EV серия турбо молекулярна помпа
Профилни размери и монтажни връзки на турбомолекулярни помпи
Кривата на скоростта на турбо молекулярната помпа
изпомпване на азот и водород
Кривата на скоростта на Turbo molecular
помпа в атмосферата
Технически данни на EV-3600
Входящ фланец (mm) | 400 ISO - K | |
Изходен фланец (mm) | 100 ISO - K | |
Скорост на изпомпване(L/S) | 3600 | |
Съотношение на компресия | N2 | >108 |
H2 | >5X102 | |
Крайно налягане(Pa) | <2X10-6 | |
Номинална скорост(rpm) | 13500 | |
Вибрация | ≤0,15 μm | |
Начално време(мин) | <11 | |
Време за спиране(мин) | <20 | |
Препоръчителна ротационна помпа | 30-70 L/S | |
Метод на охлаждане | Водно охлаждане | |
Температура на водно охлаждане (℃) | ≤25 | |
Дебит на водно охлаждане(L/min) | 2 | |
Температура на изпичане на тялото на помпата | <120 ℃ | |
Режим на инсталиране | Вертикално ±5° | |
Тегло (кг) | ≈100 |
Напишете вашето съобщение тук и ни го изпратете