ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক ভর প্রবাহ মিটার CS200
বৈশিষ্ট্য
1. উচ্চ নির্ভুলতা এবং দ্রুত প্রতিক্রিয়া
CS200 MFC-এর নির্ভুলতা SP-এর ±1.0%-এ উন্নত করা হয়েছে, এবং সবচেয়ে উন্নত মডেলগুলির প্রতিক্রিয়া সময় 0.8 সেকেন্ডের কম।
2. নিম্ন শূন্য প্রবাহ এবং তাপমাত্রা সহগ
নতুন সেন্সর প্রযুক্তির উদ্ভাবন CS200 MFC কে স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে এবং তাপমাত্রার ওঠানামা সহ্য করতে সক্ষম করে।একটি স্বয়ং-শূন্য পরিবর্ধক ছাড়া, প্রত্যাশিত শূন্য প্রবাহ 0.6%FS/বছরের কম, এবং তাপমাত্রা সহগ 0.02%FS/℃(শূন্য)，0.05%FS/℃ (স্প্যান) এর চেয়ে কম।
3. ধাতু-সিল করা মডেল এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা বৈশিষ্ট্য
CS200 MFC-এর ভেজা প্রবাহ পথটি পৃষ্ঠ-প্যাসিভেটেড স্টেইনলেস স্টীল থেকে নির্মিত।সমস্ত CS200 MFC সেভেনস্টারের আল্ট্রাক্লিন ক্লাস 100-শ্রেণির ক্লিনরুমে SEMI এবং ISO 9001 উভয় মান অনুযায়ী একত্রিত হয়।
4. সামঞ্জস্যপূর্ণ ইন্টারফেস
CS200 MFC নিম্নলিখিত ইন্টারফেসের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, যা গ্রাহক দ্বারা নির্বাচিত হতে পারে: ±8V-±16V ডাবল-এন্ড পাওয়ার সাপ্লাই এবং +14V-+28V একক-এন্ড পাওয়ার সাপ্লাই;ডিজিটাল বা এনালগ সংকেত ইনপুট এবং আউটপুট;সেমি স্ট্যান্ডার্ড যান্ত্রিক মাত্রা;এবং RS-485 বা ডিভাইসনেট যোগাযোগ মডিউল।
5. বিবিধ ফাংশন
শক্তিশালী গ্রাহক সফ্টওয়্যার প্রতিটি মডেলের সাথে মানসম্মত হয়, যখন অতিরিক্ত ফাংশন যেমন মাল্টি-গ্যাস，মাল্টি-রেঞ্জ，অটো-জিরো, অ্যালার্ম, সফট স্টার্ট এবং বিলম্ব গ্রাহক নির্বাচন হিসাবে উপলব্ধ।
স্পেসিফিকেশন
| CS200 | |||||||
| টাইপ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| সম্পূর্ণ স্কেল পরিসীমা (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| সঠিকতা | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| রৈখিকতা | ±0.5% FS | ||||||
| পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা | ±0.2% FS | ||||||
| প্রতিক্রিয়া সময় | ≤1 সেকেন্ড | ≤0.8 সেকেন্ড (SEMI E17-0600) | |||||
| ভালভ বিশ্রাম অবস্থান | সাধারণত বন্ধ বা | ভালভ নেই | সাধারণত বন্ধ বা | ভালভ নেই | সাধারণত বন্ধ বা | ভালভ নেই | |
| সাধারণত খোলা（100 sccm≤FS≤5 slm） | সাধারণত খোলা（100 sccm≤FS≤5 slm） | সাধারণত খোলা（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| ডিফারেনশিয়াল চাপ | 0.05～0.35MPa （প্রবাহ≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | (0.1～0.35) MPa（～10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （প্রবাহ＞30slm） | |||||||
| সর্বোচ্চ অপারেটিং চাপ | 0.45MPa | |||||
| তাপমাত্রা | শূন্য:≤±0.05% FS/℃; | শূন্য:≤±0.02% FS/℃;স্প্যান:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| গুণাঙ্ক | স্প্যান: ≤±0.1% FS/℃（প্রবাহ≤30slm） | |||||
| স্প্যান: ≤±0.2% FS/℃（প্রবাহ>30slm） | ||||||
| প্রমাণ চাপ | 3MPa (435pisg) | |||||
| জিরো ড্রিফ্ট | ＜অটোজিরো ছাড়া প্রতি বছর 0.6%FS | |||||
| লিক অখণ্ডতা | 1×10-9 atm·cc / সেকেন্ড He | 1×10-10atm·cc / সেকেন্ড He | ||||
| ভেজা উপকরণ | ভিটন; | ধাতু? (স্টেইনলেস স্টিল V/V, 5Ra) | ধাতু | |||
| সারফেস কেমিস্ট্রি | —— | Cr/Fe অনুপাত ＞2.0;CrO বেধ ＞20 Angstroms | ||||
| সারফেস ফিনিশ | 25 রা | 10 রা | 25 রা | |||
| অপারেশন তাপমাত্রা | (5～45) ℃ | (0～50) ℃ | ||||
| ইনপুট সংকেত | ডিজিটাল: RS485 বা ProfiBus | N/A | ডিজিটাল: RS485 বা ProfiBus বা DeviceNetTM | N/A | ডিজিটাল: RS485 বা ProfiBus বা DeviceNetTM | N/A |
| বা DeviceNetTM | এনালগ:(0～5)ভিডিসি বা (4～20)mA বা (0～20)mA | এনালগ:(0～5)ভিডিসি বা (4～20)mA?বা (0～20)mA | |||||
| এনালগ:(0～5)ভিডিসি বা (4～20)mA বা (0～20)mA | |||||||
| আউটপুট সংকেত | ডিজিটাল: RS485 বা DeviceNetTM বা ProfiBus এনালগ:(0～5)VDC বা (4～20)mA বা (0～20)mA | ||||||
| পাওয়ার সাপ্লাই | ±8 ~ ±16 VDC বা +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| ইলেকট্রনিক সংযোগকারী | 9 পিন পুরুষ সাব-ডি ， 15 পিন পুরুষ সাব-ডি ， ডিভাইসনেটটিএম,ProfiBus, এনালগ | ||||||
| ফিটিংস | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4"M; | |||||
| কম্প্রেশন ফিটিংΦ10; কম্প্রেশন ফিটিংΦ6； | কম্প্রেশন ফিটিংΦ6, | ||||||
| কম্প্রেশন ফিটিং 3/8";কম্প্রেশন ফিটিং 1/4”; | কম্প্রেশন ফিটিংΦ3, | ||||||
| কম্প্রেশন ফিটিং 1/8";কম্প্রেশন ফিটিংΦ3; | কম্প্রেশন ফিটিং 1/4”, | ||||||
| Ф6(অভ্যন্তরীণ) × 1 পায়ের পাতার মোজাবিশেষ; এফ 5 ( ভিতরের) × 1.5 পায়ের পাতার মোজাবিশেষ; এফ 4 ( ভিতরের) × 1 পায়ের পাতার মোজাবিশেষ; | ডাব্লু-সিল, | ||||||
| এ-সায়েল; | সি-সীল | ||||||
| ওজন | 1 কিলোগ্রাম | 0.8 কেজি | 1.2 কেজি | 1 কিলোগ্রাম | 1.2 কেজি | 1 কিলোগ্রাম | |
