Massavloeibeheerders (MFC) verskaf presiese meting en beheer van die massavloei van gasse.
I. Wat is die verskil tussen 'n MFC en 'n MFM?
Massavloeimeter (MFM) is 'n soort instrument wat gasvloei akkuraat meet, en die meetwaarde daarvan is nie onakkuraat as gevolg van fluktuasies in temperatuur of druk nie, en vereis nie temperatuur- en drukkompensasie nie. Die massavloeibeheerder (MFC) is nie net het die funksie van 'n massavloeimeter, maar nog belangriker, dit kan outomaties die gasvloei beheer, dit wil sê die gebruiker kan die vloei volgens hul behoeftes stel, en die MFC hou outomaties die vloei konstant op die vasgestelde waarde, selfs al die stelseldruk Fluktuasies of veranderinge in omgewingstemperatuur sal nie veroorsaak dat dit van die vasgestelde waarde afwyk nie.Die massavloeibeheerder is 'n bestendige vloei toestel, wat 'n gasbestendige vloei toestel is wat met die hand ingestel of outomaties beheer kan word deur verbinding met 'n rekenaar.Massavloeimeters meet slegs maar beheer nie.Die massavloeibeheerder het 'n beheerklep, wat die gasvloei beide kan meet en beheer.
II.Wat is die struktuur enwerking beginsel?
1, Struktuur
2, Bedryfsbeginsel
Wanneer die vloei die inlaatpyp binnegaan, gaan die meeste van die vloei deur die afleikanaal, waarvan 'n klein deel die kapillêre buis binne die sensor binnegaan.As gevolg van die spesiale struktuur van
die afleidingskanaal, kan die twee dele van die gasvloei direk eweredig wees.Die sensor word voorverhit en verhit, en die temperatuur binne is hoër as die temperatuur van die inlaatlug.Op hierdie tydstip word die massavloei van die klein deel van die gas gemeet deur die beginsel van hitte-oordrag deur die kapillêre buis en die beginsel van temperatuurverskilkalorimetrie.Die vloei van gas wat op hierdie manier gemeet word, kan die uitwerking van temperatuur en druk ignoreer.Die vloeimeetsein wat deur die sensor bespeur word, word ingevoer na die stroombaanbord en versterk en uitgevoer, en die funksie van die MFM is voltooi.Voeg PID geslote lus outomatiese beheerfunksie by die stroombaanbord, Vergelyk die vloeimetingsein gemeet deur die sensor met die ingestelde sein wat deur die gebruiker gegee word.Op grond hiervan word die beheerklep so beheer dat die vloeidetectiesein gelyk is aan die gestelde sein, en sodoende die funksie van die MFC realiseer.
III.Toepassings en kenmerke.
MFC, wat wyd toegepas word in die velde soos: halfgeleier- en IC-vervaardiging, spesiale materiaalwetenskap, chemiese industrie, petrolbedryf, farmaseutiese industrie, omgewingsbeskerming en vakuumstelselnavorsing, ens.. Die tipiese toepassings sluit in: mikro-elektroniese prosestoerusting soos diffusie , oksidasie, epitaksie, CVD, plasma-ets, sputtering, ioon-inplanting;vakuum afsetting toerusting, optiese vesel smelt, mikro-reaksie toerusting, meng en pas gas stelsel, kapillêre vloei beheer stelsel, gas chromatograaf en ander analitiese instrumente.
MFC bring die hoë akkuraatheid, uitstekende herhaalbaarheid, vinnige reaksie, sagte begin, beter betroubaarheid, wye verskeidenheid werksdruk (goeie werking in hoëdruk- en vakuumsituasies), eenvoudige, gerieflike werking, buigsame installasie, moontlike verbinding met rekenaar om outomaties uit te voer beheer na die gebruikers se stelsel.
IV.Hoe om te bepaal en te hanteer fakuise?
Ons maatskappy het 'n professionele na-verkope ingenieur, kan u help om probleme met installasie en gebruik op te los.
Pos tyd: Jul-29-2022