Складаныя малекулярныя помпы серыі EV
Тэхнічныя дадзеныя серыі EV
мадэль | ЭВ-600 EV-600F | ЭВ-1200 EV-1200F | ЭВ-1600 EV-1600F | ||||
Уваходны фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Выхадны фланец (мм) | 40 кФ | 40 кФ | 50 кФ | ||||
Хуткасць адпампоўкі (л/с) | 600 | 1200 | 1600 год | ||||
Каэфіцыент сціску | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Канчатковы вакуум (Па) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Хуткасць кручэння (а/хв) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Вібрацыя | ≤0,1 мкм | ≤0,1 мкм | ≤0,15 мкм | ||||
Час разгону (мін) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
Падпорны помпа | 4-8 Л/С | 8-15 Л/С | 15 л/с | ||||
Спосаб астуджэння | Вадзяное (паветранае) астуджэнне | Вадзяное (паветранае) астуджэнне | Вадзяное (паветранае) астуджэнне | ||||
Тэмпература астуджальнай вады (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Тэмпература навакольнага асяроддзя (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Колькасць патоку астуджальнай вады | 1-2 л/мін | 1-2 л/мін | 1-2 л/мін | ||||
Тэмпература выпякання (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Магутнасць абагравальніка (Вт) | <250 | <300 | <300 | ||||
Уваходнае напружанне абагравальніка (В) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Мантаж | Па вертыкалі ±5° | Па вертыкалі ±5° | Па вертыкалі ±5° | ||||
Вага (кг) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Крывая накачкі злучэння ў атмасферы
Малекулярны помпа
Крывая ступені сціску азоту і вадароду
складаным малекулярным помпай
Табліца ўсталявальных памераў серыі EV злучэння малекулярнага помпы
мадэль | ЭВ-600 | ЭВ-1200 | ЭВ-1600 | ||||
Уваходны фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨ 145,7 | ¨ 145,7 | ¨ 167,6 | ¨ 167,6 | ¨ 183,9 | ¨ 183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Адтуліну для шрубы ножкі помпы | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | |
Выхадны фланец (мм) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
Малекулярныя помпы з паветраным астуджэннем серыі EV
Складаны малекулярны помпа з паветраным астуджэннем серыі EV складаецца з турбамалекулярнага помпы і дыскавага цягавага помпы.Ён мае такія характарыстыкі, як высокая хуткасць адпампоўкі і ступень сціску для малекулярнага патоку турбамалекулярнага помпы, высокая хуткасць адпампоўкі і ступень сціску для высокага ціску цягавага помпы і пашырае сферу прымянення малекулярнай помпы.
Складаны малекулярны помпа не мае селектыўнасці і эфекту памяці на газ, які перапампоўваецца.З-за высокай ступені сціску газу з вялікай малекулярнай масай помпа можа атрымліваць чысты высокі і звышвысокі вакуум без халоднай пасткі і алейнай перагародкі.Ён шырока выкарыстоўваецца ў розных галінах электронікі, металургіі, хімічнай прамысловасці, навуковых даследаванняў і вакуумнай тэхнікі.
мадэль | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Уваходны фланец (мм) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨ 145,7 | ¨ 145,7 | ¨ 167,6 | ¨ 167,6 | ¨ 183,8 | ¨ 183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217.5 | 217.5 | 210 | 210 | 214.5 | 214.5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Адтуліну для шрубы ножкі помпы | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 | 4-М8 |