Голяма скорост на изпомпване, издръжлива Вакуумна помпа с въртяща се лопатка DRV с ниско ниво на шум
Вакуумната помпа от серията DRV е двустепенна вакуумна помпа с въртящи се лопатки и маслено уплътнение, подходяща за приложения с нисък и среден вакуум, използвана главно за отстраняване на въздух и други сухи газове.Това е едно от основните съоръжения за нисък и среден вакуум, може да се използва самостоятелно или като предна част
помпа на други вакуумни помпи.
Вакуумната помпа има характеристиките на надеждна работа, по-малко износващи се части, ниски вибрации, нисък шум и висока ефективност.
Вакуумната помпа от серията SV е внесена от чуждестранна модерна технология, а ключовите компоненти са внесени компоненти или внесени
материали.Вакуумната помпа от серията DRV може напълно да замени подобни чуждестранни продукти.
Брошура за продукта от серията молекулярни помпи EVFB
Модел:
EVFB-100/301 Комбинирана интегрирана молекулярна помпа
EVFB-160/401 Комбинирана интегрирана молекулярна помпа
EVFB-160/450D Антивибрационна молекулярна помпа
EVFB-160/701 Комбинирана интегрирана молекулярна помпа
EVFB-200/1401 Комбинирана интегрирана молекулярна помпа
EVFB-250/2201 Комбинирана интегрирана молекулярна помпа
EVFB-160/701 Съставна молекулярна помпа
EVFB-200/1401 Комбинирана молекулярна помпа
EVFB-250/2201 Комбинирана молекулярна помпа
EVFB-400/3600 Турбо молекулярна помпа
EVFB-400/4500 Турбо молекулярна помпа
Общ преглед на продукта
Молекулярната помпа е вид високоскоростна вакуумна помпа за трансфер на инерция, диапазонът на работното й налягане обикновено е 10-1Pa ~ 10-7Pa, е едно от важните съоръжения за придобиване на вакуум за постигане на висок вакуум и ултрависок вакуум.Молекулярната помпа има предимствата на бърза скорост на стартиране, широк работен обхват, ниска консумация на енергия, висока чистота и лесна поддръжка.
Продуктите с молекулярни помпи, описани в тази примерна книга, са второ поколение продукти
наскоро пуснати на пазара от компанията, които са проектирани и оптимизирани основно за промишлен вакуум и научни изследвания, включително първата серия от индустриални вакуумни молекулярни помпи с интегрирани контролери и гъвкави сценарии за приложение.Според калибъра има главно DN100, DN160, DN200, DN250 и DN400 и други продукти.
Смазана с грес интегрална молекулярна помпа
Основни характеристики на тази серия продукти:
（1） Интегриран контролер: Интегриран дизайн на контролера，Улеснява системната интеграция，Ключ старт-стоп；
（2） Прецизен лагер: прецизен керамичен сачмен лагер за смазване с грес, монтиран под произволен ъгъл;
（3） Висока надеждност: цялостни ротори，BLDC задвижваща технология；
（4） Функционално разнообразие: пълна гама от аксесоари, налични са персонализирани решения;
（5） Осигурете функция за регулируема скорост，За да отговаряте на изискванията за различни скорости на изпомпване；
Тази серия от продукти е подходяща главно за PVD, CVD, течнокристална плоча и други индустриални покрития;Масспектрометрия, физика на високи енергии, вакуумно откриване на течове, медицина и биологично инженерство и други научни изследователски области.
Технически спецификации на молекулярната помпа
| Модел | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（направен по поръчка） | ||||
| ☑The вакуум параметри | |||||||
| Изпомпване скорост (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimate налягане | < 5×10-6 Pa (LF);< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Компресия съотношение | > | > | > | > | > 1×108 | > 1 × 10 3 | |
| Максимален непрекъснат входпреss уре | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Максимално непрекъснато предно налягане | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Максимална поносимост на налягането | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Физически параметър | |||||||
| Вход фланец | DN100 ISO-K (LF) или CF | DN160 ISO-K (LF) или CF | |||||
| Предна линия фланец | DN25 ISO-KF или DN40KF（По избор） | ||||||
| Прочистване фланец | DN16 ISO-KF | ||||||
| Тегло | 9,6 кг（ISO-K | 10 кг（ISO-K） | |||||
| 10 кг（CF） | 11 кг（CF） | ||||||
| Вибрация | ≤0,05 μm | ||||||
| Шум | ≤55 dB（Стандартното въздушно охлаждане） | ||||||
| Лагер | Смазан с грес керамичен сачмен лагер | ||||||
| Оперативен позиция | Всякакви | ||||||
| Oper.ambient Магнитни поле | ≤3 mT（Най-големият 10mT，Трябва да персонализирате） | ||||||
| Опер.амбие nt | Въздушно охлаждане | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Водно охлаждане | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Изисквания за охлаждаща вода | Температура на водата: 15-30 ℃；налягане: 0,15Mpa；PH6~8，ясно，без масло；поток：≥1L/min | ||||||
| Препоръчва се предна помпа | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Контролер параметри | |||||||
| Контролер | EVFB-II | ||||||
| Ротационен скорост | 48000rp | 36000 об/мин | |||||
| ниско скорост | 33600rp | 25200 об/мин | |||||
| Започвам време | ≤5 мин | ||||||
| Волтаж | 48VAC±2% | ||||||
| Комуникация режим | RS-485 | ||||||
| Модел | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The вакуум параметри | |||||||
| Ultimate налягане (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Изпомпване скорост (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 г | 1800 г | ||
| Компресия съотношение | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Максимален непрекъснат входпреss ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Максимално непрекъснато предно налягане (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress уретолерантност (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Физически параметър | |||||||
| Вход фланец | DN160 ISO-K（LF） или CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K （LF）или | ||||
| Предна линия фланец | DN25 ISO-KF или KF40 (по избор) | DN40 ISO-KF или KF50 (по избор) | |||||
| Прочистване фланец | DN16 ISO-KF | ||||||
| Препоръчва се предна помпа (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Тегло（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Вибрация | ≤ | ||||||
| Шум (dB) | ≤ | ||||||
| Лагер | Смазан с грес керамичен сачмен лагер | ||||||
| Оперативен позиция | Всякакви | ||||||
| Магнитни поле интензитет (mT) | ≤3（Най-големият 10mT，Трябва да персонализирате） | ||||||
| Oper.ambient температура | Въздух охлаждане | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| вода охлаждане | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Охлаждане вода изисквания | Температура на водата: 15-25 ℃；налягане: 0,15Mpa；PH6~8，ясно，Без масло ；поток: ≥1.5L/мин | ||||||
| ☑Контролер параметри | |||||||
| Контролер | EVFB-III-A | ||||||
| Комуникация режим | RS-485 | ||||||
| Волтаж（V） | 220V AC±10% | ||||||
| Честота（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Максимум вход Мощност（W） | 100 | ||||||
| Старт/стоп контрол режим | Бутоните на контролера управляват старт и стоп /RS485 контролер старт и стоп /DB15 Контрол старт и стоп | ||||||
| Защити | Свръхток на контролера, пренапрежение, ниско напрежение, защита от прегряване, свръхток на молекулярна помпа, претоварване, защита от прегряване и др. | ||||||
| Ротационен скорост (об/мин) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
| ниско скорост (об/мин) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| Текущ（A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| защита предпазител（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Време за стартиране（мин） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Престой（мин） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Общо измерение
| Модел | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Модел | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
Поръчване Информация
| Номер | Продукт модел | Продукт код | Аксесоари | Поръчканомер | Обяснете |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | стандартна молекулярна помпа | A3123 | Стандартната помпа（въздушното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан（малък поток） | A3123-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан（малък дебит） | |||
| Компоненти за водно охлаждане | A3123-B | Стандартната помпа + компоненти за водно охлаждане（Сменете компонентите с въздушно охлаждане） | |||
| Аксесоари за продухващ клапан （малък поток）、компоненти за водно охлаждане | A3123-C | Стандартната помпа + Аксесоари за продухващ клапан（малък поток）+ Компоненти за водно охлаждане（Сменете компоненти с въздушно охлаждане） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | стандартна молекулярна помпа | A3124 | Стандартната помпа（въздушното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан（малък поток） | A3124-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан（малък дебит） | |||
| Компоненти за водно охлаждане | A3124-B | Стандартната помпа + компоненти за водно охлаждане（Сменете компонентите с въздушно охлаждане） | |||
| Аксесоари за продухващ клапан （малък поток）、компоненти за водно охлаждане | A3124-C | Стандартната помпа + Аксесоари за продухващ клапан（малък поток）+ Компоненти за водно охлаждане（Сменете компоненти с въздушно охлаждане） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | стандартна молекулярна помпа | A3127 | Стандартната помпа（въздушното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан（малък поток） | A3127-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан（малък дебит） | |||
| Компоненти за водно охлаждане | A3127-B | Стандартната помпа + компоненти за водно охлаждане（Сменете компонентите с въздушно охлаждане） | |||
| Аксесоари за продухващ клапан （малък поток）、компоненти за водно охлаждане | A3127-C | Стандартната помпа + Аксесоари за продухващ клапан（малък поток）+ Компоненти за водно охлаждане（Сменете компоненти с въздушно охлаждане） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | стандартна молекулярна помпа | A3128 | Стандартната помпа（въздушното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан（малък поток） | A3128-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан（малък дебит） | |||
| Компоненти за водно охлаждане | A3128-B | Стандартната помпа + компоненти за водно охлаждане（Сменете компонентите с въздушно охлаждане） | |||
| Аксесоари за продухващ клапан | A3128-C | Стандартната помпа + продухващ клапан |
| （малък поток）、компоненти за водно охлаждане | аксесоари（малък поток）+компоненти за водно охлаждане(Сменетекомпоненти с въздушно охлаждане) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | стандартна молекулярна помпа | A3129 | Стандартната помпа（въздушното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан（малък поток） | A3129-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан（малък дебит） | |||
| Компоненти за водно охлаждане | A3129-B | Стандартната помпа + компоненти за водно охлаждане（Сменете компонентите с въздушно охлаждане） | |||
| Аксесоари за продухващ клапан （малък поток）、компоненти за водно охлаждане | A3129-C | Стандартната помпа + Аксесоари за продухващ клапан（малък поток）+ Компоненти за водно охлаждане（Сменете компоненти с въздушно охлаждане） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | стандартна молекулярна помпа | A3130 | Стандартната помпа（въздушното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан（малък поток） | A3130-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан（малък дебит） | |||
| Компоненти за водно охлаждане | A3130-B | Стандартната помпа + компоненти за водно охлаждане（Сменете компонентите с въздушно охлаждане） | |||
| Аксесоари за продухващ клапан （малък поток）、компоненти за водно охлаждане | A3130-C | Стандартната помпа + Аксесоари за продухващ клапан（малък поток）+ Компоненти за водно охлаждане（Сменете компоненти с въздушно охлаждане） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | стандартна молекулярна помпа | A3139 | Стандартната помпа（водно охлажданее стандартно по подразбиране) |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3139-A | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари | |||
| Вентилаторни компоненти | A3139-B | Стандартната помпа + вентилатор | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、Вентилаторни компоненти | A3139-C | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари + Вентилаторни компоненти | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | стандартна молекулярна помпа | A3140 | Стандартната помпа（водно охлажданее стандартно по подразбиране) |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3140-A | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари | |||
| Вентилаторни компоненти | A3140-B | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、Вентилаторни компоненти | A3140-C | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари + Вентилаторни компоненти | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | стандартна молекулярна помпа | A3135 | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3135-A | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари | |||
| Вентилаторни компоненти | A3135-B | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、 | A3135-C | Стандартната помпа + продухващ клапан |
| Вентилаторни компоненти | аксесоари + Вентилаторни компоненти | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | стандартна молекулярна помпа | A3136 | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3136-A | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари | |||
| Вентилаторни компоненти | A3136-B | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、 | A3136-C | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари + Вентилаторни компоненти | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | стандартна молекулярна помпа | A3141 | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3141-A | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари | |||
| Вентилаторни компоненти | A3141-B | Стандартната помпа + вентилатор | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、Компоненти на вентилатора | A3141-C | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари + Вентилаторни компоненти | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | стандартна молекулярна помпа | A3142 | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3142-A | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари | |||
| Вентилаторни компоненти | A3142-B | Стандартната помпа + вентилатор | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、 | A3142-C | Стандартната помпа + продухващ клапанаксесоари + Вентилаторни компоненти | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Контролер за молекулярна помпа（ Подходящ за молекулярни помпи като EVFB- 100/301、EVFB- 160/401、EVFB-100/450D） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Контролер за молекулярна помпа（ Подходящ за молекулярни помпи като EVFB- 160/701、EVFB- 200/1401、EVFB-250/2201) |
Молекулярни помпи за разделени съединения
Основни характеристики на тази серия продукти:
（1） Отделен контролер: AC220V захранване，Ключ старт-стоп；
（2） Висока надеждност: цялостни ротори，BLDC задвижваща технология；
（3） Прецизен лагер: Прецизен керамичен сачмен лагер， Инсталиран под произволен ъгъл（Само смазани с грес модели））
（4） Функционално разнообразие: пълна гама от аксесоари, налични са персонализирани решения;
（5） Осигурява функция за регулируема скорост，За да отговори на изискванията за различни скорости на изпомпване； Тази серия от продукти е приложима главно за PVD, CVD, течнокристална плоча и други
индустриално покритие, научни изследвания и други области.
Технически параметри на молекулярната помпа
| Модел | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The вакуум параметри | ||||||||||
| Крайно налягане (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Изпомпване скорост (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 г | 1800 г | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Коефициент на компресия | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Максимум непрекъснато входналягане (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Максимумнепрекъснато Предна линия | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Максимална допустима граница на налягането (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Физически параметър | ||||||||||
| Вход фланец | DN160 ISO-K（LF）илиCF | DN200 ISO-K（LF）илиCF | DN250 ISO-K（LF）илиCF | DN400 ISO-K（LF）илиCF | DN400 ISO-K（LF）илиCF | |||||
| Предна линия фланец | DN25 ISO-KF，KF40（По избор） | DN40 ISO-KF，KF50（По избор） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）или KF50 (по избор) | ||||||
| Прочистване фланец | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Препоръчва се | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Тегло（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Вибрация | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Шум (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Лагер | Смазан с грес керамичен сачмен лагер | Керамичен сачмен лагер | ||||
| Оперативен позиция | Всякакви | Вертикално±5° | ||||
| Oper.Ambient Магнитно поле | ≤ 3mT（Най-големият 10mT，Трябва да персонализирате） | ≤ 3mT | ||||
| Опер.околна среда температура | Въздух охлаждане | 5~35oC | / | / | ||
| Водно охлаждане | 5~40oC | |||||
| Охлаждане вода изисквания | Температура на водата: 15-25 ℃；предварителна сигурност: 0,15Mpa；поток:≥1,5L/мин | поток: ≥ 3L/мин | ||||
| ☑Контролер параметри | ||||||
| Разделени контролер | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Дистанционно контрол | Контрол на изключително разстояние (моля, консултирайте се с нашите инженери) | |||||
| Комуникация режим | RS-485 | |||||
| Волтаж（V） | От 100 до 240VAC（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Честота（Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| Максимална входяща мощност（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Старт/стоп контрол режим | Бутоните на контролера управляват старт и стоп /RS485 контролер старт и стоп /DB15 Контрол старт и стоп | |||||
| Защити | Свръхток на контролера, свръхнапрежение, ниско напрежение, защита от прегряване, свръхток на молекулна помпа,защита от претоварване, прегряване и др | |||||
| Ротационен скорост (об/мин) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| ниско скорост (об/мин) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| Текущ（A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| защита предпазител（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Започвам време（мин） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Престой（мин） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Опер. околна среда състояние | Без корозивни газове и очевидни прахови частици；температура на околната среда: -10℃~50℃；околна средавлажност: ≤ 90%, интензивност на вибрациите: ≤ 0,5 g | |||||
0цялостно измерение
| Модел | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
Размери на турбомолекулярната помпа EVFB-400/3600
Размери на турбомолекулярната помпа EVFB-400/4500
Външен вид на отделен контролер
EVFB-III-B（2U）отделен контролер
EVFB-VI（4U）отделен контролер
Поръчка Информация
| номер | Продукт модел | продукт код | Аксесоари | Поръчка номер | Обяснете |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Стандартна молекулярна помпа | A3139-F | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3139-FA | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
| Вентилаторни компоненти | A3139-FB | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、компоненти на вентилатор | A3139-FC | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан + компоненти на вентилатора | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | стандартна молекулярна помпа | A3140-F | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3140-FA | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
| Вентилаторни компоненти | A3140-FB | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、компоненти на вентилатор | A3140-FC | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан + компоненти на вентилатора | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | стандартна молекулярна помпа | A3135-F | Стандартната помпа（Водно охлаждане е стандартно по подразбиране) |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3135-FA | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
| Вентилаторни компоненти | A3135-FB | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、компоненти на вентилатор | A3135-FC | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан + компоненти на вентилатора | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | стандартна молекулярна помпа | A3136-F | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3136-FA | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
| Вентилаторни компоненти | A3136-FB | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、компоненти на вентилатор | A3136-FC | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан + компоненти на вентилатора | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | стандартна молекулярна помпа | A3141-F | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3141-FA | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
| Вентилаторни компоненти | A3141-FB | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан、компоненти на вентилатор | A3141-FC | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан + компоненти на вентилатора | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | стандартна молекулярна помпа | A3142-F | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3142-FA | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
| Вентилаторни компоненти | A3142-FB | Стандартната помпа + компоненти на вентилатора | |||
| Аксесоари за продухващ клапан | A3142-FC | Стандартната помпа + продухващ клапан |
| Вентилаторни компоненти | аксесоари + Вентилаторни компоненти | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | стандартна молекулярна помпа | A3187 | Стандартната помпа（водно охлаждане е стандартно по подразбиране) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | стандартна молекулярна помпа | A3188 | Стандартната помпа（водно охлаждане е стандартно по подразбиране) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | стандартна молекулярна помпа | A3185 | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3185-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | стандартна молекулярна помпа | A3186 | Стандартната помпа（Водното охлаждане е стандартно по подразбиране） |
| Аксесоари за продухващ клапан | A3186-A | Стандартната помпа + аксесоари за продухващ клапан | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Панел с ръчно управление |
A3261-1 | По желание на клиента ，Подходящо за молекулярни помпи като EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Отделен контролер （4U） | A3270 | Подходящ за турбо молекулярни помпи като EVFB-400/3600、EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Отделен контролер （2U） | A3264 | Подходящ за молекулярни помпи като EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (отделен тип) |
Категории продукти
-
Вакуумна помпа с роторни лопатки 2X
-
Маслена ротационна вакуумна помпа от серия RVP
-
Серия RS и 2RS роторна лопаткова вакуумна помпа
-
SV серия едностепенни ротационни лопатки маслено уплътнени V...
-
Камера за вакуумна дегазация
-
Серия 2XZ двустепенна директна маслена ротационна лопаткова прахосмукачка...
