Beijing Super Q Technology Co., Ltd. мае масляныя малекулярныя помпы серыі EV 600L, 1200L, 1600L і малекулярныя помпы турбіннага тыпу 3600L;малекулярныя помпы са змазкай 300 л, 650 л, 1300 л, 2000 л.Гэты артыкул прысвечаны тлумачэнню характарыстык, устаноўцы, выкарыстанні і тэхнічнаму абслугоўванню малекулярных помпаў са змазачнай змазкай серыі EV-Z.
Характарыстыка структуры
Малекулярны помпа для змазкі серыі EV выкарыстоўвае імпартныя прэцызійныя керамічныя падшыпнікі, ротар помпы праз дынамічны баланс, стабільную і надзейную працу, трохфазны рухавік з каротказамкнутым ротам, змазку падшыпнікаў змазкай для змазкі, можна ўсталяваць у любой арыентацыі.
ўстаноўка і выкарыстанне
I. Пра канчатковы ціск
«Канчатковы ціск» малекулярнага помпы заснаваны на міжнародным стандарце ISO «Метад выпрабаванняў прадукцыйнасці турбамалекулярных помпаў». Пасля поўнага запякання корпуса помпы і выпрабавальнай вечка (48 гадзін сушкі і дэгазацыі) самы нізкі ціск, вымераны пры зададзенае становішча тэставай вечка.значэнне ціску.Пры рэальным выкарыстанні значэнне «лімітавага ціску» звязана з працоўным ціскам і эфектыўнай хуткасцю адпампоўкі наладжанага рэзервовага помпы.Выбар больш высокапрадукцыйнага апорнага помпы вельмі карысны для атрымання больш высокага вакууму і скарачэння часу выпуску.
Акрамя таго, з-за асаблівасцяў прынцыпу выхлапу малекулярнага помпы, паветразаборнае адтуліну помпы павінна быць як мага больш шырокім, а шлях газу ад вакуумнай камеры да порта малекулярнага помпы павінен пазбягаць павароту як мага больш. магчыма, каб забяспечыць найлепшую эфектыўнасць малекулярнай помпы і гарантавана больш высокі канчатковы вакуум.
II.Ўстаноўка
2.1 Адкрыйце пакет
Перад устаноўкай праверце, ці не быў малекулярны помпа пашкоджаны падчас транспарціроўкі.
Метад наступны: звярніцеся да інструкцый па блоку сілкавання малекулярнай помпы, правільна падключыце яго да малекулярнай помпы, не трэба прапускаць ваду або вакуум, запусціце малекулярную помпу і праверце, ці працуе яна і ці ёсць ненармальны гук.Калі ёсць якія-небудзь парушэнні, своечасова націсніце выключальнік, каб спыніць помпа.Заўвага: падчас пробнай эксплуатацыі частата сілкавання не павінна перавышаць 25 Гц
2.2 Падключэнне высокавакуумнага фланца
Злучэнне малекулярнай помпы можна падняць з дапамогай высокавакуумнага фланца або замацаваць на падставе.Малекулярны помпа павінен быць замацаваны, калі высокавакуумны фланец малекулярнага помпы падлучаны да сістэмы праз металічны сильфон.
(Ушчыльняльная паверхня фланца не мае драпін, і на ўшчыльняльным кольцы нічога не павінна быць)
2.3 Вакуумнае злучэнне перадавой лініі
Ізаляцыйны і вентыляцыйны клапан павінен быць усталяваны паміж форвакуумным помпай і малекулярным помпай, каб механічны помпа не вяртаў масла пасля адключэння.
2.4 Падключэнне газазараднай прылады
Каб мець чыстае вакуумнае асяроддзе, пасля спынення малекулярнай помпы вакуумную сістэму можна напоўніць азотам або сухім паветрам.Як правіла, вентыляцыйны клапан можа быць падлучаны да трубаправода пярэдняй ступені, або клапан высокага вакууму можа быць выкарыстаны для выпуску газу на канцы высокага вакууму.
III.Падключэнне астуджэння
З-за высокахуткаснага трэння падшыпніка, нагрэву корпуса помпы і павышэння тэмпературы рухавіка, падшыпнік і рухавік павінны астуджацца, калі малекулярны помпа працуе.Як правіла, выкарыстоўваецца паветранае астуджэнне, а вадзяное - калі тэмпература навакольнага асяроддзя вышэй за 38°C.Труба для мяккай вады з вонкавым дыяметрам 10 мм можа быць непасрэдна падключана да ўваходу і выхаду вады малекулярнага помпы.Выкарыстоўваецца сістэма цыркуляцыйнага водазабеспячэння з чыстай вадой, а таксама можа выкарыстоўвацца вадаправодная вада з невялікай колькасцю ападкаў (тэмпература вады павінна быць ≤28°C).
Выпадковае спыненне падачы вады або высокая тэмпература вады прымусяць спрацаваць датчык тэмпературы корпуса малекулярнай помпы, і крыніца сілкавання неадкладна выдасць сігнал і спыніць выхад.
Пасля нечаканага адключэння вады або занадта высокай тэмпературы вады ёсць інтэрвал каля 15 хвілін (канкрэтны час залежыць ад хуткасці павышэння тэмпературы), пакуль малекулярны помпа не спрацуе з-за перагрэву.
IV.Выпечка
Канчатковы ціск залежыць ад чысціні ўнутранай часткі помпы і вакуумнага шляху, уключаючы вакуумную камеру.Для таго, каб атрымаць канчатковы ціск у самыя кароткія тэрміны, вакуумная сістэма і малекулярны помпа павінны быць запечаны.Выпяканне павінна праводзіцца пры нармальнай працы малекулярнага помпы.
Тэмпература запякання малекулярнага помпы павінна быць ніжэй за 80°C, фланец высокага вакууму, падлучаны да порта помпы, не павінен быць вышэй за 120°C, а тэмпература запякання вакуумнай сістэмы звычайна ніжэй за 300°C.пашкоджанняў.
Час выпякання залежыць ад ступені забруджвання сістэмы і малекулярнага помпы і чаканага гранічнага працоўнага ціску, але мінімальны час не павінен быць меншым за 4 гадзіны.
Для атрымання вакууму 10-4Па, у прынцыпе, не патрабуецца выпяканне;для атрымання вакууму 10-5Па дастаткова толькі запякання самой вакуумнай сістэмы;для атрымання звышвысокага вакууму вакуумную сістэму і малекулярны помпа звычайна трэба выпякаць адначасова.Вымяральная сістэма павінна быць цалкам запечанай, у адваротным выпадку гэта паўплывае на дакладнасць даных вымярэнняў з-за яе дэгазацыі.
V.Аперацыя
Пераканайцеся, што папярэдні вакуум лепшы за 15 Па, націсніце клавішу RON, каб запусціць малекулярны помпа, і націсніце клавішу СТОП, каб спыніць працу пасля выкарыстання.Увага!Клавіша плыўнага пуску павінна быць выкарыстана для першага выкарыстання або паўторнага выкарыстання пасля працяглага прастою.Аперацыя плыўнага пуску выглядае наступным чынам: разрэджанне на бягучай ступені лепш за 15 Па і націснутая клавіша плыўнага пуску.Праз 110 хвілін малекулярная помпа дасягае працоўнай частаты 550 Гц (550 Гц адпавядае малекулярнай помпе EV300Z, 400 Гц адпавядае малекулярнай помпе EV650Z, 1300Z, 2000), затым націсніце кнопку плыўнага запуску (клавіша ўверх), каб спыніць плыўны пачаць.
（Падчас нармальнай працы малекулярнай помпы забараняецца пераносіць, перамяшчаць або напаўняць паветрам.）
VI.Тэхнічнае абслугоўванне і рамонт
6.1 Ачыстка помпы
Калі ўцечка паветра і хуткасць дэсорбцыі вакуумнай сістэмы не змяняюцца, і прадукцыйнасць вакууму не можа быць адноўлена нават пасля доўгага часу выпякання, або калі рэзервовы помпа сур'ёзна вяртае алей, помпа неабходна ачысціць.
（Калі помпа патрабуе рамонту і чысткі, яго павінен разабраць прафесійны тэхнік.Калі яго разабраць без навучання, наступствы будуць на ваш страх і рызыка.)
6.2 Замена падшыпнікаў
Паколькі помпа неабходна збалансаваць, падшыпнік не можа быць заменены карыстальнікам.
6.3 Абарона ад удараў
Малекулярны помпа - гэта хуткасная верціцца машына.Зазор паміж рухомай пласцінай і статычнай пласцінай вельмі малы, і ён не можа вытрымаць празмернае ўздзеянне.Хуткасць і паскарэнне рухомага носьбіта ў кантакце з ім павінны быць абмежаваныя.Акрамя таго, раптоўнае ўздзеянне аб'ёму атмасферы і падзенне знешніх цвёрдых прадметаў падчас нармальнай працы малекулярнага помпы таксама прывядуць да сур'ёзнага пашкоджання малекулярнага помпы.
6.4 Вібраізаляцыя
Звычайна малекулярны помпа праходзіў строгія выпрабаванні, і вібрацыя вельмі малая, і яго можна непасрэдна падключыць да напампаванай сістэмы.Для прымянення высокадакладных прыбораў (напрыклад, электронных мікраскопаў і г.д.) рэкамендуецца выкарыстоўваць вібраізалятары, каб мінімізаваць уздзеянне вібрацыі на прыбор.
6.5 Моцнае экранаванне магнітнага поля
Ротар, які верціцца, стварае віхравы ток у магнітным полі, які выклікае нагрэў ротара.Паколькі цяпло аслабляе трываласць алюмініевага матэрыялу, прымяненне малекулярнай помпы ў магнітным полі да пэўнай ступені абмежавана.
6.6 электрамагнітныя перашкоды
Некаторыя высокачашчынныя прыборы, такія як малекулярныя помпы і пераўтваральнікі частоты, могуць выклікаць электрамагнітныя перашкоды ў навакольным асяроддзі.Але ў выпадку адпаведнасці міжнародным стандартам прымяненне малекулярных помпаў не абмяжуецца.Пры выкананні патрабаванняў адначасова павінны быць выдадзены адпаведныя сертыфікаты.
6.7 Моцнае абмежаванне радыеактыўнасці
Большасць матэрыялаў зменяць свае ўласцівасці ў моцным радыеактыўным асяроддзі, асабліва арганічныя матэрыялы (напрыклад, алей для малекулярных помпаў, ушчыльняльныя кольцы) і паўправадніковыя кампаненты.Малекулярная помпа можа супрацьстаяць інтэнсіўнасці выпраменьвання 105 рад.Выбіраючы антырадыеактыўныя матэрыялы і выкарыстоўваючы блок сілкавання з рухавіком, можна палепшыць антырадыяцыйную трываласць.Пры перапампоўванні трыція, каб прадухіліць выхад радыеактыўнага элемента трыція ў атмасферу, усе ўшчыльняльныя кольцы малекулярнага помпы павінны быць выраблены з металічных матэрыялаў
6.8 Форлайн помпа
На канцы крывой прадукцыйнасці малекулярнай помпы высокага ціску ціск на ўваходзе вагаецца ад прыкладна 200 Па да 10-1 Па, ахопліваючы тры парадкі велічыні.Даўжыня вольнага прабегу малекул газу становіцца меншай, і эфект накачкі пачынае пагаршацца.Такім чынам, у пераходнай зоне, чым больш актыўнае выкарыстанне апорнага помпы, тым большая хуткасць адпампоўкі малекулярнага помпы.Прадукцыйнасць форвакутнай помпы павінна быць не менш за 3 л/с мінімум.
Тыповыя няспраўнасці і іх ліквідацыя
Кампазіцыйны малекулярны помпа са змазкай серыі EV-Z - гэта механічны вакуумны помпа, які ажыццяўляе выцягванне паветра праз адносна высокахуткаснае кручэнне шматступеністых дынамічных і статычных лопасцей турбіны.Турбамалекулярны помпа мае характарыстыкі высокай хуткасці адпампоўкі і высокай ступені сціску ў вобласці малекулярнага патоку, ён больш энергазберагальны, чым дыфузійны помпа, і не забруджвае нафтай і парай.Кампазіцыйны малекулярны помпа серыі EV са змазкай - гэта малекулярны помпа з самай вялікай хуткасцю адпампоўкі ў 100 калібраў у Кітаі.
Гэты малекулярны помпа не мае селектыўнасці і не мае эфекту памяці на газ, які трэба перапампоўваць.Дзякуючы высокай ступені сціску газу з вялікай малекулярнай масай, помпа можа атрымаць чысты высокі і звышвысокі вакуум без халодных пастак і алейных перагародак..Ён шырока выкарыстоўваецца ў розных галінах электронікі, металургіі, хімічнай прамысловасці, навуковых даследаванняў і вакуумнай тэхнікі.
Час публікацыі: 1 ліпеня 2022 г