Кантролеры масавага расходу (MFC) забяспечваюць дакладнае вымярэнне і кантроль масавага расходу газаў.
I. У чым розніца паміж MFC і MFM?
Масавы расходомер (MFM) - гэта своеасаблівы прыбор, які дакладна вымярае расход газу, і яго значэнне вымярэння не з'яўляецца недакладным з-за ваганняў тэмпературы або ціску і не патрабуе кампенсацыі тэмпературы і ціску. Кантролер масавага расходу (MFC) не толькі мае функцыю масавага расходомера, але што яшчэ больш важна, ён можа аўтаматычна кантраляваць паток газу, гэта значыць карыстальнік можа наладзіць паток у адпаведнасці са сваімі патрэбамі, і MFC аўтаматычна падтрымлівае паток пастаянным на зададзеным значэнні, нават калі ціск у сістэме Ваганні або змены тэмпературы навакольнага асяроддзя не прывядуць да яе адхіленні ад зададзенага значэння.Кантролер масавага патоку - гэта прылада з устойлівым патокам газу, якое можа ўсталёўвацца ўручную або аўтаматычна кіравацца шляхам злучэння з кампутарам.Вымяральнікі масавага расходу толькі вымяраюць, але не кантралююць.Рэгулятар масавага расходу мае рэгулюючы клапан, які можа як вымяраць, так і кантраляваць расход газу.
II.Што такое структура іпрынцып дзеяння?
1、 Структура
2、Прынцып працы
Калі паток трапляе ва впускную трубу, большая частка патоку праходзіць праз адводны канал, невялікая частка якога трапляе ў капілярную трубку ўнутры датчыка.Дзякуючы асабліваму будынку ст
адводны канал, дзве часткі патоку газу могуць быць прама прапарцыйныя.Датчык папярэдне награваецца і награваецца, а тэмпература ўнутры вышэй, чым тэмпература паветра на ўваходзе.У гэты час масавы расход невялікай часткі газу вымяраецца па прынцыпе цеплааддачы капілярнай трубкай і па прынцыпе каларыметрыі розніцы тэмператур.Паток газу, вымераны такім чынам, можа ігнараваць уплыў тэмпературы і ціску.Сігнал вымярэння расходу, выяўлены датчыкам, падаецца на друкаваную плату, узмацняецца і выводзіцца, і функцыя MFM завершана.Даданне функцыі аўтаматычнага кіравання ПІД з замкнёным контурам на друкаваную плату. Параўнанне сігналу вымярэння расходу, вымеранага датчыкам, з зададзеным сігналам, пададзеным карыстальнікам.Зыходзячы з гэтага, рэгулюючы клапан кіруецца такім чынам, каб сігнал выяўлення патоку быў роўны зададзенаму сігналу, такім чынам рэалізуючы функцыю MFC.
III.Прыкладання і асаблівасці.
MFC, які шырока прымяняецца ў такіх галінах, як выраб паўправаднікоў і мікрасхем, спецыяльнае матэрыялазнаўства, хімічная прамысловасць, нафтавая прамысловасць, фармацэўтычная прамысловасць, ахова навакольнага асяроддзя і даследаванне вакуумных сістэм і г. , акісленне, эпітаксія, CVD, плазменнае тручэнне, напыленне, іонная імплантацыя;абсталяванне для вакуумнага нанясення, плаўленне аптычнага валакна, абсталяванне для мікрарэакцый, сістэма змешвання і супастаўлення газу, сістэма кантролю капілярнага патоку, газавы храматограф і іншыя аналітычныя прыборы.
MFC забяспечвае высокую дакладнасць, выдатную паўтаральнасць, хуткую рэакцыю, плаўны пуск, лепшую надзейнасць, шырокі дыяпазон працоўнага ціску (добрая праца ў сітуацыях высокага ціску і вакууму), простае зручнае кіраванне, гнуткую ўстаноўку, магчымае падключэнне да ПК для выканання аўтаматычнага кантроль сістэмы карыстальнікаў.
IV.Як вызначыць і змагацца з fхваробы?
У нашай кампаніі ёсць прафесійны інжынер пасляпродажнага абслугоўвання, які можа дапамагчы вам вырашыць праблемы пры ўсталёўцы і выкарыстанні.
Час публікацыі: 29 ліпеня 2022 г