জ্ঞান - ভ্যাকুয়াম ভালভ

I. ভালভের পরিচিতি
ভ্যাকুয়াম ভালভ হল একটি ভ্যাকুয়াম সিস্টেম উপাদান যা বায়ুপ্রবাহের দিক পরিবর্তন করতে, গ্যাস প্রবাহের আকার সামঞ্জস্য করতে, ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে পাইপলাইন কাটা বা সংযোগ করতে ব্যবহৃত হয়।ভ্যাকুয়াম ভালভের বন্ধ অংশগুলি রাবার সীল বা ধাতব সীল দ্বারা সিল করা হয়।

২.সাধারণ ভ্যাকুয়াম ভালভ অ্যাপ্লিকেশন.
ভ্যাকুয়াম ভালভ
একটি বদ্ধ ভ্যাকুয়াম হ্যান্ডলিং সিস্টেমে ভ্যাকুয়াম রক্ষণাবেক্ষণ করার সময় উচ্চ বা অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম সিস্টেম সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়।ভ্যাকুয়াম ভালভগুলি ভ্যাকুয়াম চেম্বারে বায়ু প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করতে, বিচ্ছিন্ন করতে, ভেন্ট করতে, চাপ হ্রাস বা নিয়ন্ত্রণ পরিবাহী প্রদান করতে ব্যবহৃত হয়।গেট ভালভ, ইনলাইন ভালভ এবং কোণ ভালভ হল সবচেয়ে সাধারণ ধরনের ভ্যাকুয়াম ভালভ যা উচ্চ বা অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ব্যবহৃত হয়।অতিরিক্ত ভালভের প্রকারের মধ্যে রয়েছে বাটারফ্লাই ভালভ, ট্রান্সফার ভালভ, বল ভালভ, পেন্ডুলাম ভালভ, অল-মেটাল ভালভ, ভ্যাকুয়াম ভালভ, অ্যালুমিনিয়াম অ্যাঙ্গেল ভালভ, টেফলন-কোটেড ভ্যাকুয়াম ভালভ এবং স্ট্রেইট-থ্রু ভালভ।

প্রজাপতি ভালভ
ধাতব ডিস্ক বা ভ্যানগুলি নিয়ে গঠিত দ্রুত খোলার ভালভগুলি যা পাইপলাইনে প্রবাহের দিক থেকে ডান কোণে পিভট করে এবং যখন তাদের অক্ষের উপর ঘোরানো হয়, ভালভটি ভালভের বডিতে আসনটি সিল করে।

স্থানান্তর ভালভ (আয়তক্ষেত্রাকার গেট ভালভ)
লোড-লকড ভ্যাকুয়াম চেম্বার এবং ট্রান্সফার চেম্বার এবং সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং ইকুইপমেন্টে ট্রান্সফার চেম্বার এবং প্রসেসিং চেম্বারের মধ্যে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত সেপারেশন ভালভ।

ভ্যাকুয়াম বল ভালভ
অভিন্ন sealing চাপ জন্য বৃত্তাকার আসন মিলে একটি বৃত্তাকার বন্ধ সমাবেশ সঙ্গে কোয়ার্টার টার্ন সোজা প্রবাহ ভালভ হয়.

পেন্ডুলাম ভালভ
প্রক্রিয়া ভ্যাকুয়াম চেম্বার এবং টার্বোমলিকুলার পাম্প ইনলেটের মধ্যে লাগানো একটি বড় থ্রোটল ভালভ।এই ভ্যাকুয়াম পেন্ডুলাম ভালভগুলি সাধারণত OLED, FPD এবং PV ইন্ডাস্ট্রিয়াল ম্যানুফ্যাকচারিং সিস্টেম সহ অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য গেট বা পেন্ডুলাম ভালভ হিসাবে ডিজাইন করা হয়।

সমস্ত-ধাতু ভালভ
অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে যেখানে উচ্চ তাপমাত্রা ইলাস্টোমার এবং ক্রায়োজেনিক গ্যাসকেট ধাতু ব্যবহারের অনুমতি দেয় না।বেকযোগ্য অল-মেটাল ভালভ বায়ুমণ্ডলীয় চাপ থেকে 10-11 mbar এর নিচে নির্ভরযোগ্য উচ্চ তাপমাত্রা সিলিং প্রদান করে।

ভ্যাকুয়াম ভালভ
সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সিস্টেমে এবং রাসায়নিক এবং কণা দূষণ সহ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করে।এগুলি রুক্ষ ভ্যাকুয়াম, উচ্চ ভ্যাকুয়াম বা অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে ব্যবহার করা যেতে পারে।

অ্যালুমিনিয়াম কোণ ভালভ
এই ভালভগুলির খাঁড়ি এবং আউটলেট একে অপরের সমকোণে থাকে।এই অ্যাঙ্গেল ভালভগুলি অ্যালুমিনিয়াম A6061-T6 দিয়ে তৈরি এবং রুক্ষ থেকে উচ্চ ভ্যাকুয়াম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সেমিকন্ডাক্টর এবং উপকরণ উত্পাদন, R&D এবং শিল্প ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে ব্যবহৃত হয়।

টেফলন প্রলিপ্ত ভ্যাকুয়াম ভালভ একটি টেকসই এবং অত্যন্ত রাসায়নিক প্রতিরোধী আবরণ সহ একটি সম্পূর্ণ ইঞ্জিনিয়ারড স্টেইনলেস স্টীল ভ্যাকুয়াম উপাদান ডিভাইস।

III.ভ্যাকুয়াম ভালভের বৈশিষ্ট্য।
চাপ বায়ুমণ্ডলীয় চাপের নিচে এবং ভালভ ফ্ল্যাপ জুড়ে চাপের ড্রপ 1 কেজি বল/সেমি অতিক্রম করতে পারে না।মাধ্যমটির কাজের তাপমাত্রা ব্যবহৃত ডিভাইসের প্রক্রিয়ার উপর নির্ভর করে।তাপমাত্রা সাধারণত -70 ~ 150 ডিগ্রি সেলসিয়াসের সীমা অতিক্রম করে না।এই ধরনের ভালভগুলির জন্য সবচেয়ে প্রাথমিক প্রয়োজনীয়তা হল সংযোগের নিবিড়তা এবং কাঠামো এবং গ্যাসকেট উপাদানগুলির ঘনত্বের উচ্চ ডিগ্রী নিশ্চিত করা।

মাঝারি চাপ অনুযায়ী ভ্যাকুয়াম ভালভকে চারটি গ্রুপে ভাগ করা যায়।
1) নিম্ন ভ্যাকুয়াম ভালভ: মাঝারি চাপ p=760~1 mmHg.
2）মাঝারি ভ্যাকুয়াম ভালভ: p=1×10-3 mmHg.
3）উচ্চ ভ্যাকুয়াম ভালভ: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）আল্ট্রা-হাই ভ্যাকুয়াম ভালভ: p≤1×10-8 mmHg.

250 মিমি-এর কম প্যাসেজ ব্যাস সহ একটি ক্লোজড-সার্কিট ভালভ হিসাবে, বহুল ব্যবহৃত স্টেমটি রৈখিক আন্দোলন সহ একটি ভ্যাকুয়াম বেলোস শাট-অফ ভালভ।গেট ভালভ, তবে, আরো সীমাবদ্ধ, কিন্তু এটি প্রধানত বড় ব্যাসের জন্য।এছাড়াও পাওয়া যায় গোলাকার প্লাগ ভালভ (বল ভালভ), প্লাঞ্জার ভালভ এবং বাটারফ্লাই ভালভ।ভ্যাকুয়াম ভালভের জন্য প্লাগ ভালভগুলিকে প্রচার করা হয়নি কারণ তাদের তেলের তৈলাক্তকরণের প্রয়োজন হয়, যার ফলে তেলের বাষ্প ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে প্রবেশ করা সম্ভব করে, যা অনুমোদিত নয়।ভ্যাকুয়াম ভালভগুলি ক্ষেত্রটিতে ম্যানুয়ালি এবং দূরবর্তীভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে, সেইসাথে বৈদ্যুতিকভাবে, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক্যালি (সোলেনয়েড ভালভ), বায়ুসংক্রান্ত এবং হাইড্রোলিকভাবে।