Els controladors de flux massiu (MFC) proporcionen una mesura i un control precisos del flux massiu de gasos.
I. Quina diferència hi ha entre un MFC i un MFM?
El mesurador de cabal massiu (MFM) és un tipus d'instrument que mesura amb precisió el flux de gas, i el seu valor de mesura no és inexacte a causa de les fluctuacions de temperatura o pressió, i no requereix compensació de temperatura i pressió. El controlador de cabal de massa (MFC) no només té la funció d'un mesurador de cabal massiu, però el que és més important, pot controlar automàticament el flux de gas, és a dir, l'usuari pot configurar el flux segons les seves necessitats, i el MFC manté automàticament el flux constant al valor establert, fins i tot si la pressió del sistema Les fluctuacions o els canvis en la temperatura ambient no provocaran que es desviï del valor establert.El controlador de flux massiu és un dispositiu de flux constant, que és un dispositiu de flux constant de gas que es pot configurar manualment o controlar automàticament mitjançant la connexió amb un ordinador.Els mesuradors de cabal massic només mesuren però no controlen.El controlador de cabal massiu té una vàlvula de control, que pot mesurar i controlar el flux de gas.
II.Quina és l'estructura iprincipi de funcionament?
1, Estructura
2, principi de funcionament
Quan el flux entra al tub d'admissió, la major part del flux passa pel canal desviador, una petita part del qual entra al tub capil·lar dins del sensor.A causa de l'estructura especial de
el canal desviador, les dues parts del flux de gas poden ser directament proporcionals.El sensor s'escalfa i s'escalfa prèviament, i la temperatura interior és superior a la temperatura de l'aire d'entrada.En aquest moment, el flux de massa de la petita part del gas es mesura pel principi de transferència de calor pel tub capil·lar i el principi de calorimetria de diferència de temperatura.El flux de gas mesurat d'aquesta manera pot ignorar els efectes de la temperatura i la pressió.El senyal de mesura de flux detectat pel sensor s'introdueix a la placa de circuit i s'amplifica i surt, i s'ha completat la funció del MFM.Afegint la funció de control automàtic de bucle tancat PID a la placa de circuits, compareu el senyal de mesura de flux mesurat pel sensor amb el senyal establert donat per l'usuari.En base a això, la vàlvula de control es controla de manera que el senyal de detecció de flux sigui igual al senyal establert, realitzant així la funció de l'MFC.
III.Aplicacions i característiques.
MFC, que s'aplica àmpliament en camps com: fabricació de semiconductors i IC, ciència de materials especials, indústria química, indústria petroliera, indústria farmacèutica, protecció del medi ambient i investigació de sistemes de buit, etc. Les aplicacions típiques inclouen: equips de processos microelectrònics com ara la difusió , oxidació, epitaxia, CVD, gravat amb plasma, sputtering, implantació d'ions;equips de deposició al buit, fusió de fibres òptiques, equips de microreaccions, sistema de mescla i combinació de gasos, sistema de control de flux capil·lar, cromatògraf de gasos i altres instruments analítics.
MFC ofereix una alta precisió, una excel·lent repetibilitat, una resposta ràpida, un arrencada suau, una millor fiabilitat, una àmplia varietat de rangs de pressió de funcionament (bon funcionament en situacions d'alta pressió i buit), funcionament senzill i còmode, instal·lació flexible, possible connexió amb PC per dur a terme automàticament control al sistema dels usuaris.
IV.Com determinar i tractar amb failures?
La nostra empresa compta amb un enginyer postvenda professional que us pot ajudar a resoldre problemes d'instal·lació i ús.
Hora de publicació: 29-jul-2022