Знание – Вакуумни вентили

I. Въвеждане на клапан
Вакуумният вентил е компонент на вакуумна система, използван за промяна на посоката на въздушния поток, регулиране на размера на газовия поток, прекъсване или свързване на тръбопровода във вакуумната система.Затварящите части на вакуумния вентил са уплътнени с гумено уплътнение или метално уплътнение.

II.Обичайни приложения на вакуумни вентили.
Вакуумни вентили
Използва се в оборудване за системи с висок или свръхвисок вакуум, когато трябва да се поддържа вакуум в затворена система за манипулиране на вакуум.Вакуумните вентили се използват за контролиране на въздушния поток във вакуумната камера, изолиране, обезвъздушаване, осигуряване на намаляване на налягането или контрол на проводимостта.Шибърните вентили, вградените вентили и ъгловите вентили са най-често срещаните видове вакуумни вентили, използвани за приложения с висок или ултрависок вакуум.Допълнителните типове вентили включват дроселови клапани, прехвърлящи клапани, сферични кранове, махали вентили, изцяло метални вентили, вакуумни вентили, алуминиеви ъглови вентили, вакуумни вентили с тефлоново покритие и прави вентили.

Бътерфлай клапи
са бързо отварящи се вентили, състоящи се от метални дискове или лопатки, които се завъртат под прав ъгъл спрямо посоката на потока в тръбопровода и когато се въртят около оста си, вентилът уплътнява седлото в тялото на вентила.

Трансферни вентили (правоъгълни шибъри)
Разделителни вентили, подходящи за използване между вакуумни камери със затворен товар и камери за прехвърляне, както и между камери за прехвърляне и камери за обработка в оборудване за производство на полупроводници.

Вакуумни сферични кранове
са вентили с прав поток на четвърт оборот с кръгъл затварящ механизъм със съответстващи кръгли седла за равномерно напрежение при уплътняване.

Махаловидни вентили
е голяма дроселова клапа, монтирана между технологичната вакуумна камера и входа на турбомолекулярната помпа.Тези вакуумни махални вентили обикновено са проектирани като шибърни или махални вентили за приложения, включително OLED, FPD и PV промишлени производствени системи.

Изцяло метални вентили
Проектиран за използване в среда със свръхвисок вакуум, където високите температури не позволяват използването на еластомери и криогенни уплътнителни метали.Изцяло металните вентили с възможност за печене осигуряват надеждно високотемпературно уплътнение от атмосферно налягане до под 10-11 mbar.

Вакуумни вентили
Работете надеждно в системи за производство на полупроводници и в приложения с химическо замърсяване и замърсяване с частици.Те могат да се използват в среда с груб вакуум, висок вакуум или свръхвисок вакуум.

Алуминиеви ъглови кранове
Входът и изходът на тези клапани са под прав ъгъл един спрямо друг.Тези ъглови вентили са изработени от алуминий A6061-T6 и се използват в производството на полупроводници и инструменти, научноизследователска и развойна дейност и промишлени вакуумни системи за приложения с груб до висок вакуум.

Вакуумният вентил с тефлоново покритие е напълно проектирано устройство за вакуумни компоненти от неръждаема стомана с издръжливо и силно устойчиво на химикали покритие.

III.Характеристики на вакуумните вентили.
Налягането е под атмосферното налягане и спадът на налягането през клапата на клапана не може да надвишава 1 kg сила/cm.Работната температура на средата зависи от процеса на използваното устройство.Температурата обикновено не надвишава диапазона от -70 ~ 150°C.Най-основното изискване за такива клапани е да се осигури висока степен на плътност на връзката и плътността на конструкцията и уплътнителния материал.

Според средното налягане вакуумните клапани могат да бъдат разделени на четири групи.
1) Вентили за нисък вакуум: средно налягане p=760~1 mmHg.
2）Вентили за среден вакуум: p=1×10-3 mmHg.
3）Вентили за висок вакуум: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ултрависок вакуумен клапан: p≤1×10-8 mmHg.

Като вентил със затворен кръг с диаметър на прохода по-малък от 250 mm, широко използваният стебло е вакуумен силфонен спирателен вентил с линейно движение.Шибърите обаче са по-ограничени, но това е главно за големи диаметри.Предлагат се и сферични щепселни кранове (сферични кранове), бутални кранове и дроселни клапи.Запушалните вентили за вакуумни вентили не са насърчавани, защото те изискват смазване с масло, което прави възможно маслените пари да навлязат във вакуумната система, което не е позволено.Вакуумните вентили могат да се управляват ръчно и дистанционно на място, както и електрически, електромагнитно (магнитни вентили), пневматично и хидравлично.