Kütləvi axın tənzimləyicisi Kütlə axını ölçən CS200
Xüsusiyyətləri
1. Yüksək Dəqiqlik və Tez Cavab
CS200 MFC-nin dəqiqliyi SP-nin ±1,0%-ə qədər yaxşılaşdırılıb və ən qabaqcıl modellərin cavab müddəti 0,8 saniyədən azdır.
2. Aşağı Sıfır Drift və Temperatur əmsalı
Yeni sensor texnologiyasının ixtirası CS200 MFC-yə sabitliyi saxlamağa və temperatur dəyişkənliyinə tab gətirməyə imkan verir.Avtomatik sıfır gücləndiricisi olmadan gözlənilən sıfır sürüşmə 0,6% FS/il, temperatur əmsalı isə 0,02%FS/℃(sıfır)，0,05%FS/ ℃ (aralıq)-dən azdır.
3. Metal möhürlənmiş modellər və yüksək təmizlik xüsusiyyəti
CS200 MFC-nin nəmlənmiş axın yolu səthi passivləşdirilmiş paslanmayan poladdan hazırlanmışdır.Bütün CS200 MFC-lər həm SEMI, həm də ISO 9001 standartlarına uyğun olaraq Sevenstar-ın ultratəmiz Class 100-sinif təmiz otaqlarında yığılır.
4. Uyğun interfeyslər
CS200 MFC müştəri tərəfindən seçilə bilən aşağıdakı interfeyslərə uyğundur:±8V-±16V ikitərəfli enerji təchizatı və +14V-+28V tək tərəfli enerji təchizatı;rəqəmsal və ya analoq siqnal girişi və çıxışı;SEMI standart mexaniki ölçülər;və RS-485 və ya DeviceNet rabitə modulu.
5. Müxtəlif funksiyalar
Güclü müştəri proqramı hər bir model üçün standart olaraq təqdim olunur, çox qazlı, çox diapazonlu, avtomatik sıfır, həyəcan siqnalları, yumşaq başlanğıc və gecikmə kimi əlavə funksiyalar müştəri seçimləri kimi mövcuddur.
Spesifikasiya
| CS200 | |||||||
| Növ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Tam miqyaslı diapazon (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Dəqiqlik | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Xəttilik | ±0,5% FS | ||||||
| Təkrarlanma qabiliyyəti | ±0,2% FS | ||||||
| Cavab vaxtı | ≤1san | ≤0,8 san (SEMI E17-0600) | |||||
| Vana İstirahət Vəzifəsi | Normalda Bağlıdır və ya | Valf yoxdur | Normalda Bağlıdır və ya | Valf yoxdur | Normalda Bağlıdır və ya | Valf yoxdur | |
| Normalda Açıq（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalda Açıq（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalda Açıq（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Diferensial təzyiq | 0,05～0,35MPa （Axın≤10slm） | ＜0.02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Axış≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Axım＞30slm） | |||||||
| Maksimum iş təzyiqi | 0.45MPa | |||||
| Temperatur | Sıfır:≤±0,05% FS/℃; | Sıfır: ≤±0,02% FS/℃;Aralıq: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Əmsal | Aralıq: ≤±0.1% FS/℃（Axış≤30slm） | |||||
| Aralıq: ≤±0,2% FS/℃（Axım>30slm） | ||||||
| Sübut təzyiqi | 3MPa (435pisq) | |||||
| Sıfır Drift | ＜Avtozero olmadan ildə 0,6% FS | |||||
| Sızma bütövlüyü | 1×10-9 atm·cc / san He | 1×10-10atm·cc/san O | ||||
| Nəmlənmiş materiallar | Viton; | Metal? (Paslanmayan Polad V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Səth kimyası | —— | Cr/Fe nisbəti ＞2.0;CrO qalınlığı ＞20 Angstrom | ||||
| Səthi bitirmə | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Əməliyyat temperaturu | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Giriş siqnalı | Rəqəmsal: RS485 və ya ProfiBus | Yoxdur | Rəqəmsal: RS485 və ya ProfiBus və ya DeviceNetTM | Yoxdur | Rəqəmsal: RS485 və ya ProfiBus və ya DeviceNetTM | Yoxdur |
| və ya DeviceNetTM | Analoq:(0～5)VDC və ya (4～20)mA və ya (0～20)mA | Analoq:(0～5)VDC və ya (4～20)mA və ya (0～20)mA | |||||
| Analoq:(0～5)VDC və ya (4～20)mA və ya (0～20)mA | |||||||
| Çıxış siqnalı | Rəqəmsal: RS485 və ya DeviceNetTM və ya ProfiBus Analoq:(0～5)VDC və ya (4～20)mA və ya (0～20)mA | ||||||
| Enerji təchizatı | ±8 ~ ±16 VDC və ya +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektron birləşdirici | 9 pinli kişi sub-D ， 15 pinli kişi alt D ， DeviceNetTM,ProfiBus ， Analoq | ||||||
| Fitinqlər | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Sıxılma fitinqiΦ10;Sıxılma fitinqiΦ6； | Sıxılma fitinqiΦ6, | ||||||
| Kompressor Fitting 3/8”;Sıxılma fitinqi 1/4"； | Sıxılma fitinqiΦ3, | ||||||
| Kompressor Fitting1/8”;Sıxılma fitinqiΦ3； | Sıxılma fitinqi 1/4", | ||||||
| Ф6(daxili)×1şlanq;ф5(daxili)×1.5şlanq;ф4(daxili)×1şlanq; | W-möhür, | ||||||
| A-sael; | C-möhürü | ||||||
| Çəki | 1kq | 0,8 kq | 1,2 kq | 1kq | 1,2 kq | 1kq | |
