Beijing Super Q Technology Co., Ltd. EV seriyalı yağla yağlanmış 600L, 1200L, 1600L mürəkkəb molekulyar nasoslara və 3600L turbin tipli molekulyar nasoslara malikdir;yağla yağlanmış 300L, 650L, 1300L, 2000L mürəkkəb molekulyar nasoslar.Bu məqalə EV-Z seriyalı yağ yağlama mürəkkəb molekulyar nasosların xüsusiyyətlərini, quraşdırılmasını, istifadəsini və saxlanmasını izah etməyə yönəlmişdir.
Struktur xüsusiyyətləri
EV seriyalı yağ molekulyar nasosu idxal olunan dəqiq keramika podşipnikləri, dinamik tarazlıq vasitəsilə nasosun rotorunu, sabit və etibarlı işləməsini, motor dələ qəfəsli üç fazalı motoru, yağla yağlama ilə rulman yağlamasını qəbul edir, istənilən istiqamətə quraşdırıla bilər.
quraşdırılması və istifadəsi
I. Ultimate təzyiq haqqında
Molekulyar nasosun “Ən yüksək təzyiqi” İSO beynəlxalq standartı “Turbomolekulyar nasosların işləməsi üçün sınaq metodu”na əsaslanır. sınaq örtüyünün müəyyən edilmiş mövqeyi.təzyiq dəyəri.Faktiki istifadədə 'limit təzyiqinin' dəyəri konfiqurasiya edilmiş arxa nasosun iş təzyiqi və effektiv nasos sürəti ilə əlaqədardır.Daha yüksək performanslı arxa nasosun seçilməsi daha yüksək vakuum əldə etmək və işlənmiş vaxtı azaltmaq üçün çox faydalıdır.
Bundan əlavə, molekulyar nasosun egzoz prinsipinin xüsusiyyətlərinə görə nasosun hava girişinin mümkün qədər geniş olması tələb olunur və vakuum kamerasından molekulyar nasos portuna qədər olan qaz yolu fırlanmadan mümkün qədər qaçmalıdır. molekulyar nasosun ən yaxşı səmərəliliyini göstərmək və daha yüksək son vakuum təmin etmək üçün mümkün.
II.Quraşdırma
2.1 Paketi açın
Quraşdırmadan əvvəl, molekulyar nasosun keçid zamanı zədələnib olub olmadığını yoxlayın.
Metod aşağıdakı kimidir: molekulyar nasosun enerji təchizatı təlimatlarına baxın, onu molekulyar nasosla düzgün birləşdirin, su və ya vakuum keçirməyə ehtiyac yoxdur, molekulyar nasosu işə salın və onun işlək olub-olmadığını yoxlayın. anormal səs.Hər hansı bir anormallıq varsa, nasosu dayandırmaq üçün dayandırma düyməsini vaxtında basın.Qeyd: Sınaq əməliyyatı zamanı güc tezliyi 25Hz-dən yüksək olmamalıdır
2.2 Yüksək vakuum flanşının birləşdirilməsi
Molekulyar nasosun əlaqəsi yüksək vakuum flanşı ilə qaldırıla və ya bazaya sabitlənə bilər.Molekulyar nasosun yüksək vakuum flanşı metal körük vasitəsilə sistemə qoşulduqda, molekulyar nasos sabitlənməlidir.
(Flanşın sızdırmazlıq səthində heç bir cızıq yoxdur və sızdırmazlıq halqasında heç bir şey olmamalıdır)
2.3 Foreline vakuum bağlantısı
Mexanik nasosun bağlandıqdan sonra yağı geri qaytarmasının qarşısını almaq üçün ön xətt pompası ilə molekulyar nasos arasında izolyasiya və havalandırma klapan quraşdırılmalıdır.
2.4 Qaz doldurma qurğusunun qoşulması
Təmiz bir vakuum mühitinə sahib olmaq üçün molekulyar nasos dayandırıldıqdan sonra vakuum sistemi azot və ya quru hava ilə doldurula bilər.Ümumiyyətlə, bir havalandırma klapanı ön mərhələdəki boru kəmərinə qoşula bilər və ya yüksək vakuum ucunda qazı çıxarmaq üçün yüksək vakuum klapan istifadə edilə bilər.
III.Soyutmanın birləşdirilməsi
Yatağın yüksək sürətli fırlanan sürtünməsi, nasosun gövdəsinin qızması və motorun temperaturunun yüksəlməsi səbəbindən molekulyar nasos işləyərkən rulman və mühərrik soyudulmalıdır.Havanın soyudulması ümumiyyətlə istifadə olunur və suyun soyudulması ətraf mühitin temperaturu 38 ° C-dən yüksək olduqda istifadə olunur.Xarici diametri 10 mm olan yumşaq su borusu birbaşa molekulyar nasosun su girişinə və çıxışına qoşula bilər.Təmiz su ilə dövran edən su sistemindən istifadə olunur və az yağıntılı krandan su da istifadə edilə bilər (suyun temperaturu ≤28°C olmalıdır).
Suyun təsadüfən dayanması və ya yüksək suyun temperaturu molekulyar nasos gövdəsinin temperatur sensorunu işə salacaq və enerji təchizatı dərhal siqnal verəcək və çıxışı dayandıracaq.
Suyun gözlənilməz dayanmasından və ya suyun temperaturu çox yüksək olduqdan sonra molekulyar nasos həddindən artıq istiləşmə səbəbindən həyəcan siqnalı verənə qədər təxminən 15 dəqiqəlik bir fasilə (xüsusi vaxt temperaturun yüksəlmə sürətindən asılıdır).
IV.Pişirmə
Son təzyiq nasosun daxili hissəsinin təmizliyindən və vakuum kamerası daxil olmaqla vakuum yolundan asılıdır.Ən qısa müddətdə son təzyiqi əldə etmək üçün vakuum sistemi və molekulyar nasos bişirilməlidir.Pişirmə molekulyar nasosun normal işləməsi ilə aparılmalıdır.
Molekulyar nasosun bişirmə temperaturu 80 ° C-dən aşağı olmalıdır, nasos portuna qoşulmuş yüksək vakuum flanşı 120 ° C-dən yüksək olmamalıdır və vakuum sisteminin bişirmə temperaturu ümumiyyətlə 300 ° C-dən azdır.zərərin.
Pişirmə vaxtı sistemin və molekulyar nasosun çirklənmə dərəcəsindən və gözlənilən iş təzyiqindən asılıdır, lakin minimum vaxt 4 saatdan az olmamalıdır.
10-4Pa vakuum əldə etmək üçün, prinsipcə, çörəkçilik tələb olunmur;10-5Pa vakuum əldə etmək üçün yalnız vakuum sisteminin özünü bişirmək kifayətdir;ultra yüksək vakuum əldə etmək üçün vakuum sistemi və molekulyar nasos adətən eyni vaxtda bişirilməlidir.Ölçmə sistemi tam bişmiş olmalıdır, əks halda qazın çıxarılması səbəbindən ölçmə məlumatlarının düzgünlüyünə təsir edəcəkdir.
V.Əməliyyat
Əvvəlcədən vakuumun 15Pa-dan daha yaxşı olduğunu təsdiqləyin, molekulyar nasosu işə salmaq üçün RON düyməsini basın və istifadədən sonra dayandırmaq üçün STOP düyməsini basın.Diqqət!Yumşaq başlanğıc düyməsi ilk istifadə və ya uzunmüddətli boş istifadədən sonra təkrar istifadə üçün istifadə edilməlidir.Yumşaq başlanğıc əməliyyatı aşağıdakı kimidir: cari mərhələdəki vakuum 15Pa-dan yaxşıdır və yumşaq başlanğıc düyməsi sıxılır.110 dəqiqədən sonra molekulyar nasos 550Hz iş tezliyinə çatır (550Hz EV300Z molekulyar nasosa, 400Hz EV650Z, 1300Z, 2000 molekulyar nasosa uyğundur), sonra yumşaq işə salmaq üçün yumşaq işə salma düyməsini (açar yuxarıdır) basın. başlamaq.
（Molekulyar nasosun normal işləməsi zamanı onu daşımaq, daşımaq və ya hava ilə doldurmaq qadağandır.）
VI.Baxım və Təmir
6.1 Pompanın təmizlənməsi
Vakuum sisteminin hava sızması və desorbsiya dərəcəsi dəyişmədikdə və uzun müddət bişirildikdən sonra da vakuum performansını bərpa etmək mümkün olmadıqda və ya arxa nasos yağı ciddi şəkildə geri qaytardıqda, nasos təmizlənməlidir.
（Nasosun təmirinə və təmizlənməsinə ehtiyac varsa, o, peşəkar texniklər tərəfindən sökülməlidir.Təlim olmadan sökülübsə, nəticələrin riski sizin üzərinizdə olacaq.）
6.2 Rulmanların dəyişdirilməsi
Pompanın balanslaşdırılması lazım olduğundan, rulman istifadəçi tərəfindən dəyişdirilə bilməz.
6.3 Zərbədən qorunma
Molekulyar nasos yüksək sürətli fırlanan maşındır.Hərəkətli lövhə ilə statik boşqab arasındakı boşluq çox kiçikdir və həddindən artıq təsirə tab gətirə bilməz.Onunla təmasda olan hərəkət edən daşıyıcının sürəti və sürətlənməsi məhdudlaşdırılmalıdır.Bundan əlavə, molekulyar nasosun normal işləməsi zamanı atmosfer həcminin qəfil təsiri və xarici sərt cisimlərin düşməsi də molekulyar nasosun ciddi zədələnməsinə səbəb olacaqdır.
6.4 Vibrasiya izolyasiyası
Adətən, molekulyar nasos ciddi şəkildə sınaqdan keçirilmişdir və vibrasiya çox kiçikdir və pompalanan sistemə birbaşa qoşula bilər.Yüksək dəqiqlikli alət tətbiqləri üçün (məsələn, elektron mikroskoplar və s.) vibrasiyanın alətə təsirini minimuma endirmək üçün vibrasiya izolyatorlarından istifadə etmək tövsiyə olunur.
6.5 Güclü maqnit sahəsinin qorunması
Fırlanan rotor maqnit sahəsində burulğan cərəyanı yaradır ki, bu da rotorun istiləşməsinə səbəb olacaq.İstilik alüminium materialın gücünü zəiflədəcəyi üçün molekulyar nasosun maqnit sahəsində tətbiqi müəyyən dərəcədə məhdudlaşır.
6.6 elektromaqnit müdaxiləsi
Molekulyar nasoslar və tezlik çeviriciləri kimi bəzi yüksək tezlikli alətlər ətraf mühitə elektromaqnit müdaxiləsinə səbəb ola bilər.Amma beynəlxalq standartlara cavab verən halda, molekulyar nasosların tətbiqi məhdudlaşdırılmayacaq.Tələblər yerinə yetirildikdə, eyni zamanda müvafiq sertifikatlar verilməlidir.
6.7 Güclü radioaktivlik məhdudiyyəti
Əksər materiallar güclü radioaktiv mühitdə, xüsusən də üzvi materiallarda (məsələn, molekulyar nasos yağı, sızdırmazlıq halqaları) və yarımkeçirici komponentlərdə xassələrini dəyişəcək.Molekulyar nasos 105rad radiasiya intensivliyinə qarşı dura bilir.Anti-radioaktiv materialların seçilməsi və motorla idarə olunan enerji təchizatı istifadə edərək, anti-radiasiya gücünü artırmaq olar.Tritium vurarkən, tritium radioaktiv elementinin atmosferə qaçmasının qarşısını almaq üçün molekulyar nasosdakı bütün sızdırmazlıq halqaları metal materiallardan hazırlanmalıdır.
6.8 Ön xətt nasosu
Molekulyar nasosun performans əyrisinin yüksək təzyiq sonunda giriş təzyiqi üç böyüklük sırasını əhatə edən təxminən 200 Pa ilə 10-1 Pa arasında dəyişir.Qaz molekullarının orta sərbəst yolu kiçik olur və nasos effekti pisləşməyə başlayır.Buna görə də, keçid zonasında, arxa nasosun istifadəsi nə qədər çox olarsa, molekulyar nasosun nasos sürəti bir o qədər yüksəkdir.Ön xətt pompası minimum 3 L/S-dən az olmamalıdır.
Ümumi nasazlıqlar və problemlərin aradan qaldırılması
EV-Z seriyalı yağla yağlanmış mürəkkəb molekulyar nasos, çoxpilləli dinamik və statik turbin qanadlarının nisbətən yüksək sürətli fırlanması vasitəsilə havanın çıxarılmasını həyata keçirən mexaniki vakuum nasosudur.Turbomolekulyar nasos molekulyar axın bölgəsində yüksək nasos sürəti və yüksək sıxılma nisbəti xüsusiyyətlərinə malikdir və diffuziya nasosundan daha çox enerjiyə qənaət edir və neft və buxar çirklənməsinə malik deyil.EV seriyalı yağla yağlanmış mürəkkəb molekulyar nasos, Çində ən böyük nasos sürəti 100 kalibr olan molekulyar nasosdur.
Bu molekulyar nasosun seçiciliyi və vurulacaq qaza yaddaş təsiri yoxdur.Böyük molekulyar çəkiyə malik qazın yüksək sıxılma nisbəti sayəsində nasos soyuq tələlər və yağ tıxacları olmadan təmiz yüksək vakuum və ultra yüksək vakuum əldə edə bilər..Elektronikanın, metallurgiyanın, kimya sənayesinin, elmi tədqiqatların və vakuum texnologiyasının müxtəlif sahələrində geniş istifadə olunur.
Göndərmə vaxtı: 01 iyul 2022-ci il