Контролер за масов дебит Масов дебитомер CS200
Характеристика
1. Висока точност и бърза реакция
Точността на CS200 MFC е подобрена до ±1,0% от SP, а най-модерните модели имат намалено време за реакция от по-малко от 0,8 сек.
2. Нисък дрейф на нулата и температурен коефициент
Изобретяването на нова сензорна технология позволява на CS200 MFC да поддържа стабилност и да издържа на температурни колебания.Без усилвател с автоматично нулиране, очакваният дрейф на нулата е по-малък от 0,6% FS/година, а температурният коефициент е по-малък от 0,02% FS/℃ (нула), 0,05% FS/ ℃ (обхват).
3. Модели с метално запечатване и функция за висока чистота
Пътят на мокрия поток на серията CS200 MFC е изработен от повърхностно пасивирана неръждаема стомана.Всички CS200 MFC се сглобяват в ултрачистите чисти стаи от клас 100 на Sevenstar в съответствие със стандартите SEMI и ISO 9001.
4. Съвместими интерфейси
CS200 MFC е съвместим със следните интерфейси, които могат да бъдат избрани от клиента: ±8V-±16V двукрайно захранване и +14V-+28V еднокрайно захранване;вход и изход за цифров или аналогов сигнал;SEMI стандартни механични размери;и комуникационен модул RS-485 или DeviceNet.
5. Разни функции
Мощният клиентски софтуер идва стандартно с всеки модел, докато допълнителни функции като много газ, много диапазони, автоматично нулиране, аларми, плавен старт и забавяне са налични по избор на клиента.
Спецификация
| CS200 | |||||||
| Тип | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Пълен обхват на скалата (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| точност | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (<35% FS) | ||||||
| Линейност | ±0,5% FS | ||||||
| Повторяемост | ±0,2% FS | ||||||
| Време за реакция | ≤1 сек | ≤0,8 сек (SEMI E17-0600) | |||||
| Позиция на почивка на клапана | Нормално затворен или | Няма клапан | Нормално затворен или | Няма клапан | Нормално затворен или | Няма клапан | |
| Нормално отворен（100 sccm≤FS≤5 slm） | Нормално отворен（100 sccm≤FS≤5 slm） | Нормално отворен（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Диференциално налягане | 0,05～0,35MPa （Поток≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Поток≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa （Поток＞30slm） | |||||||
| Максимално работно налягане | 0,45MPa | |||||
| температура | Нула: ≤±0,05% FS/℃; | Нула: ≤±0,02% FS/℃;Обхват: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Коефициент | Обхват: ≤±0,1% FS/℃（Поток≤30slm） | |||||
| Диапазон: ≤±0,2% FS/℃（Поток>30slm） | ||||||
| Доказателство за налягане | 3MPa (435psg) | |||||
| Нулев дрейф | ＜0,6%FS на година без автоматично нулиране | |||||
| Цялост на теча | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Навлажнени материали | Витон; | Метал? (Неръждаема стомана V/V, 5Ra) | Метал | |||
| Повърхностна химия | —— | Съотношение Cr/Fe >2,0;Дебелина на CrO >20 ангстрьома | ||||
| Повърхностно покритие | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Работна температура | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Входен сигнал | Цифрови: RS485 или ProfiBus | N/A | Цифрови: RS485 или ProfiBus или DeviceNetTM | N/A | Цифрови: RS485 или ProfiBus или DeviceNetTM | N/A |
| или DeviceNetTM | Аналогов: (0～5)VDC или (4～20)mA или (0～20)mA | Аналогов: (0～5)VDC или (4～20)mA?или (0～20)mA | |||||
| Аналогов: (0～5)VDC или (4～20)mA или (0～20)mA | |||||||
| Изходен сигнал | Цифров: RS485 или DeviceNetTM или ProfiBus Аналогов: (0～5)VDC или (4～20)mA или (0～20)mA | ||||||
| Захранване | ±8 ~ ±16 VDC или +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Електронен конектор | 9-пинов мъжки sub-D ， 15-пинов мъжки sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus, аналогов | ||||||
| Фитинги | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Компресионен фитинг Φ10; Компресионен фитинг Φ6; | Компресионен фитинг Φ6, | ||||||
| Компресионен фитинг 3/8”;Компресионен фитинг 1/4”； | Компресионен фитинг Φ3, | ||||||
| Компресионен фитинг 1/8”;Компресионен фитинг Φ3; | Компресионен фитинг 1/4”, | ||||||
| Ф6(вътрешен)×1маркуч;ф5(вътрешен)×1,5маркуч;ф4(вътрешен)×1маркуч; | W-уплътнение, | ||||||
| A-sael ; | С-уплътнение | ||||||
| Тегло | 1 кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1 кг | 1,2 кг | 1 кг | |
