Kennis – Vakuumkleppe

I. Bekendstelling van klep
Vakuumklep is 'n vakuumstelselkomponent wat gebruik word om die rigting van lugvloei te verander, die grootte van gasvloei aan te pas, die pypleiding in die vakuumstelsel af te sny of te verbind.Die sluitingsdele van die vakuumklep is verseël deur rubberseël of metaalseël.

II.Algemene vakuumkleptoepassings.
Vakuum kleppe
Word gebruik in hoë- of ultrahoë vakuumstelseltoerusting wanneer vakuum in 'n geslote vakuumhanteringstelsel gehandhaaf moet word.Vakuumkleppe word gebruik om die lugvloei in die vakuumkamer te beheer, te isoleer, te ventileer, drukvermindering te verskaf of geleiding te beheer.Hekkleppe, inlynkleppe en hoekkleppe is die mees algemene tipes vakuumkleppe wat vir hoë- of ultrahoë vakuumtoepassings gebruik word.Bykomende kleptipes sluit in vlinderkleppe, oordragkleppe, kogelkleppe, slingerkleppe, volmetaalkleppe, vakuumkleppe, aluminiumhoekkleppe, Teflon-bedekte vakuumkleppe en reguit-deurkleppe.

Skoenlapperkleppe
is vinnig oopmaakkleppe wat bestaan ​​uit metaalskywe of wiele wat haaks op die vloeirigting in die pyplyn draai en wanneer dit om hul as gedraai word, verseël die klep die sitplek in die klepliggaam.

Oordragkleppe (reghoekige hekkleppe)
Skeidingskleppe geskik vir gebruik tussen las-geslote vakuumkamers en oordragkamers, en tussen oordragkamers en verwerkingskamers in halfgeleiervervaardigingstoerusting.

Vakuum balkleppe
is kwartdraai reguit vloeikleppe met 'n sirkelvormige sluitingsamestelling met bypassende sirkelvormige sitplekke vir eenvormige verseëlspanning.

Pendulum kleppe
is 'n groot smoorklep wat tussen die prosesvakuumkamer en die turbomolekulêre pompinlaat aangebring is.Hierdie vakuum slinger kleppe is tipies ontwerp as hek of slinger kleppe vir toepassings insluitend OLED, FPD en PV industriële vervaardigingstelsels.

Alle-metaal kleppe
Ontwerp vir gebruik in ultrahoë vakuumomgewings waar hoë temperature nie die gebruik van elastomere en kryogeniese pakkingmetale toelaat nie.Bakbare, volledig metaal kleppe bied betroubare hoë temperatuur verseëling van atmosferiese druk tot onder 10-11 mbar.

Vakuum kleppe
Werk betroubaar in halfgeleierproduksiestelsels en in toepassings met chemiese en deeltjies kontaminasie.Hulle kan gebruik word in rowwe vakuum, hoë vakuum of ultra-hoë vakuum omgewings.

Aluminium hoekkleppe
Die inlaat en uitlaat van hierdie kleppe is reghoekig met mekaar.Hierdie hoekkleppe is gemaak van aluminium A6061-T6 en word gebruik in halfgeleier- en instrumentasie-vervaardiging, R&D en industriële vakuumstelsels vir rowwe tot hoë vakuumtoepassings.

Die Teflon-bedekte vakuumklep is 'n volledig vervaardigde vlekvrye staal vakuum komponent toestel met 'n duursame en hoogs chemiese weerstandige laag.

III.Eienskappe van vakuumkleppe.
Die druk is onder atmosferiese druk en die drukval oor die klepklep kan nie 1 kg krag/cm oorskry nie.Die werkstemperatuur van die medium hang af van die proses van die toestel wat gebruik word.Die temperatuur oorskry gewoonlik nie die reeks van -70 ~ 150°C nie.Die mees basiese vereiste vir sulke kleppe is om 'n hoë mate van digtheid van die verbinding en die digtheid van die struktuur en pakkingmateriaal te verseker.

Volgens die medium druk kan vakuumkleppe in vier groepe verdeel word.
1) Lae vakuum kleppe: medium druk p=760~1 mmHg.
2） Medium vakuumkleppe: p=1×10-3 mmHg.
3） Hoë vakuum kleppe: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultrahoë vakuumklep: p≤1×10-8 mmHg.

As 'n geslotekringklep met 'n deursnee van minder as 250 mm, is die algemeen gebruikte stingel 'n vakuumbalg-afsluitklep met lineêre beweging.Hekkleppe is egter meer beperk, maar dit is hoofsaaklik vir groot diameters.Ook beskikbaar is sferiese propkleppe (kogelkleppe), plunjerkleppe en vlinderkleppe.Propkleppe vir vakuumkleppe is nie bevorder nie omdat hulle oliesmeer benodig, wat dit moontlik maak vir oliedamp om die vakuumstelsel binne te gaan, wat nie toegelaat word nie.Vakuumkleppe kan met die hand en op afstand in die veld beheer word, sowel as elektries, elektromagneties (magneetkleppe), pneumaties en hidroulies.