Kütləvi Axın Nəzarətçiləri (MFC) qazların kütləvi axınının dəqiq ölçülməsini və nəzarətini təmin edir.
I. MFC və MFM arasında fərq nədir?
Kütləvi axın ölçmə cihazı (MFM) qaz axınını dəqiq ölçən bir növ alətdir və onun ölçü dəyəri temperatur və ya təzyiqin dəyişməsi səbəbindən qeyri-dəqiq deyil, temperatur və təzyiq kompensasiyası tələb etmir. Kütləvi axın tənzimləyicisi (MFC) nəinki Kütləvi sərfölçən funksiyasına malikdir, lakin daha önəmlisi odur ki, o, qaz axınını avtomatik idarə edə bilir, yəni istifadəçi öz ehtiyaclarına uyğun olaraq axını təyin edə bilir və MFC avtomatik olaraq axını müəyyən edilmiş qiymətdə sabit saxlayır, hətta sistem təzyiqi Ətraf mühitin temperaturunun dəyişməsi və ya dəyişməsi onun təyin olunmuş dəyərdən kənara çıxmasına səbəb olmayacaq.Kütləvi axın tənzimləyicisi əl ilə təyin edilə və ya kompüterə qoşulmaqla avtomatik idarə oluna bilən qaz sabit axını cihazı olan sabit axın cihazıdır.Kütləvi axın sayğacları yalnız ölçür, lakin nəzarət etmir.Kütləvi axın tənzimləyicisi qaz axınını həm ölçə, həm də idarə edə bilən bir nəzarət klapanına malikdir.
II.Quruluş nədir vəəməliyyat prinsipi?
1, Struktur
2, Əməliyyat Prinsipi
Axın suqəbuledici boruya daxil olduqda, axının çox hissəsi yönləndirici kanaldan keçir, kiçik bir hissəsi sensorun içərisindəki kapilyar boruya daxil olur.Xüsusi quruluşa görə
yönləndirici kanal, qaz axınının iki hissəsi düz mütənasib ola bilər.Sensor əvvəlcədən qızdırılır və qızdırılır və içəridəki temperatur giriş havasının temperaturundan daha yüksəkdir.Bu zaman qazın kiçik hissəsinin kütlə axını kapilyar boru ilə istilik ötürmə prinsipi və temperatur fərqinin kalorimetri prinsipi ilə ölçülür.Bu şəkildə ölçülən qaz axını temperatur və təzyiqin təsirlərini nəzərə almaya bilər.Sensor tərəfindən aşkar edilən axın ölçmə siqnalı dövrə lövhəsinə daxil edilir və gücləndirilir və çıxarılır və MFM-nin funksiyası tamamlanır.PID qapalı dövrəli avtomatik idarəetmə funksiyasının dövrə lövhəsinə əlavə edilməsi, sensor tərəfindən ölçülən axın ölçmə siqnalını istifadəçi tərəfindən verilən təyin edilmiş siqnal ilə müqayisə edin.Buna əsaslanaraq, idarəedici klapan elə idarə olunur ki, axının aşkarlanması siqnalı təyin edilmiş siqnala bərabər olsun, beləliklə MFC funksiyasını həyata keçirir.
III.Tətbiqlər və xüsusiyyətlər.
Yarımkeçiricilər və IC istehsalı, xüsusi materialşünaslıq, kimya sənayesi, neft sənayesi, əczaçılıq sənayesi, ətraf mühitin mühafizəsi və vakuum sisteminin tədqiqi və s. kimi sahələrdə geniş tətbiq olunan MFC. Tipik tətbiqlərə: diffuziya kimi mikroelektron proses avadanlığı , oksidləşmə, epitaksiya, CVD, plazma aşındırma, püskürtmə, ion implantasiyası;vakuum çökdürmə avadanlığı, optik lif əritmə, mikro-reaksiya avadanlığı, qarışdırma və uyğunlaşdırma qaz sistemi, kapilyar axınına nəzarət sistemi, qaz xromatoqrafı və digər analitik alətlər.
MFC yüksək dəqiqlik, əla təkrarlanma, sürətli reaksiya, yumşaq başlanğıc, daha yaxşı etibarlılıq, geniş diapazonlu əməliyyat təzyiqi (yüksək təzyiq və vakuum vəziyyətlərində yaxşı işləmə), sadə rahat əməliyyat, çevik quraşdırma, avtomatik həyata keçirmək üçün PC ilə mümkün əlaqə gətirir. istifadəçilərin sisteminə nəzarət.
IV.Necə müəyyən etmək və fxəstəliklər?
Şirkətimizin peşəkar satış sonrası mühəndisi var, quraşdırma və istifadədə problemləri həll etməyə kömək edə bilər.
Göndərmə vaxtı: 29 iyul 2022-ci il