Контролерите за масов дебит（MFC) осигуряват прецизно измерване и контрол на масовия дебит на газовете.
I. Каква е разликата между MFC и MFM?
Масовият разходомер (MFM) е вид инструмент, който измерва точно газовия поток и стойността на измерването му не е неточна поради колебания в температурата или налягането и не изисква компенсация на температурата и налягането. Контролерът за масов дебит (MFC) не само има функцията на масов разходомер, но по-важното е, че може автоматично да контролира газовия поток, т.е. потребителят може да настрои потока според нуждите си, а MFC автоматично поддържа потока постоянен на зададената стойност, дори ако колебанията на налягането в системата или промените в температурата на околната среда няма да доведат до отклонение от зададената стойност.Контролерът за масов поток е устройство с постоянен поток, което е устройство с постоянен поток на газ, което може да се настройва ръчно или автоматично да се управлява чрез свързване с компютър.Масовите разходомери само измерват, но не контролират.Контролерът за масов дебит има контролен клапан, който може както да измерва, така и да контролира газовия поток.
II.Каква е структурата ипринцип на работа?
1、 Структура
2、Принцип на работа
Когато потокът навлезе във всмукателната тръба, по-голямата част от потока преминава през отклоняващия канал, малка част от който навлиза в капилярната тръба вътре в сензора.Поради специалната структура на
отклонителния канал, двете части на газовия поток могат да бъдат право пропорционални.Сензорът е предварително загрят и загрят, а температурата вътре е по-висока от температурата на входящия въздух.По това време масовият поток на малката част от газа се измерва чрез принципа на топлопредаване от капилярната тръба и принципа на калориметрията на температурната разлика.Потокът от газ, измерен по този начин, може да пренебрегне влиянието на температурата и налягането.Сигналът за измерване на дебита, открит от сензора, се въвежда към печатната платка и се усилва и извежда, и функцията на MFM е завършена.Добавяне на PID функция за автоматичен контрол със затворен контур към печатната платка, Сравнете сигнала за измерване на потока, измерен от сензора, със зададения сигнал, даден от потребителя.Въз основа на това управляващият вентил се управлява така, че сигналът за детекция на потока да е равен на зададения сигнал, като по този начин се реализира функцията на MFC.
III.Приложения и функции.
MFC, който се прилага широко в области като: производство на полупроводници и интегрални схеми, наука за специални материали, химическа промишленост, петролна промишленост, фармацевтична промишленост, опазване на околната среда и изследване на вакуумни системи и др. Типичните приложения включват: микроелектронно оборудване за процеси като дифузия , оксидация, епитаксия, CVD, плазмено ецване, разпрашване, йонна имплантация;оборудване за вакуумно отлагане, топене на оптични влакна, оборудване за микрореакции, система за смесване и съпоставяне на газ, система за контрол на капилярен поток, газов хроматограф и други аналитични инструменти.
MFC осигурява висока точност, отлична повторяемост, бърза реакция, плавен старт, по-добра надеждност, голямо разнообразие от диапазони на работно налягане (добра работа при високо налягане и вакуумни ситуации), проста удобна работа, гъвкава инсталация, възможно свързване с компютър за извършване на автоматично контрол върху системата на потребителите.
IV.Как да определите и да се справите с fболести?
Нашата компания има професионален инженер след продажба, който може да ви помогне да разрешите проблеми при инсталиране и използване.
Време на публикуване: 29 юли 2022 г