Oscil·lador de quars EVDL-10A
1.Visió general del producte
El buitòmetre de quars EVDL-10A és un mesurador de buit amb un oscil·lador de cristall de quars com a sensor.Té una àmplia gamma i alta precisió.El manòmetre de buit consta d'una unitat de regulació i control, i el tub digital de la unitat de control mostra el valor de pressió.
2.Especificacions tècniques
1. Interval de mesura: 5×10-1-105Pa
2. Font d'alimentació: CA 220V, 50Hz
3. POTÈNCIA: 7W
4. Dimensions del xassís: 180 mm × 80 mm × 200 mm (L * W * D)
5. Longitud del cable 2m
3.Principi de funcionament
El buitòmetre de quars EVDL-10A és un mesurador de buit fet utilitzant les característiques de la impedància de ressonància de l'oscil·lador de cristall de quars i la pressió del gas.L'oscil·lador de cristall de quars en el manòmetre de buit de quars EVDL-10A no només és un component de l'oscil·lador, sinó també un sensor per mesurar la pressió del gas.L'oscil·lador de cristall de quars s'instal·la en una carcassa d'alumini per fer tubs de calibre amb un diàmetre de 15,5 mm, que es pot inserir al sistema a través de la interfície.El circuit de mesura de la impedància de ressonància es mostra a la figura 1:
Figura 1 Circuit de mesura de la impedància de ressonància
Impedància de ressonància Z= V AB
VABés la tensió a través del cristall
I és el corrent que circula pel cristall
El corrent I flueix per la resistència R en sèrie amb el cristall i la tensió a través de la resistència és VBD
∴ I = V BD
Z=V AB R
VABés aproximadament igual a la tensió V0a través de CA, VBD és aproximadament igual a la tensió V1a través de DC, i la impedància es pot calcular a partir de la V mesurada0, V1i valors de resistència.El microordinador d'un sol xip converteix la impedància en una pressió i el tub digital mostra el valor de pressió.
4.Característiques del vacuòmetre de quars
El buitòmetre de quars es caracteritza per un petit volum del sensor.La mida de vibració del cristall del buitòmetre de quars EVDL-10A és de 3,2 mm × 1,5 mm × 0,8 mm.D'aquesta manera, a més de mesurar la pressió del gas com altres buitòmetres, el buitòmetre pot mesurar la pressió del gas d'un volum petit, com un dispositiu segellat de mida d'1 cm3, i detectar l'estat de retenció del buit.
5.EVDL-10A Instal·lació de buitòmetre de quars
La instal·lació del manòmetre de buit de quars EVDL-10A es mostra a la figura 2:
L'oscil·lador de cristall de quars i el circuit oscil·lant es col·loquen a la sonda.El cable de plom s'insereix a l'endoll del panell posterior de la unitat de control mitjançant un endoll de 5 pins i el tub amb el diàmetre de la sonda Φ15,5 s'insereix al sistema de buit.Connecteu el cable d'alimentació a la presa del panell posterior de la unitat de control i connecteu l'altre extrem a una presa de corrent.La presa de corrent ha de tenir un cable de terra per posar a terra el xassís de la unitat de control.Enceneu l'interruptor i el tub digital de la unitat de control mostra el valor de pressió.La pantalla digital del tub 3,2 E 2 significa que el valor de pressió és de 3,2 × 102 Pa.
6.Calibració del vacuòmetre de quars
Quan la temperatura ambient canvia, l'EVDL-10A s'ha de calibrar de la següent manera:
1. Ajust del punt zero: després que la màquina estigui estable durant mitja hora, quan la pressió sigui inferior a 10-3Pa, premeu el botó al forat zero del panell frontal de la unitat de control amb el tornavís per alliberar-lo.Si el sistema de buit no arriba a 10-3Pa, no es pot prémer el botó zero.
2. Regulació atmosfèrica: Exposeu l'atmosfera a la regulació, premeu el botó del forat atmosfèric del panell frontal de la unitat de control amb un tornavís per alliberar-lo.