እውቀት - የቫኩም ቫልቮች

I. የቫልቭ መግቢያ
የቫኩም ቫልቭ የአየር ፍሰት አቅጣጫን ለመለወጥ ፣ የጋዝ ፍሰት መጠንን ለማስተካከል ፣ በቫኩም ሲስተም ውስጥ ያለውን የቧንቧ መስመር ለመቁረጥ ወይም ለማገናኘት የሚያገለግል የቫኩም ሲስተም አካል ነው።የቫኩም ቫልቭ መዝጊያ ክፍሎች በላስቲክ ማህተም ወይም በብረት ማኅተም የታሸጉ ናቸው.

II.የተለመዱ የቫኩም ቫልቭ መተግበሪያዎች.
የቫኩም ቫልቮች
ቫክዩም በተዘጋ የቫኩም አያያዝ ስርዓት ውስጥ መቀመጥ ሲኖርበት በከፍተኛ ወይም እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የቫኩም ሲስተም መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።የቫኩም ቫልቮች የአየር ዝውውሩን ወደ ቫኩም ክፍል ለመቆጣጠር, ለመለየት, ለማስወጣት, የግፊት ቅነሳን ወይም መቆጣጠሪያን ለመቆጣጠር ያገለግላሉ.የጌት ቫልቮች፣ ኢንላይን ቫልቮች እና አንግል ቫልቮች ለከፍተኛ ወይም እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም አፕሊኬሽኖች በጣም የተለመዱ የቫኩም ቫልቭ ዓይነቶች ናቸው።ተጨማሪ የቫልቭ ዓይነቶች የቢራቢሮ ቫልቮች, የዝውውር ቫልቮች, የኳስ ቫልቮች, የፔንዱለም ቫልቮች, ሁሉም-ብረት ቫልቮች, ቫክዩም ቫልቮች, የአሉሚኒየም አንግል ቫልቮች, ቴፍሎን የተሸፈኑ የቫኩም ቫልቮች እና ቀጥ ያለ ቫልቮች ያካትታሉ.

የቢራቢሮ ቫልቮች
በፍጥነት የሚከፈቱ ቫልቮች የብረት ዲስኮች ወይም ቫኖች በቧንቧው መስመር ውስጥ ወደሚገኘው የቀኝ ማዕዘኖች የሚሽከረከሩ ሲሆን በዘንግያቸው ላይ ሲሽከረከሩ ቫልዩው በቫልቭ አካል ውስጥ ያለውን መቀመጫ ይዘጋል።

የማስተላለፊያ ቫልቮች (አራት ማዕዘን ቅርጽ ያለው በር ቫልቮች)
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ በጭነት በተቆለፉ የቫኩም ክፍሎች እና በማስተላለፊያ ክፍሎች መካከል እና በማስተላለፊያ ክፍሎቹ እና በማቀነባበሪያ ክፍሎች መካከል ለመጠቀም ተስማሚ የሆኑ የመለያ ቫልቮች ።

የቫኩም ቦል ቫልቮች
ሩብ መታጠፊያ ቀጥ ያሉ ወራጅ ቫልቮች ናቸው ክብ የመዝጊያ ስብሰባ እና ክብ መቀመጫዎች ጋር ተመሳሳይ የሆነ የማተም ውጥረት።

ፔንዱለም ቫልቮች
በሂደቱ ቫክዩም ቻምበር እና በ turbomolecular ፓምፕ መግቢያ መካከል የተገጠመ ትልቅ ስሮትል ቫልቭ ነው።እነዚህ የቫኩም ፔንዱለም ቫልቮች በተለምዶ OLED፣ FPD እና PV የኢንዱስትሪ ማምረቻ ስርዓቶችን ጨምሮ እንደ በር ወይም ፔንዱለም ቫልቮች የተሰሩ ናቸው።

ሁሉም-ብረት ቫልቮች
ከፍተኛ ሙቀት ኤላስቶመሮች እና ክሪዮጀኒክ ጋኬት ብረቶች መጠቀም በማይፈቅድባቸው እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም አካባቢዎች ውስጥ ለመጠቀም የተነደፈ።የሚጋገሩት ሁሉም-ሜታል ቫልቮች ከከባቢ አየር ግፊት እስከ 10-11 ሜጋ ባይት ድረስ አስተማማኝ ከፍተኛ የሙቀት ማሸጊያዎችን ያቀርባሉ።

የቫኩም ቫልቮች
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ስርዓቶች እና በኬሚካል እና ብናኝ ብክለት ውስጥ ባሉ መተግበሪያዎች ውስጥ በአስተማማኝ ሁኔታ መስራት።በሻካራ ቫክዩም ፣ ከፍተኛ ቫክዩም ወይም እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የቫኩም አካባቢዎች ውስጥ ሊያገለግሉ ይችላሉ።

የአሉሚኒየም አንግል ቫልቮች
የእነዚህ ቫልቮች መግቢያ እና መውጫ እርስ በእርሳቸው በትክክለኛው ማዕዘን ላይ ናቸው.እነዚህ አንግል ቫልቮች ከአሉሚኒየም A6061-T6 የተሠሩ ናቸው እና በሴሚኮንዳክተር እና በመሳሪያ ማምረቻ ፣ R&D እና በኢንዱስትሪ ቫክዩም ሲስተም ለከባድ እስከ ከፍተኛ የቫኩም አፕሊኬሽኖች ያገለግላሉ።

ቴፍሎን የተሸፈነው ቫክዩም ቫልቭ ሙሉ በሙሉ ኢንጅነሪንግ ከማይዝግ ብረት የተሰራ የቫኩም መለዋወጫ መሳሪያ ሲሆን ዘላቂ እና ከፍተኛ ኬሚካላዊ ተከላካይ ልባስ ነው።

III.የቫኩም ቫልቮች ባህሪያት.
ግፊቱ ከከባቢ አየር ግፊት በታች ነው እና በቫልቭ ፍላፕ ላይ ያለው የግፊት ጠብታ ከ 1 ኪ.ግ ኃይል / ሴሜ መብለጥ አይችልም።የመካከለኛው የሥራ ሙቀት የሚወሰነው ጥቅም ላይ በሚውለው መሳሪያ ሂደት ላይ ነው.በአጠቃላይ የሙቀት መጠኑ ከ -70 ~ 150 ° ሴ አይበልጥም.ለእንደዚህ አይነት ቫልቮች በጣም መሠረታዊው መስፈርት የግንኙነቱን ጥብቅነት እና የአወቃቀሩን እና የጋዝ ቁሳቁሶችን ጥብቅነት ማረጋገጥ ነው.

በመካከለኛው ግፊት የቫኩም ቫልቮች በአራት ቡድኖች ሊከፈሉ ይችላሉ.
1) ዝቅተኛ የቫኩም ቫልቮች: መካከለኛ ግፊት p=760 ~ 1 mmHg.
2) መካከለኛ የቫኩም ቫልቮች: p=1×10-3 mmHg.
3) ከፍተኛ የቫኩም ቫልቮች: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4) እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም ቫልቭ፡ p≤1×10-8 mmHg።

ከ 250 ሚሜ ያነሰ የመተላለፊያ ዲያሜትር ያለው እንደ ዝግ-የወረዳ ቫልቭ ፣ በሰፊው ጥቅም ላይ የዋለው ግንድ መስመራዊ እንቅስቃሴ ያለው የቫኩም ቤሎ መዝጊያ ቫልቭ ነው።የጌት ቫልቮች ግን የበለጠ የተከለከሉ ናቸው, ነገር ግን ይህ በዋነኝነት ለትልቅ ዲያሜትሮች ነው.በተጨማሪም ሉላዊ መሰኪያ ቫልቮች (የኳስ ቫልቮች)፣ የፕላስተር ቫልቮች እና የቢራቢሮ ቫልቮች ይገኛሉ።የቫኩም ቫልቮች (Plug valves) ወደ ቫክዩም ቫልቮች አልተራመዱም ምክንያቱም የዘይት ቅባት ስለሚያስፈልጋቸው የዘይት ትነት ወደ ቫክዩም ሲስተም እንዲገባ ማድረግ አይፈቀድም.የቫኩም ቫልቮች በሜዳው ውስጥ በእጅ እና በርቀት እንዲሁም በኤሌክትሪክ ፣ በኤሌክትሮማግኔቲክ (ሶሌኖይድ ቫልቭ) ፣ በአየር ግፊት እና በሃይድሮሊክ ቁጥጥር ሊደረጉ ይችላሉ።