مرحبا بكم في مواقعنا!

وحدة مضخة توربو مخصصة

وصف قصير:

وحدة عادم الفراغ العالي من سلسلة EVT هي عبارة عن معدات اكتساب فراغ عالية جدًا تتكون من مضخة توربو مركبة من سلسلة EV، ومضخة ميكانيكية أمامية، ومصدر طاقة للتحكم في الوحدة، ومقياس فراغ مركب عالي، وصمام لوحي مفرغ عالي جدًا، وصمام زاوية ما قبل الضخ و قريباً.سهل التركيب، سهل التشغيل، أداء موثوق.يمكن استخدامه على نطاق واسع في معدات أشباه الموصلات وأجهزة التفريغ الكهربائية والمسرعات وتحليل الأسطح والبلازما وغيرها من تقنيات التفريغ.


تفاصيل المنتج

علامات المنتج

مبدأ العمل

وحدة المضخة التوربينية (2)

يستخدم مخطط دائرة الغاز للمضخة الجزيئية، كما هو موضح في الشكل أعلاه، بشكل عام في اختبار أداء المضخة الجزيئية أو معدات الكشف العلمي المختلفة، ويتميز بأن مرافق غرفة التفريغ والمواد ثابتة نسبيًا، و ليس من الضروري فتح غرفة التفريغ بشكل متكرر للتشغيل الداخلي.إذا كانت المرحلة الأمامية تستخدم المضخة الميكانيكية ذات الشفرة الدوارة لوسط الزيت، فيجب تركيب صمام إطلاق الهواء.يجب أن يكون صمام تنفيس القسم متشابكًا مع المضخة الأمامية لضمان عدم سحب بخار الزيت وحتى الزيت إلى المضخة الجزيئية بعد إيقاف تشغيل المضخة الميكانيكية.تحتوي بعض المضخات الميكانيكية ذات الشفرات الدوارة على صمامات إطلاق هواء قائمة بذاتها لتجنب الاستخدام طويل الأمد، وتكون الأنابيب الأمامية موجودة في جميع أنحاء الزيت ويكون التلوث خطيرًا.

المؤشرات الفنية

1. الوحدة عبارة عن هيكل عربة متحرك، والذي يمكن أن يلبي احتياجات العادم في مواقع مختلفة

2. درجة الفراغ للمعدات أفضل من 8×10-4pa بعد بدء تشغيل المضخة الجزيئية حتى 400HZ، أفضل من 5×10-5pa خلال 30 دقيقة، والفراغ النهائي هو 8×10-7pa.

3. تم تجهيز الوحدة بنظام ما قبل العادم، والذي يمكنه تحقيق الاستبدال والفراغ المسبق وتدفق عادم الفراغ العالي دون إيقاف المضخة الجزيئية، مما يقلل من وقت العادم ويحسن كفاءة العمل بشكل فعال.

وحدة المضخة التوربينية (2)
com.dajsdnj

  • سابق:
  • التالي:

  • اكتب رسالتك هنا وأرسلها لنا