Beijing Super Q Technology Co., Ltd. ima 600L, 1200L, 1600L složene molekularne pumpe 600L, 1200L, 1600L podmazane EV serije i 3600L turbinske molekularne pumpe;300L, 650L, 1300L, 2000L složene molekularne pumpe podmazane mašću.Ovaj članak se fokusira na objašnjenje karakteristika, ugradnje, upotrebe i održavanja molekularnih pumpi za podmazivanje mašću serije EV-Z.
Karakteristike strukture
EV serija molekularne pumpe za mast usvaja uvezene precizne keramičke ležajeve, rotor pumpe kroz dinamičku ravnotežu, stabilan i pouzdan rad, trofazni motor s kavezom motora, podmazivanje ležajeva podmazivanjem mašću, može se montirati u bilo kojoj orijentaciji.
instalacija i upotreba
I. O krajnjem pritisku
„Krajnji pritisak“ molekularne pumpe zasnovan je na međunarodnom ISO standardu „Metoda ispitivanja za performanse turbomolekularnih pumpi“, Nakon potpunog pečenja kućišta pumpe i testnog poklopca (48 sati sušenja i otplinjavanja), najniži pritisak izmeren na specificirani položaj testnog poklopca.vrijednost pritiska.U stvarnoj upotrebi, vrednost 'graničnog pritiska' je povezana sa radnim pritiskom i efektivnom brzinom pumpanja konfigurisane pomoćne pumpe.Odabir pomoćne pumpe višeg učinka je vrlo koristan za postizanje većeg vakuuma i smanjenje vremena ispuštanja.
Osim toga, zbog specifičnosti principa ispuha molekularne pumpe, ulaz zraka u pumpu mora biti što je moguće širi, a put plina od vakuumske komore do priključka za molekularnu pumpu treba izbjegavati okretanje koliko god je to moguće. moguće, kako bi se ostvarila najbolja efikasnost molekularne pumpe i zagarantovan veći krajnji vakuum.
II.Instalacija
2.1 Otvorite paket
Prije instalacije provjerite da li je molekularna pumpa oštećena u transportu.
Metoda je sljedeća: pogledajte upute za napajanje molekularne pumpe, ispravno je povežite s molekularnom pumpom, ne morate propuštati vodu ili vakuum, pokrenite molekularnu pumpu i provjerite radi li i ima li abnormalan zvuk.Ako postoji bilo kakva abnormalnost, pritisnite prekidač za zaustavljanje na vrijeme da zaustavite pumpu.Napomena: Frekvencija napajanja ne bi trebala biti veća od 25 Hz tokom probnog rada
2.2 Povezivanje prirubnice visokog vakuuma
Priključak molekularne pumpe može se podići visokom vakuumskom prirubnicom ili fiksirati na postolje.Molekularna pumpa mora biti fiksirana kada je visokovakumska prirubnica molekularne pumpe povezana sa sistemom preko metalnog meha.
(Zaptivna površina prirubnice nema ogrebotina i ne smije biti ništa na zaptivnom prstenu)
2.3 Foreline vakuum priključak
Izolacijski i ventil za odzračivanje treba postaviti između prednje pumpe i molekularne pumpe kako bi se spriječilo da mehanička pumpa vrati ulje nakon isključivanja.
2.4 Priključivanje uređaja za punjenje plina
U cilju čistog vakuumskog okruženja, nakon što je molekularna pumpa zaustavljena, vakuumski sistem se može napuniti dušikom ili suvim zrakom.Općenito, ventil za odzračivanje može biti spojen na cjevovod prednjeg stupnja, ili se može koristiti ventil visokog vakuuma za odzračivanje plina na kraju visokog vakuuma.
III．Povezivanje hlađenja
Zbog rotacionog trenja ležaja velike brzine, zagrijavanja tijela pumpe i porasta temperature motora, ležaj i motor moraju se hladiti kada molekularna pumpa radi.Obično se koristi zračno hlađenje, a hlađenje vodom se koristi kada je temperatura okoline viša od 38°C.Cijev za meku vodu vanjskog promjera 10 mm može se direktno spojiti na ulaz i izlaz vode molekularne pumpe.Koristi se cirkulacijski sistem vode sa čistom vodom, a može se koristiti i voda iz slavine sa malim količinama padavina (temperatura vode mora biti ≤28°C).
Slučajno zaustavljanje vode ili visoka temperatura vode aktivirat će senzor temperature tijela molekularne pumpe, a napajanje će odmah alarmirati i zaustaviti izlaz.
Postoji interval od oko 15 minuta (specifično vrijeme ovisi o brzini porasta temperature) nakon neočekivanog zaustavljanja vode ili je temperatura vode previsoka dok se molekularna pumpa ne alarmira zbog pregrijavanja.
IV．Pečenje
Krajnji pritisak zavisi od čistoće unutrašnjosti pumpe i vakuumskog puta uključujući vakuumsku komoru.Da bi se postigao krajnji pritisak u najkraćem vremenu, vakuum sistem i molekularna pumpa moraju biti ispečeni.Pečenje treba obavljati uz normalan rad molekularne pumpe.
Temperatura pečenja molekularne pumpe treba da bude niža od 80°C, prirubnica visokog vakuuma povezana sa priključkom pumpe ne bi trebalo da bude viša od 120°C, a temperatura pečenja vakuumskog sistema je generalno niža od 300°C.štete.
Vrijeme pečenja zavisi od stepena zagađenja sistema i molekularne pumpe i očekivanog graničnog radnog pritiska, ali minimalno vreme ne bi trebalo da bude kraće od 4 sata.
Za postizanje vakuuma od 10-4Pa, u principu, nije potrebno pečenje;za postizanje vakuuma od 10-5Pa, dovoljno je samo pečenje samog vakuumskog sistema;za postizanje ultravisokog vakuuma, vakuumski sistem i molekularna pumpa obično se moraju peći u isto vrijeme.Mjerni sistem bi trebao biti potpuno ispečen, inače će uticati na tačnost mjernih podataka zbog njegovog ispuštanja plina.
V．Operacija
Potvrdite da je predvakum bolji od 15Pa, pritisnite tipku RON da pokrenete molekularnu pumpu i pritisnite tipku STOP za zaustavljanje nakon upotrebe.Pažnja!Tipka za meki start se mora koristiti za prvu upotrebu ili ponovnu upotrebu nakon dugotrajne upotrebe u praznom hodu.Operacija mekog pokretanja je sljedeća: trenutni vakuum je bolji od 15Pa i pritisnut je tipka za meki start.Nakon 110 minuta, molekularna pumpa dostiže radnu frekvenciju od 550Hz (550Hz odgovara EV300Z molekularnoj pumpi, 400Hz odgovara EV650Z, 1300Z, 2000 molekularnoj pumpi), zatim pritisnite tipku za meki start (tipka je gore) da zaustavite meku pumpu start.
(Tokom normalnog rada molekularne pumpe, zabranjeno je nositi, pomicati ili puniti zrakom.)
VI．Održavanje i popravka
6.1 Čišćenje pumpe
Kada se curenje zraka i brzina desorpcije vakuumskog sistema ne mijenjaju, a učinak vakuuma se ne može vratiti čak ni nakon dužeg vremena pečenja, ili kada pomoćna pumpa ozbiljno vraća ulje, pumpu treba očistiti.
（Ako je pumpu potrebno popraviti i očistiti, moraju je rastaviti profesionalni tehničari.Ako se rastavlja bez obuke, posljedice ćete biti na vlastitu odgovornost.）
6.2 Zamjena ležajeva
Budući da pumpu treba balansirati, korisnik ne može zamijeniti ležaj.
6.3 Zaštita od udara
Molekularna pumpa je rotirajuća mašina velike brzine.Razmak između pokretne ploče i statične ploče je vrlo mali i ne može izdržati preveliki udar.Brzinu i ubrzanje pokretnog nosača u kontaktu s njim treba ograničiti.Osim toga, iznenadni utjecaj atmosferskog volumena i pad vanjskih tvrdih predmeta tokom normalnog rada molekularne pumpe također će uzrokovati ozbiljna oštećenja molekularne pumpe.
6.4 Izolacija vibracija
Obično je molekularna pumpa strogo testirana, a vibracija je vrlo mala i može se direktno povezati na pumpni sistem.Za primjenu visokopreciznih instrumenata (kao što su elektronski mikroskopi, itd.), preporučuje se korištenje izolatora vibracija kako bi se smanjio utjecaj vibracija na instrument.
6.5 Snažna zaštita od magnetnog polja
Rotirajući rotor stvara vrtložna struja u magnetskom polju, što će uzrokovati zagrijavanje rotora.Pošto će toplota oslabiti čvrstoću aluminijumskog materijala, primena molekularne pumpe u magnetnom polju je ograničena do određene mere.
6.6 elektromagnetne smetnje
Određeni visokofrekventni instrumenti, kao što su molekularne pumpe i frekventni pretvarači, mogu uzrokovati elektromagnetne smetnje u okolini.Ali u slučaju ispunjavanja međunarodnih standarda, primjena molekularnih pumpi neće biti ograničena.Ako su zahtjevi ispunjeni, potrebno je istovremeno izdati i odgovarajuće potvrde.
6.7 Snažno ograničenje radioaktivnosti
Većina materijala će promijeniti svoja svojstva u jakom radioaktivnom okruženju, posebno organski materijali (kao što su ulje za molekularne pumpe, brtveni prstenovi) i poluvodičke komponente.Molekularna pumpa može izdržati intenzitet zračenja od 105rad.Odabirom antiradioaktivnih materijala i korištenjem napajanja na motorni pogon, snaga protiv zračenja može se poboljšati.Prilikom pumpanja tricijuma, kako bi se spriječio izlazak radioaktivnog elementa tricija u atmosferu, svi zaptivni prstenovi u molekularnoj pumpi moraju biti izrađeni od metalnih materijala
6.8 Foreline pumpa
Na kraju krive performansi molekularne pumpe visokog pritiska, ulazni pritisak se kreće od oko 200 Pa do 10-1 Pa, obuhvatajući tri reda veličine.Srednji slobodni put molekula gasa postaje manji, a efekat pumpanja počinje da se pogoršava.Stoga, u prijelaznoj zoni, što je veća upotreba pomoćne pumpe, to je veća brzina pumpanja molekularne pumpe.Foreline pumpa ne bi trebala biti manja od najmanje 3 L/S.
Uobičajene greške i otklanjanje problema
EV-Z serija molekularne pumpe podmazane masnoćom je mehanička vakuum pumpa koja ostvaruje ekstrakciju vazduha kroz relativno veliku rotaciju višestepenih dinamičkih i statičkih lopatica turbine.Turbomolekularna pumpa ima karakteristike velike brzine pumpanja i visokog omjera kompresije u području molekularnog protoka, te štedi energiju od difuzijske pumpe i nema zagađenje uljem i parom.Molekularna molekularna pumpa serije EV je molekularna pumpa s najvećom brzinom pumpanja od 100 kalibara u Kini.
Ova molekularna pumpa nema selektivnost i nema efekta memorije na plin koji se pumpa.Zbog visokog omjera kompresije plina velike molekularne težine, pumpa može postići čist visoki vakuum i ultra-visok vakuum bez hladnih zamki i pregrada za ulje..Široko se koristi u raznim oblastima elektronike, metalurgije, hemijske industrije, naučnih istraživanja i vakuumske tehnologije.
Vrijeme objave: Jul-01-2022