جهاز التحكم في التدفق الشامل مقياس التدفق الشامل CS200
سمات
1. دقة عالية واستجابة سريعة
تم تحسين دقة CS200 MFC إلى ±1.0% من SP، وتتميز النماذج الأكثر تقدمًا بوقت استجابة أقل من 0.8 ثانية.
2. انخفاض الانجراف الصفري ومعامل درجة الحرارة
إن اختراع تقنية الاستشعار الجديدة يمكّن جهاز CS200 MFC من الحفاظ على الاستقرار وتحمل تقلبات درجات الحرارة.بدون مضخم صوت صفري تلقائي، يكون الانجراف الصفري المتوقع أقل من 0.6% FS/سنة، ومعامل درجة الحرارة أقل من 0.02% FS/°C(صفر)، －0.05%FS/°C (امتداد).
3. نماذج معدنية مختومة وميزة النقاء العالي
تم إنشاء مسار التدفق المبلل للخط CS200 MFC من الفولاذ المقاوم للصدأ الذي تم تخميله السطح.يتم تجميع جميع أجهزة CS200 MFC في غرف التنظيف فائقة النظافة من الدرجة 100 التابعة لشركة Sevenstar وفقًا لمعايير SEMI وISO 9001.
4. واجهات متوافقة
يتوافق CS200 MFC مع الواجهات التالية، والتي يمكن اختيارها من قبل العميل: مصدر طاقة مزدوج الطرف ±8V-±16V ومصدر طاقة أحادي الطرف +14V-+28V؛إدخال وإخراج الإشارة الرقمية أو التناظرية؛الأبعاد الميكانيكية شبه القياسية؛وRS-485 أو وحدة الاتصالات DeviceNet.
5. وظائف متنوعة
يأتي برنامج العملاء القوي بشكل قياسي مع كل طراز، في حين تتوفر وظائف إضافية مثل الغازات المتعددة، ومتعددة النطاق، والصفر التلقائي، والإنذارات، والبدء الناعم، والتأخير حسب اختيارات العملاء.
تخصيص
| CS200 | |||||||
| يكتب | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| النطاق الكامل (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| دقة | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(<35% FS) | ||||||
| الخطية | ±0.5% FS | ||||||
| التكرار | ±0.2% FS | ||||||
| وقت الاستجابة | ≥1 ثانية | .80.8 ثانية (SEMI E17-0600) | |||||
| موضع استراحة الصمام | مغلق عادة أو | لا صمام | مغلق عادة أو | لا صمام | مغلق عادة أو | لا صمام | |
| مفتوح عادة (100 sccm ≥FS ≥5 slm) | مفتوح عادة (100 sccm ≥FS ≥5 slm) | مفتوح عادة (100 sccm ≥FS ≥5 slm) | |||||
| الضغط التفاضلي | 0.05～0.35MPa (التدفق أقل من 10slm) | ＜0.02 ميجا باسكال | (0.05～0.35) ميجا باسكال (≥10slm) | ＜0.02 ميجا باسكال | (0.05～0.35) ميجا باسكال (≥10slm) | ＜0.02 ميجا باسكال | |
| 0.1～0.35MPa(10slm＜التدفق ≥30slm) | (0.1～0.35) ميجا باسكال (> 10slm) | (0.1～0.35) ميجا باسكال (> 10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (التدفق>30slm) | |||||||
| الحد الأقصى لضغط التشغيل | 0.45 ميجا باسكال | |||||
| درجة حرارة | صفر: ±±0.05% FS/°C؛ | صفر: ±±0.02% FS/°C؛الامتداد: ± ± 0.05% FS/C | ||||
| معامل في الرياضيات او درجة | الامتداد: ±±0.1% FS/°C(التدفق ≥30slm) | |||||
| الامتداد: ±±0.2% FS/°C(التدفق> 30slm) | ||||||
| الضغط برهان | 3 ميجا باسكال (435 بيكسل) | |||||
| الانجراف صفر | ＜0.6% FS سنويًا بدون صفر تلقائي | |||||
| سلامة التسرب | 1×10-9 أجهزة الصراف الآلي·سم مكعب / ثانية هو | 1×10-10atm·cc/ثانية هو | ||||
| المواد المبللة | فيتون. | المعدن؟ (الفولاذ المقاوم للصدأ V/V، 5Ra) | معدن | |||
| كيمياء سطحية | —— | نسبة الكروم/الحديد >2.0؛سمك CrO > 20 أنجستروم | ||||
| صقل الأسطح | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| درجة حرارة التشغيل | (5~45)°C | (0～50)°C | ||||
| اشارة ادخال | رقمي: RS485 أو ProfiBus | لا يوجد | رقمي: RS485 أو ProfiBus أو DeviceNetTM | لا يوجد | رقمي: RS485 أو ProfiBus أو DeviceNetTM | لا يوجد |
| أو DeviceNetTM | تناظري: (0～5)VDC أو (4～20) مللي أمبير أو (0～20) مللي أمبير | تناظري: (0～5)VDC أو (4～20) مللي أمبير أو (0～20) مللي أمبير | |||||
| تناظري: (0～5)VDC أو (4～20) مللي أمبير أو (0～20) مللي أمبير | |||||||
| إشارة الخرج | رقمي: RS485 أو DeviceNetTM أو ProfiBus التناظري: (0～5)VDC أو (4～20) مللي أمبير أو (0～20) مللي أمبير | ||||||
| مزود الطاقة | ±8 ~ ±16 فولت تيار مستمر أو +14 ~ +28 فولت تيار مستمر (400 مللي أمبير) | ||||||
| موصل إلكتروني | 9 دبوس ذكر فرعي D، 15 دبوس ذكر فرعي D، DeviceNetTM,ProfiBus، التناظرية | ||||||
| توصيلات | VCR1/4 بوصة م؛ VCO1/4 بوصة م؛ | VCR1/4 بوصة M؛ | |||||
| تركيب الضغطΦ10؛ تركيب الضغطΦ6； | تركيب الضغطΦ6، | ||||||
| تركيب ضغط 3/8 بوصة؛تركيب ضغط 1/4 بوصة؛ | تركيب الضغطΦ3، | ||||||
| تركيب ضغط 1/8 بوصة؛تركيب الضغط Φ3 ； | تركيب ضغط 1/4 بوصة، | ||||||
| Ф6 (داخلي) × 1 خرطوم؛ ф5 (داخلي) × 1.5 خرطوم؛ ф4 (داخلي) × 1 خرطوم؛ | ختم W، | ||||||
| السيل ; | C-الختم | ||||||
| وزن | 1 كجم | 0.8 كجم | 1.2 كجم | 1 كجم | 1.2 كجم | 1 كجم | |
