የሙቀት ጋዝ የጅምላ ፍሰት መቆጣጠሪያ (MFC)
የrmአልጌስmአህያfዝቅተኛmeter(Mኤፍኤም) ኢሳkindofaccuratemeአሱሬምመገባደጃgasflow,the meአሱredvaluesarenotconትሮlledbyfሉክtuationsinቴምፔራtureorpressure, አያስፈልግምtሄክompensationoftኢምፔratureandpressure.
ሞዴል | SQC-100 |
የወራጅ ክልሎች (N2) | 0~5፣10፣20፣30፣50፣100፣200፣500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
ትክክለኛነት | ±1%FS(≤15SLM):2%FS(15SLM) |
የቫልቭ ድራይቭ ዓይነት | መደበኛ ተዘግቷል |
መስመራዊነት | ±1%FS(≤15SLM):2%FS(15SLM) |
ተደጋጋሚነት | ± 0.2 ኤፍ.ኤስ |
የምላሽ ጊዜ | ≤1 ሰከንድ |
የግቤት / የውጤት ምልክት | 0~5V |
የኤሌክትሪክ መገጣጠሚያ | ዲቢ15 ፒን (መርፌ) |
ኦፕሬሽን ቴም. | 5 ~ 45 ℃ |
ልዩነት ቅድመ. | 0.05 ~ 0.5MPa (ኤምኤፍሲ) ፣ 0.03 ~ 3.0MPa (ኤምኤፍኤም) |
የመልቀቂያ ደረጃ | 1×10-8SCCS (እሱ) |
ከፍተኛ.ጫና | 3MPa |
መካከለኛ ቁሳቁስ | 316L SS እና የማተም ቁሳቁስ |
የማተም ቁሳቁስ | ቪቶን፣ የሲሊኮን ጎማ፣ NBR፣ Teflon፣ የብረት ማኅተም |
የጋራ መጠን | ቪሲአር 1/4"፣ስዋጌሎክ 1/8"፣1/4";φ3፣ φ6ሚሜ |
ገቢ ኤሌክትሪክ | +15V፣50mA;-15V፣200mA |
ሞዴል | SQC-200 |
የወራጅ ክልሎች (N2) | MFC፡0~20፣30፣50፣100፣150፣ 200SLM |
MFM፡0~20፣30፣50፣100፣150፣200፣250፣300SLM | |
ትክክለኛነት | ± 2 ኤፍ.ኤስ |
የቫልቭ ድራይቭ ዓይነት | መደበኛ ተዘግቷል |
መስመራዊነት | ± 2 ኤፍ.ኤስ |
ተደጋጋሚነት | ± 0.2 ኤፍ.ኤስ |
የምላሽ ጊዜ | ≤5 ሰከንድ |
የግቤት / የውጤት ምልክት | 1~5V፡4-20mA |
የኤሌክትሪክ መገጣጠሚያ | ዲቢ15 ፒን (መርፌ) |
ኦፕሬሽን ቴም. | 5 ~ 45 ℃ |
ልዩነት ቅድመ. | 0.1 ~ 0.3MPa (MFC) ፣ 0.05 ~ 3.0MPa (ኤምኤፍኤም) |
የመልቀቂያ ደረጃ | 1×10-8SCCS (እሱ) |
ከፍተኛ.ጫና | 3MPa |
መካከለኛ ቁሳቁስ | 316L SS እና የማተም ቁሳቁስ |
የማተም ቁሳቁስ | ቪቶን፣ ሲሊኮን ጎማ፣ NBR፣ ERP፣ Teflon |
የጋራ መጠን | ስዋጌሎክ 3/8 ኢንች፣1/2”; φ8፣φ10፣φ12 ሚሜ |
ገቢ ኤሌክትሪክ | 24V፣0.5A |
መልእክትህን እዚህ ጻፍ እና ላኩልን።