Beijing Super Q Technology Co., Ltd. има серия EV маслено смазвани 600L, 1200L, 1600L комбинирани молекулярни помпи и 3600L турбинни молекулярни помпи;смазани с грес 300L, 650L, 1300L, 2000L комбинирани молекулярни помпи.Тази статия се фокусира върху обяснението на характеристиките, инсталирането, употребата и поддръжката на молекулярните помпи за смазване от серията EV-Z.
Характеристики на структурата
Молекулярната помпа за грес от серията EV използва внесени прецизни керамични лагери, роторът на помпата чрез динамичен баланс, стабилна и надеждна работа, трифазен двигател с катерица на двигателя, смазване на лагери чрез смазване с грес, може да се монтира във всякаква ориентация.
инсталиране и използване
I. Относно крайното налягане
„Крайното налягане“ на молекулярната помпа се основава на международния стандарт ISO „Метод за изпитване на производителност на турбомолекулярни помпи“. След пълно изпичане на тялото на помпата и тестовия капак (48 часа сушене и дегазиране), най-ниското налягане, измерено при определеното положение на тестовия капак.стойност на налягането.При реална употреба стойността на „гранично налягане“ е свързана с работното налягане и ефективната скорост на изпомпване на конфигурираната поддържаща помпа.Изборът на поддържаща помпа с по-висока производителност е много полезен за постигане на по-висок вакуум и намаляване на времето за изпускане.
В допълнение, поради особеностите на изпускателния принцип на молекулярната помпа, входът за въздух на помпата трябва да бъде възможно най-широк, а пътят на газа от вакуумната камера до отвора на молекулярната помпа трябва да избягва завъртане колкото е възможно повече възможно, така че да се упражнява най-добрата ефективност на молекулярната помпа и гарантиран по-висок краен вакуум.
II.Инсталация
2.1 Отворете пакета
Преди инсталиране проверете дали молекулярната помпа не е била повредена при транспортиране.
Методът е следният: вижте инструкциите за захранване на молекулярната помпа, свържете я правилно с молекулярната помпа, не е необходимо да пропускате вода или вакуум, стартирайте молекулярната помпа и проверете дали работи и дали има някакви необичаен звук.Ако има някаква аномалия, натиснете бутона за спиране навреме, за да спрете помпата.Забележка: Честотата на захранването не трябва да бъде по-висока от 25Hz по време на пробна експлоатация
2.2 Свързване на фланеца за висок вакуум
Връзката на молекулярната помпа може да бъде повдигната от високовакуумния фланец или фиксирана върху основата.Молекулярната помпа трябва да бъде фиксирана, когато високовакуумният фланец на молекулярната помпа е свързан към системата чрез метален силфон.
(Уплътнителната повърхност на фланеца няма драскотини и не трябва да има нищо върху уплътнителния пръстен)
2.3 Предна линия вакуумна връзка
Трябва да се монтира изолационен и обезвъздушителен клапан между помпата на предната линия и молекулярната помпа, за да се предотврати връщането на масло от механичната помпа след изключване.
2.4 Свързване на устройството за зареждане с газ
За да има чиста вакуумна среда, след спиране на молекулярната помпа, вакуумната система може да се напълни с азот или сух въздух.Обикновено вентилационен клапан може да бъде свързан към тръбопровода на предното стъпало или може да се използва вентил за висок вакуум за обезвъздушаване на газа в края на високия вакуум.
III．Свързване на охлаждането
Поради високоскоростното въртящо се триене на лагера, нагряването на тялото на помпата и повишаването на температурата на двигателя, лагерът и двигателят трябва да се охлаждат, когато молекулярната помпа работи.Обикновено се използва въздушно охлаждане, а водно охлаждане се използва, когато температурата на околната среда е по-висока от 38°C.Тръбата за мека вода с външен диаметър 10 мм може да бъде директно свързана към входа и изхода на водата на молекулярната помпа.Използва се циркулационна водна система с чиста вода, може да се използва и чешмяна вода с ниски валежи (температурата на водата трябва да бъде ≤28°C).
Случайно спиране на водата или висока температура на водата ще накара температурния сензор на тялото на молекулярната помпа да задейства и захранването незабавно ще алармира и ще спре изхода.
Има интервал от около 15 минути (конкретното време зависи от скоростта на повишаване на температурата) след неочакваното спиране на водата или температурата на водата е твърде висока, докато молекулярната помпа алармира поради прегряване.
IV．Печене
Крайното налягане зависи от чистотата на вътрешността на помпата и пътя на вакуума, включително вакуумната камера.За да се постигне максимално налягане за най-кратко време, вакуумната система и молекулярната помпа трябва да бъдат изпечени.Печенето трябва да се извърши при нормално работеща молекулярна помпа.
Температурата на печене на молекулярната помпа трябва да бъде по-ниска от 80°C, фланецът за висок вакуум, свързан към порта на помпата, не трябва да бъде по-висок от 120°C, а температурата на печене на вакуумната система обикновено е по-ниска от 300°C.на увреждане.
Времето за печене зависи от степента на замърсяване на системата и молекулярната помпа и очакваното гранично работно налягане, но минималното време не трябва да бъде по-малко от 4 часа.
За получаване на вакуум от 10-4Pa по принцип не е необходимо печене;за получаване на вакуум от 10-5Pa е достатъчно само изпичане на самата вакуумна система;за получаване на ултрависок вакуум, вакуумната система и молекулярната помпа обикновено трябва да се пекат едновременно.Измервателната система трябва да е напълно изпечена, в противен случай това ще повлияе на точността на данните от измерването поради нейното отделяне на газове.
V．Операция
Потвърдете, че предварителният вакуум е по-добър от 15 Pa, натиснете клавиша RON, за да стартирате молекулярната помпа, и натиснете бутона STOP, за да спрете след употреба.внимание!Бутонът за плавно стартиране трябва да се използва за първа употреба или повторна употреба след дългосрочно бездействие.Операцията за плавен старт е както следва: текущият етап на вакуум е по-добър от 15 Pa и бутонът за плавен старт е натиснат.След 110 минути молекулярната помпа достига работна честота от 550Hz (550Hz съответства на EV300Z молекулярна помпа, 400Hz съответства на EV650Z, 1300Z, 2000 молекулярна помпа), след това натиснете бутона за плавен старт (ключът е нагоре), за да спрете меката започнете.
（По време на нормалната работа на молекулярната помпа е забранено пренасянето, преместването или пълненето с въздух.）
VI．Поддръжка и ремонт
6.1 Почистване на помпата
Когато изтичането на въздух и скоростта на десорбция на вакуумната система не се променят и ефективността на вакуума не може да бъде възстановена дори след дълго време на печене или когато поддържащата помпа сериозно връща масло, помпата трябва да се почисти.
（Ако помпата трябва да бъде ремонтирана и почистена, тя трябва да бъде разглобена от професионални техници.Ако бъде разглобен без обучение, последствията ще бъдат на ваш собствен риск.）
6.2 Смяна на лагерите
Тъй като помпата трябва да се балансира, лагерът не може да бъде сменен от потребителя.
6.3 Защита от удар
Молекулярната помпа е високоскоростна въртяща се машина.Пролуката между движещата се плоча и статичната плоча е много малка и не може да издържи на прекомерен удар.Скоростта и ускорението на движещия се носач в контакт с него трябва да бъдат ограничени.В допълнение, внезапното въздействие на атмосферния обем и падането на външни твърди предмети по време на нормалната работа на молекулярната помпа също ще причини сериозни щети на молекулярната помпа.
6.4 Виброизолация
Обикновено молекулярната помпа е стриктно тествана и вибрациите са много малки и могат да бъдат директно свързани към изпомпваната система.За приложения с високо прецизни инструменти (като електронни микроскопи и др.) се препоръчва използването на вибрационни изолатори, за да се сведе до минимум въздействието на вибрациите върху инструмента.
6.5 Екраниране на силно магнитно поле
Въртящият се ротор генерира вихров ток в магнитното поле, което ще доведе до нагряване на ротора.Тъй като топлината ще отслаби здравината на алуминиевия материал, приложението на молекулярната помпа в магнитното поле е ограничено до известна степен.
6.6 електромагнитни смущения
Някои високочестотни инструменти, като молекулярни помпи и честотни преобразуватели, могат да причинят електромагнитни смущения в околната среда.Но в случай на спазване на международните стандарти, приложението на молекулярните помпи няма да бъде ограничено.Ако изискванията са изпълнени, съответни сертификати трябва да бъдат издадени по същото време.
6.7 Силно ограничаване на радиоактивността
Повечето материали ще променят свойствата си в силна радиоактивна среда, особено органични материали (като масло за молекулярна помпа, уплътнителни пръстени) и полупроводникови компоненти.Молекулярната помпа може да устои на интензитет на радиация от 105 rad.Чрез избиране на антирадиоактивни материали и използване на захранване с двигател, силата на антирадиация може да бъде подобрена.При изпомпване на тритий, за да се предотврати изтичането на радиоактивния елемент тритий в атмосферата, всички уплътнителни пръстени в молекулярната помпа трябва да бъдат направени от метални материали
6.8 Предна линия помпа
В края на високото налягане на кривата на производителността на молекулярната помпа, входното налягане варира от около 200 Pa до 10-1 Pa, обхващайки три порядъка.Средният свободен път на газовите молекули става по-малък и ефектът на изпомпване започва да се влошава.Следователно, в преходната зона, колкото по-често се използва опорната помпа, толкова по-голяма е скоростта на изпомпване на молекулярната помпа.Помпата на предната линия не трябва да бъде по-малка от минимум 3 L/S.
Често срещани неизправности и отстраняване на проблеми
Молекулярната молекулярна помпа със смазка от серията EV-Z е механична вакуумна помпа, която реализира извличане на въздух чрез относително високоскоростно въртене на многостепенни динамични и статични турбинни лопатки.Турбомолекулярната помпа има характеристиките на висока скорост на изпомпване и високо съотношение на компресия в областта на молекулярния поток и е по-енергоспестяваща от дифузионната помпа и няма замърсяване с масло и пара.Молекулярната помпа с грес и смазка от серията EV е молекулярната помпа с най-голямата скорост на изпомпване от 100 калибра в Китай.
Тази молекулярна помпа няма селективност и няма ефект на паметта върху газа, който ще се изпомпва.Благодарение на високото съотношение на компресия на газа с голямо молекулно тегло, помпата може да получи чист висок вакуум и ултрависок вакуум без студени капани и маслени прегради..Той се използва широко в различни области на електрониката, металургията, химическата промишленост, научните изследвания и вакуумната технология.
Време на публикуване: 01 юли 2022 г