvoorlyndrukverdraagsaamheid (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fisies parameter | ||||||||||
| Inlaat flens | DN160 ISO-K（LF）ofCF | DN200 ISO-K（LF）ofCF | DN250 ISO-K（LF）ofCF | DN400 ISO-K（LF）ofCF | DN400 ISO-K（LF）ofCF | |||||
| Voorlyn flens | DN25 ISO-KF,KF40 (Opsioneel) | DN40 ISO-KF，KF50（Opsioneel） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）ofKF50 (Opsioneel) | ||||||
| Suiwer flens | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Aanbeveel | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Gewig(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibrasie | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Geraas (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Bearing | Vet gesmeerde keramiek kogellager | Keramiek kogellager | ||||
| Bedryf posisie | Enige | Vertikaal±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetiese veld | ≤ 3mT (Die grootste 10mT, moet aangepas word) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.omgewing temperatuur | Lug verkoeling | 5~35oC | / | / | ||
| Waterverkoeling | 5~40oC | |||||
| Verkoeling water vereistes | Watertemperatuur: 15-25 ℃; seker: 0.15Mpa; vloei: ≥1.5L/min. | vloei:≥ 3L/min | ||||
| ☑Beheerder grense | ||||||
| Geskei kontroleerder | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Afgeleë beheer | Ultra-afstandbeheer (raadpleeg asseblief ons ingenieurs) | |||||
| Kommunikasie wyse | RS-485 | |||||
| Spanning(V） | Van 100 tot 240VAC（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Frekwensie(Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| Maksimum insetkrag(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Begin/stop beheer wyse | Beheerknoppies beheer begin en stop /RS485 beheerder begin en stop /DB15 Beheer begin en stop | |||||
| Beskermings | Bestuurder oorstroom, oorspanning, onderspanning, oorverhitting beskerming, molekulêre pomp oorstroom,oorlading, oorverhittingsbeskerming, ens | |||||
| Rotasie spoed (r/min) | 36 000±0,1% | 30 000±0,1% | 24 000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| Laag spoed (r/min) | 25200±0,1% | 21 000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| Huidige(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Beskerming lont(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Opstart tyd(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Af tyd(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. omgewing toestand | Geen korrosiewe gasse en duidelike stofdeeltjies nie; omgewingstemperatuur: -10 ℃ ~ 50 ℃; omgewinghumiditeit: ≤ 90%, vibrasie intensiteit: ≤ 0,5 g | |||||
0algehele afmeting
| Model | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
EVFB-400/3600 Turbomolekulêre pomp afmetings
EVFB-400/4500 Turbomolekulêre pomp afmetings
Voorkoms van geskeide beheerder
EVFB-III-B（2U）geskeide kontroleerder
EVFB-VI（4U）geskeide beheerder
Orde Inligting
| nommer | Produk model | produk kode | Bykomstighede | Orde nommer | Verduidelik |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standaard molekulêre pomp | A3139-F | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3139-FA | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
| Fan komponente | A3139-FB | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Spoelkleptoebehore, waaierkomponente | A3139-FC | Die standaard pomp + Suiwer klep toebehore + Fan komponente | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standaard molekulêre pomp | A3140-F | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3140-FA | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
| Fan komponente | A3140-FB | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Spoelkleptoebehore, waaierkomponente | A3140-FC | Die standaard pomp + Suiwer klep toebehore + Fan komponente | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standaard molekulêre pomp | A3135-F | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard by verstek) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3135-FA | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
| Fan komponente | A3135-FB | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Spoelkleptoebehore, waaierkomponente | A3135-FC | Die standaard pomp + Suiwer klep toebehore + Fan komponente | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standaard molekulêre pomp | A3136-F | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3136-FA | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
| Fan komponente | A3136-FB | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Spoelkleptoebehore, waaierkomponente | A3136-FC | Die standaard pomp + Suiwer klep toebehore + Fan komponente | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standaard molekulêre pomp | A3141-F | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3141-FA | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
| Fan komponente | A3141-FB | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Spoelkleptoebehore, waaierkomponente | A3141-FC | Die standaard pomp + Suiwer klep toebehore + Fan komponente | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standaard molekulêre pomp | A3142-F | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3142-FA | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
| Fan komponente | A3142-FB | Die standaard pomp + Fan komponente | |||
| Suiwer klep bykomstighede | A3142-FC | Die standaard pomp + suiwer klep |
| Fan komponente | bykomstighede + Fan komponente | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standaard molekulêre pomp | A3187 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard by verstek) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standaard molekulêre pomp | A3188 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard by verstek) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | standaard molekulêre pomp | A3185 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3185-A | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standaard molekulêre pomp | A3186 | Die standaard pomp (Waterverkoeling is standaard standaard) |
| Suiwer klep bykomstighede | A3186-A | Die standaard pomp + Purge valve bykomstighede | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Handbediende paneel |
A3261-1 | Kliënt opsioneel ，Geskik vir molekulêre pompe soos EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Geskei beheerder （4U） | A3270 | Geskik vir turbo molekulêre pompe soos EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Geskei beheerder （2U） | A3264 | Geskik vir molekulêre pompe soos EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (geskei tipe) |
