Веды - Вакуумныя клапаны

I. Увядзенне клапана
Вакуумны клапан - гэта кампанент вакуумнай сістэмы, які выкарыстоўваецца для змены напрамку паветранага патоку, рэгулявання памеру патоку газу, перакрыцця або падлучэння трубаправода ў вакуумнай сістэме.Замыкальныя часткі вакуумнага клапана ўшчыльняюцца гумовым ушчыльняльнікам або металічным ушчыльняльнікам.

II.Агульныя прымянення вакуумнага клапана.
Вакуумныя клапаны
Выкарыстоўваецца ў абсталяванні сістэмы высокага або звышвысокага вакууму, калі неабходна падтрымліваць вакуум у закрытай сістэме апрацоўкі вакууму.Вакуумныя клапаны выкарыстоўваюцца для кантролю патоку паветра ў вакуумную камеру, ізаляцыі, вентыляцыі, забеспячэння зніжэння ціску або кантролю праводнасці.Засаўкі, убудаваныя клапаны і вуглавыя клапаны - найбольш распаўсюджаныя тыпы вакуумных клапанаў, якія выкарыстоўваюцца для прымянення высокага і звышвысокага вакууму.Дадатковыя тыпы клапанаў ўключаюць дросельныя клапаны, перадаткавыя клапаны, шаравыя краны, маятнікавыя клапаны, суцэльнаметалічныя клапаны, вакуумныя клапаны, алюмініевыя вуглавыя клапаны, вакуумныя клапаны з тэфлонавым пакрыццём і прамыя клапаны.

Паваротныя засаўкі
хутка адчыняюцца клапаны, якія складаюцца з металічных дыскаў або лопасцяў, якія паварочваюцца пад прамым вуглом да напрамку патоку ў трубаправодзе і пры кручэнні вакол сваёй восі ўшчыльняюць сядло ў корпусе клапана.

Перадаткавыя клапаны (прастакутныя засаўкі)
Раздзяляльныя клапаны, прыдатныя для выкарыстання паміж вакуумнымі камерамі з блакіроўкай нагрузкі і камерамі перадачы, а таксама паміж камерамі перадачы і камерамі апрацоўкі ў абсталяванні для вытворчасці паўправаднікоў.

Вакуумныя шаравыя краны
- гэта клапаны з прамым патокам на чвэрць абароту з круглым закрыццём у зборы з адпаведнымі круглымі сядзеннямі для раўнамернага ўшчыльнення.

Маятнікавыя клапаны
гэта вялікая дросельная засланка, усталяваная паміж тэхналагічнай вакуумнай камерай і уваходам турбамалекулярнага помпы.Гэтыя вакуумныя маятнікавыя клапаны звычайна распрацоўваюцца як засаўкі або маятнікавыя клапаны для прымянення, уключаючы OLED, FPD і PV прамысловыя вытворчыя сістэмы.

Суцэльнаметалічныя вентылі
Прызначаны для выкарыстання ў звышвысокім вакууме, дзе высокія тэмпературы не дазваляюць выкарыстоўваць эластамеры і крыягенныя металы для пракладак.Суцэльнаметалічныя клапаны, якія можна выпякаць, забяспечваюць надзейную высокатэмпературную герметызацыю ад атмасфернага ціску да ніжэй за 10-11 мбар.

Вакуумныя клапаны
Надзейная праца ў сістэмах вытворчасці паўправаднікоў і ў праграмах з хімічным забруджваннем і часціцамі.Іх можна выкарыстоўваць у грубым вакууме, высокім або звышвысокім вакууме.

Алюмініевыя вуглавыя краны
Уваход і выхад гэтых клапанаў знаходзяцца пад прамым вуглом адзін да аднаго.Гэтыя вуглавыя клапаны зроблены з алюмінія A6061-T6 і выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў і прыбораў, у НДДКР і прамысловых вакуумных сістэмах для прымянення ад грубага да высокага вакууму.

Вакуумны клапан з тэфлонавым пакрыццём - гэта цалкам сканструяваны вакуумны кампанент з нержавеючай сталі з трывалым пакрыццём з высокай хімічнай устойлівасцю.

III.Характарыстыка вакуумных вентыляў.
Ціск ніжэйшы за атмасферны, а падзенне ціску на створцы клапана не можа перавышаць 1 кг сілы/см.Працоўная тэмпература асяроддзя залежыць ад тэхналагічнага працэсу выкарыстоўванага прылады.Звычайна тэмпература не перавышае -70 ~ 150°C.Самае асноўнае патрабаванне да такой арматуры - гэта забеспячэнне высокай ступені герметычнасці злучэння і шчыльнасці матэрыялу канструкцыі і пракладкі.

У адпаведнасці з сярэднім ціскам вакуумныя клапаны можна падзяліць на чатыры групы.
1) Клапаны нізкага вакууму: сярэдні ціск р=760~1 мм рт.
2) Клапаны сярэдняга вакууму: p=1×10-3 мм рт.
3) Высокавакуумныя клапаны: p=1×10-4 ~1×10-7 мм рт.
4) Клапан звышвысокага вакууму: p≤1×10-8 мм рт.

У якасці клапана закрытага контуру з дыяметрам канала менш за 250 мм шырока выкарыстоўваецца шток вакуумнага сильфонного запорного клапана з лінейным рухам.Засаўкі, аднак, больш абмежаваныя, але гэта ў асноўным для вялікіх дыяметраў.Таксама даступныя шаравыя краны (шаравыя краны), поршневыя краны і дросельныя засаўкі.Запорныя клапаны для вакуумных клапанаў не прасоўваліся, таму што яны патрабуюць алейнай змазкі, што робіць магчымым трапленне алейных пароў у вакуумную сістэму, што недапушчальна.Вакуумнымі клапанамі можна кіраваць уручную і дыстанцыйна ў палявых умовах, а таксама электрычна, электрамагнітна (электрамагнітныя клапаны), пнеўматычна і гідраўлічна.