توفر وحدات التحكم في التدفق الشامل (MFC) قياسًا دقيقًا والتحكم في التدفق الشامل للغازات.
I. ما هو الفرق بين MFC وMFM؟
مقياس التدفق الكتلي (MFM) هو نوع من الأجهزة التي تقيس تدفق الغاز بدقة، وقيمة قياسه ليست غير دقيقة بسبب التقلبات في درجة الحرارة أو الضغط، ولا يتطلب تعويض درجة الحرارة والضغط. وحدة التحكم في التدفق الكتلي (MFC) ليست فقط لديه وظيفة مقياس التدفق الشامل، ولكن الأهم من ذلك، أنه يمكنه التحكم تلقائيًا في تدفق الغاز، أي أنه يمكن للمستخدم ضبط التدفق وفقًا لاحتياجاته، ويحافظ MFC تلقائيًا على التدفق الثابت عند القيمة المحددة، حتى لو لن تؤدي تقلبات ضغط النظام أو التغيرات في درجة الحرارة المحيطة إلى انحرافه عن القيمة المحددة.جهاز التحكم في التدفق الشامل هو جهاز تدفق ثابت، وهو عبارة عن جهاز تدفق ثابت للغاز يمكن ضبطه يدويًا أو التحكم فيه تلقائيًا عن طريق الاتصال بجهاز الكمبيوتر.تعمل أجهزة قياس التدفق الشامل فقط على القياس ولكن لا تتحكم فيه.تحتوي وحدة التحكم في التدفق الشامل على صمام تحكم يمكنه قياس تدفق الغاز والتحكم فيه.
ثانيا.ما هو الهيكل ومبدأ التشغيل؟
1 、 الهيكل
2 、 مبدأ التشغيل
عندما يدخل التدفق إلى أنبوب السحب، يمر معظم التدفق عبر قناة المحول، ويدخل جزء صغير منها إلى الأنبوب الشعري الموجود داخل المستشعر.بسبب الهيكل الخاص ل
قناة المحول، يمكن أن يكون جزأين تدفق الغاز متناسبين بشكل مباشر.يتم تسخين المستشعر مسبقًا وتسخينه، وتكون درجة الحرارة الداخلية أعلى من درجة حرارة الهواء الداخل.في هذا الوقت، يتم قياس التدفق الجماعي للجزء الصغير من الغاز بواسطة مبدأ نقل الحرارة بواسطة الأنبوب الشعري ومبدأ قياس السعرات الحرارية لفرق درجة الحرارة.يمكن لتدفق الغاز المقاس بهذه الطريقة أن يتجاهل تأثيرات درجة الحرارة والضغط.يتم إدخال إشارة قياس التدفق التي اكتشفها المستشعر إلى لوحة الدائرة ويتم تضخيمها وإخراجها، وتكتمل وظيفة MFM.إضافة وظيفة التحكم الآلي في حلقة مغلقة PID إلى لوحة الدائرة، قارن إشارة قياس التدفق التي يقاسها المستشعر مع الإشارة المحددة التي يقدمها المستخدم.بناءً على ذلك، يتم التحكم في صمام التحكم بحيث تكون إشارة كشف التدفق مساوية للإشارة المحددة، وبالتالي تحقيق وظيفة MFC.
ثالثا.التطبيقات والميزات.
MFC، والذي يتم تطبيقه على نطاق واسع في مجالات مثل: تصنيع أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة، وعلوم المواد الخاصة، والصناعات الكيماوية، وصناعة البترول، وصناعة الأدوية، وحماية البيئة وأبحاث نظام الفراغ، وما إلى ذلك. وتشمل التطبيقات النموذجية: معدات العمليات الإلكترونية الدقيقة مثل الانتشار ، الأكسدة، النضوج، الأمراض القلبية الوعائية، النقش بالبلازما، الاخرق، زرع الأيونات؛معدات الترسيب الفراغي، وصهر الألياف الضوئية، ومعدات التفاعل الدقيق، ونظام خلط ومطابقة الغاز، ونظام التحكم في التدفق الشعري، وكروماتوجرافيا الغاز وغيرها من الأدوات التحليلية.
توفر MFC الدقة العالية، والتكرار الممتاز، والاستجابة السريعة، والبدء الناعم، والموثوقية الأفضل، ونطاقات واسعة ومتنوعة من ضغط التشغيل (التشغيل الجيد في حالات الضغط العالي والفراغ)، والتشغيل البسيط والمريح، والتركيب المرن، وإمكانية الاتصال بجهاز الكمبيوتر لتنفيذ التشغيل التلقائي السيطرة على نظام المستخدمين.
رابعا.كيفية تحديد والتعامل مع fمرض؟
شركتنا لديها مهندس محترف لما بعد البيع، يمكنه مساعدتك في حل مشاكل التثبيت والاستخدام.
وقت النشر: 29 يوليو 2022