Кантролер масавага расходу, вымяральнік масавага расходу CS200
Асаблівасці
1. Высокая дакладнасць і хуткая рэакцыя
Дакладнасць CS200 MFC была палепшана да ±1,0% ад SP, а самыя перадавыя мадэлі маюць скарочаны час водгуку менш за 0,8 сек.
2. Нізкі дрэйф нуля і тэмпературны каэфіцыент
Вынаходніцтва новай сэнсарнай тэхналогіі дазваляе CS200 MFC падтрымліваць стабільнасць і супрацьстаяць ваганням тэмпературы.Без узмацняльніка аўтаматычнага абнулення чаканы дрэйф нуля складае менш за 0,6% FS/год, а тэмпературны каэфіцыент менш за 0,02% FS/℃ (нуль), 0,05% FS/℃ (дыяпазон).
3. Мадэлі з металічнай герметыкай і асаблівасцю высокай чысціні
Шлях вільготнага патоку лінейкі CS200 MFC выраблены з павярхоўнай нержавеючай сталі.Усе MFC CS200 збіраюцца ў звышчыстых чыстых памяшканнях класа 100 Sevenstar у адпаведнасці са стандартамі SEMI і ISO 9001.
4. Сумяшчальныя інтэрфейсы
CS200 MFC сумяшчальны з наступнымі інтэрфейсамі, якія могуць быць выбраны заказчыкам: ±8V-±16V двухканцовы блок харчавання і +14V-+28V аднаканцовы блок харчавання;увод і вывад лічбавага або аналагавага сігналу;SEMI стандартныя механічныя памеры;і модуль сувязі RS-485 або DeviceNet.
5. Розныя функцыі
Магутнае карыстацкае праграмнае забеспячэнне пастаўляецца ў стандартнай камплектацыі з кожнай мадэллю, у той час як дадатковыя функцыі, такія як некалькі газаў, некалькі дыяпазонаў, аўтаматычнае абнуленне, сігналізацыя, плаўны пуск і затрымка, даступныя па выбары кліента.
Спецыфікацыя
| CS200 | |||||||
| Тып | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Поўны дыяпазон (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Дакладнасць | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS) | ||||||
| Лінейнасць | ±0,5% FS | ||||||
| Паўтараемасць | ±0,2% FS | ||||||
| Час водгуку | ≤1 сек | ≤0,8 с (SEMI E17-0600) | |||||
| Становішча адпачынку клапана | Нармальна закрыты або | Няма клапана | Нармальна закрыты або | Няма клапана | Нармальна закрыты або | Няма клапана | |
| Нармальна адкрыты（100 sccm≤FS≤5 slm） | Нармальна адкрыты（100 sccm≤FS≤5 slm） | Нармальна адкрыты（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Перапад ціску | 0,05 ~ 0,35 МПа （Паток≤10 slm） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02 МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02 МПа | |
| 0,1～0,35 МПа（10slm＜Паток≤30slm） | (0,1 ~ 0,35) МПа (> 10 slm) | (0,1 ~ 0,35) МПа (> 10 slm) | |||||
| 0,2 ~ 0,45 МПа （Паток > 30 слм） | |||||||
| Максімальны працоўны ціск | 0,45 МПа | |||||
| тэмпература | Нуль:≤±0,05% FS/℃; | Нуль:≤±0,02% FS/℃;Дыяпазон: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Каэфіцыент | Дыяпазон: ≤±0,1% FS/℃（Паток≤30slm） | |||||
| Дыяпазон: ≤±0,2% FS/℃（Паток>30 slm） | ||||||
| Доказ ціску | 3 МПа (435 фунтаў на фунт) | |||||
| Нулявы дрэйф | ＜0,6% FS у год без аўтаматычнага абнулення | |||||
| Уцечка цэласнасці | 1×10-9 атм·куб.см / сек He | 1×10-10атм·куб.см / сек He | ||||
| Змочваюцца матэрыялы | Вітон; | Метал? (Нержавеючая сталь V/V, 5Ra) | Метал | |||
| Хімія паверхні | —— | Суадносіны Cr/Fe >2,0;Таўшчыня CrO ＞20 ангстрэм | ||||
| Аздабленне паверхні | 25Ра | 10Ра | 25Ра | |||
| Працоўная тэмпература | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Уваходны сігнал | Лічбавы: RS485 або ProfiBus | Н/Д | Лічбавы: RS485 або ProfiBus або DeviceNetTM | Н/Д | Лічбавы: RS485 або ProfiBus або DeviceNetTM | Н/Д |
| або DeviceNetTM | Аналагавы: (0～5)VDC або (4～20)mA або (0～20)mA | Аналагавы: (0～5)VDC або (4～20)mA?або (0～20)mA | |||||
| Аналагавы: (0 ~ 5) В пастаяннага току або (4 ~ 20) мА або (0 ~ 20) мА | |||||||
| Выхадны сігнал | Лічбавы: RS485 або DeviceNetTM або ProfiBus Аналагавы: (0～5)VDC або (4～20)mA або (0～20)mA | ||||||
| Электразабеспячэнне | ±8 ~ ±16 В пастаяннага току або +14 ~ +28 В пастаяннага току (400 мА) | ||||||
| Электронны раз'ём | 9-кантактны штыкер sub-D ， 15-кантактны штыкер sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus, аналагавы | ||||||
| Арматура | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | Відэамагнітафон 1/4” M; | |||||
| Кампрэсійны фітынг Φ10; Кампрэсійны фітынг Φ6; | Кампрэсійны фітынг Φ6, | ||||||
| Кампрэсійны фітынг 3/8”;Кампрэсійны фітынг 1/4”； | Кампрэсійны фітынг Φ3, | ||||||
| Кампрэсійны фітынг 1/8”;Кампрэсійны фітынг Φ3; | Кампрэсійны фітынг 1/4”, | ||||||
| Ф6(унутраны)×1шланг;ф5(унутраны)×1,5шланг;ф4(унутраны)×1шланг; | W-ўшчыльненне, | ||||||
| А-саэль ; | C-ўшчыльненне | ||||||
| Вага | 1 кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1 кг | 1,2 кг | 1 кг | |
