Massavloeibeheerder Massavloeimeter CS200
Kenmerke
1. Hoë akkuraatheid en vinnige reaksie
Die akkuraatheid van die CS200 MFC is verbeter tot ±1.0% van SP, en die mees gevorderde modelle het 'n verminderde reaksietyd van minder as 0.8 sek.
2. Lae nul-drywing en temperatuurkoëffisiënt
Die uitvinding van nuwe sensortegnologie stel die CS200 MFC in staat om stabiliteit te handhaaf en temperatuurskommelings te weerstaan.Sonder 'n outo-nul-versterker is die verwagte nuldrywing minder as 0.6%FS/jaar, en die temperatuurkoëffisiënt is minder as 0.02%FS/℃(nul)，0.05%FS/℃ (span).
3. Metaal-verseëlde modelle en hoë suiwerheidsfunksie
Die benatte vloeibaan van-die-lyn CS200 MFC is gemaak van oppervlak-gepassiveerde vlekvrye staal.Alle CS200 MFC's word in Sevenstar se ultraskoon Klas 100-klas skoonkamers saamgestel in ooreenstemming met beide SEMI- en ISO 9001-standaarde.
4. Versoenbare koppelvlakke
Die CS200 MFC is versoenbaar met die volgende koppelvlakke, wat deur die kliënt gekies kan word:±8V-±16V dubbeleinde kragtoevoer en +14V-+28V enkelpunt kragtoevoer;digitale of analoog sein invoer en uitset;SEMI standaard meganiese afmetings;en RS-485 of DeviceNet kommunikasie module.
5. Diverse funksies
Kragtige kliëntesagteware kom standaard by elke model, terwyl bykomende funksies soos multi-gas, multi-reeks, outo-nul, alarms, sagte begin en vertraging beskikbaar is as kliënt keuses.
Spesifikasie
| CS200 | |||||||
| Tik | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Volskaalse reeks (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Akkuraatheid | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Lineariteit | ±0,5% FS | ||||||
| Herhaalbaarheid | ±0,2% FS | ||||||
| Reaksie tyd | ≤1 sek | ≤0.8 sek. (SEMI E17-0600) | |||||
| Kleprusposisie | Normaalweg Geslote of | Geen klep nie | Normaalweg Geslote of | Geen klep nie | Normaalweg Geslote of | Geen klep nie | |
| Normaalweg oop (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normaalweg oop (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normaalweg oop (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Differensiële druk | 0.05~0.35MPa （Vloei≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0.05–0.35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0.05–0.35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0.1~0.35MPa（10slm＜Vloei≤30slm） | (0.1–0.35) MPa（＞10slm） | (0.1–0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2–0.45 MPa (Vloei＞30 slm) | |||||||
| Maksimum bedryfsdruk | 0,45 MPa | |||||
| Temperatuur | Nul:≤±0.05% FS/℃; | Nul:≤±0.02% FS/℃;Omvang: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Koëffisiënt | Omvang: ≤±0.1% FS/℃（Vloei≤30slm） | |||||
| Omvang: ≤±0.2% FS/℃ (Vloei>30slm) | ||||||
| Bewysdruk | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6% FS per jaar sonder outo-nul | |||||
| Lek integriteit | 1×10-9 atm·cc / sek He | 1×10-10atm·cc / sek He | ||||
| Natgemaakte materiale | Viton; | Metaal? (Vlekvrye staal V/V, 5Ra) | Metaal | |||
| Oppervlakchemie | —— | Cr/Fe-verhouding ＞2.0;CrO dikte ＞20 Angstroms | ||||
| Oppervlak afwerking | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Werkstemperatuur | (5–45）℃ | (0–50）℃ | ||||
| Invoersein | Digitaal: RS485 of ProfiBus | NVT | Digitaal: RS485 of ProfiBus of DeviceNetTM | NVT | Digitaal: RS485 of ProfiBus of DeviceNetTM | NVT |
| of DeviceNetTM | Analoog: (0~5)VDC of (4~20)mA of (0~20)mA | Analoog: (0~5)VDC of (4~20)mA?of (0~20)mA | |||||
| Analoog: (0~5)VDC of (4~20)mA of (0~20)mA | |||||||
| Uitset sein | Digitaal: RS485 of DeviceNetTM of ProfiBus Analoog:(0～5)VDC of (4～20)mA of (0～20)mA | ||||||
| Kragtoevoer | ±8 ~ ±16 VDC of +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Elektroniese verbinding | 9-pen manlike sub-D ，15-pen manlike sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus ，Analoog | ||||||
| Toebehore | VCR1/4” M; VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| KompressiepasstukΦ10;KompressiepasstukΦ6； | KompressiepasstukΦ6, | ||||||
| Kompressiepasstuk 3/8”;Kompressiepasstuk 1/4”; | KompressiepassingΦ3, | ||||||
| Kompressiepasstuk 1/8”;KompressiepassingΦ3； | Kompressiepasstuk 1/4”， | ||||||
| Ф6(binne)×1slang;ф5(binne)×1.5slang;ф4(binne)×1slang; | W-seël, | ||||||
| A-sael ; | C-seël | ||||||
| Gewig | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
