Bilik – Vakuum klapanları

I. Klapanın tətbiqi
Vakuum klapan hava axınının istiqamətini dəyişdirmək, qaz axınının ölçüsünü tənzimləmək, vakuum sistemində boru kəmərini kəsmək və ya birləşdirmək üçün istifadə olunan vakuum sisteminin komponentidir.Vakuum klapanının bağlanma hissələri rezin möhür və ya metal möhürlə bağlanır.

II.Ümumi vakuum klapan tətbiqləri.
Vakuum klapanları
Vakuum qapalı vakuumla işləmə sistemində saxlanmalı olduqda yüksək və ya ultra yüksək vakuum sistemi avadanlıqlarında istifadə olunur.Vakuum klapanları vakuum kamerasına hava axınına nəzarət etmək, təcrid etmək, havalandırmaq, təzyiqin azaldılmasını və ya keçiriciliyi idarə etmək üçün istifadə olunur.Qapı klapanları, daxili klapanlar və bucaq klapanları yüksək və ya ultra yüksək vakuum tətbiqləri üçün istifadə olunan vakuum klapanlarının ən çox yayılmış növləridir.Əlavə klapan növlərinə kəpənək klapanları, ötürmə klapanları, top klapanları, sarkaçlı klapanlar, bütün metal klapanlar, vakuum klapanları, alüminium bucaqlı klapanlar, Teflon örtüklü vakuum klapanları və düz klapanlar daxildir.

Kəpənək klapanları
boru kəmərində axın istiqamətinə düz bucaq altında dönən və öz oxunda fırlanan zaman klapan klapan gövdəsindəki oturacağı möhürləyən metal disklərdən və ya qanadlardan ibarət sürətli açılan klapanlardır.

Transfer klapanları (düzbucaqlı qapı klapanları)
Yüklə bağlanmış vakuum kameraları və ötürmə kameraları arasında və yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında ötürmə kameraları ilə emal kameraları arasında istifadə üçün uyğun olan ayırıcı klapanlar.

Vakuum top klapanları
vahid sızdırmazlıq gərginliyi üçün uyğun dairəvi oturacaqları olan dairəvi qapanma qurğusu olan dörddəbir növbəli düz axın klapanlarıdır.

Sarkaçlı klapanlar
proses vakuum kamerası ilə turbomolekulyar nasos girişi arasında quraşdırılmış böyük tənzimləyici klapandır.Bu vakuum sarkaçlı klapanlar adətən OLED, FPD və PV sənaye istehsal sistemləri daxil olmaqla tətbiqlər üçün qapı və ya sarkaçlı klapanlar kimi nəzərdə tutulmuşdur.

Tamamilə metal klapanlar
Yüksək temperaturun elastomerlərin və kriogen conta metallarının istifadəsinə imkan verməyən ultra yüksək vakuum mühitlərində istifadə üçün nəzərdə tutulmuşdur.Bişirilə bilən bütün metal klapanlar atmosfer təzyiqindən 10-11 mbar-dan aşağıya qədər etibarlı yüksək temperaturda sızdırmazlığı təmin edir.

Vakuum klapanları
Yarımkeçirici istehsal sistemlərində və kimyəvi və hissəciklərlə çirklənmə ilə tətbiqlərdə etibarlı şəkildə işləyin.Onlar kobud vakuum, yüksək vakuum və ya ultra yüksək vakuum mühitlərində istifadə edilə bilər.

Alüminium bucaqlı klapanlar
Bu klapanların girişi və çıxışı bir-birinə düz bucaq altındadır.Bu bucaqlı klapanlar alüminium A6061-T6-dan hazırlanır və kobud və yüksək vakuum tətbiqləri üçün yarımkeçirici və cihaz istehsalında, elmi-tədqiqat və inkişaf və sənaye vakuum sistemlərində istifadə olunur.

Teflon örtüklü vakuum klapan davamlı və yüksək kimyəvi davamlı örtüklü tam mühəndislikli paslanmayan poladdan vakuum komponenti cihazıdır.

III.Vakuum klapanlarının xüsusiyyətləri.
Təzyiq atmosfer təzyiqindən aşağıdır və klapan qapağında təzyiq düşməsi 1 kq qüvvə/sm-dən çox ola bilməz.Ortanın işləmə temperaturu istifadə olunan cihazın prosesindən asılıdır.Temperatur ümumiyyətlə -70 ~ 150 ° C diapazonunu keçmir.Belə klapanlar üçün ən əsas tələb birləşmənin yüksək dərəcədə sıxlığını və strukturun və conta materialının sıxlığını təmin etməkdir.

Orta təzyiqə görə vakuum klapanları dörd qrupa bölmək olar.
1) Aşağı vakuum klapanları: orta təzyiq p=760~1 mmHg.
2）Orta vakuum klapanları: p=1×10-3 mmHg.
3）Yüksək vakuum klapanları: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultra yüksək vakuum klapan: p≤1×10-8 mmHg.

Keçid diametri 250 mm-dən az olan qapalı dövrəli klapan kimi geniş istifadə olunan gövdə xətti hərəkətli vakuum körüklü bağlama klapandır.Qapı klapanları isə daha məhduddur, lakin bu, əsasən böyük diametrlər üçündür.Həmçinin sferik tıxac klapanları (kürə klapanları), daldırma klapanları və kəpənək klapanları da mövcuddur.Vakuum klapanları üçün tıxac klapanları təşviq edilməmişdir, çünki onlar yağla yağlamağa ehtiyac duyurlar, bu da yağ buxarının vakuum sisteminə daxil olmasını mümkün edir, buna icazə verilmir.Vakuum klapanları sahədə əllə və uzaqdan, həmçinin elektrik, elektromaqnit (solenoid klapanlar), pnevmatik və hidravlik üsullarla idarə oluna bilər.