Coneixements – Vàlvules de buit

I. Introducció de vàlvula
La vàlvula de buit és un component del sistema de buit que s'utilitza per canviar la direcció del flux d'aire, ajustar la mida del flux de gas, tallar o connectar la canonada al sistema de buit.Les parts de tancament de la vàlvula de buit estan segellades amb un segell de goma o un segell metàl·lic.

II.Aplicacions habituals de vàlvules de buit.
Vàlvules de buit
S'utilitza en equips de sistema de buit alt o ultra alt quan el buit s'ha de mantenir en un sistema de manipulació de buit tancat.Les vàlvules de buit s'utilitzen per controlar el flux d'aire a la cambra de buit, aïllar, ventilar, proporcionar reducció de pressió o controlar la conducció.Les vàlvules de compuerta, les vàlvules en línia i les vàlvules d'angle són els tipus més comuns de vàlvules de buit utilitzades per a aplicacions de buit alt o ultraalt.Els tipus de vàlvules addicionals inclouen vàlvules de papallona, ​​vàlvules de transferència, vàlvules de bola, vàlvules de pèndol, vàlvules totalment metàl·liques, vàlvules de buit, vàlvules d'angle d'alumini, vàlvules de buit recobertes de tefló i vàlvules directes.

Vàlvules de papallona
són vàlvules d'obertura ràpida que consisteixen en discos o pales metàl·liques que pivoten en angle recte amb la direcció del flux a la canonada i, quan es gira sobre el seu eix, la vàlvula segella el seient del cos de la vàlvula.

Vàlvules de transferència (vàlvules de comporta rectangulars)
Vàlvules de separació adequades per al seu ús entre cambres de buit i cambres de transferència bloquejades amb càrrega, i entre cambres de transferència i cambres de processament en equips de fabricació de semiconductors.

Vàlvules de bola de buit
són vàlvules de flux rectes de quart de volta amb un conjunt de tancament circular amb seients circulars coincidents per a una tensió de segellat uniforme.

Vàlvules de pèndol
és una gran vàlvula d'acceleració instal·lada entre la cambra de buit del procés i l'entrada de la bomba turbomolecular.Aquestes vàlvules de pèndol de buit es dissenyen normalment com a vàlvules de comporta o pèndol per a aplicacions que inclouen sistemes de fabricació industrial OLED, FPD i PV.

Vàlvules totalment metàl·liques
Dissenyat per al seu ús en entorns de buit ultra alt on les altes temperatures no permeten l'ús d'elastòmers i metalls de juntes criogèniques.Les vàlvules totalment metàl·liques per coure proporcionen un segellat fiable d'alta temperatura des de la pressió atmosfèrica fins a menys de 10-11 mbar.

Vàlvules de buit
Operar de manera fiable en sistemes de producció de semiconductors i en aplicacions amb contaminació química i de partícules.Es poden utilitzar en entorns de buit brut, buit alt o buit ultra alt.

Vàlvules d'angle d'alumini
L'entrada i la sortida d'aquestes vàlvules estan en angle recte entre si.Aquestes vàlvules d'angle estan fetes d'alumini A6061-T6 i s'utilitzen en la fabricació de semiconductors i instrumentació, R+D i sistemes de buit industrials per a aplicacions de buit brut a alt.

La vàlvula de buit recoberta de tefló és un dispositiu de components de buit d'acer inoxidable totalment dissenyat amb un recobriment durador i altament resistent als productes químics.

III.Característiques de les vàlvules de buit.
La pressió està per sota de la pressió atmosfèrica i la caiguda de pressió a través de la solapa de la vàlvula no pot superar 1 kg de força/cm.La temperatura de treball del medi depèn del procés del dispositiu utilitzat.La temperatura generalment no supera el rang de -70 ~ 150 ° C.El requisit més bàsic per a aquestes vàlvules és garantir un alt grau d'estanquitat de la connexió i la densitat de l'estructura i el material de la junta.

Segons les vàlvules de buit de mitjana pressió es poden dividir en quatre grups.
1) Vàlvules de baix buit: pressió mitjana p=760~1 mmHg.
2) Vàlvules de buit mitjà: p = 1 × 10-3 mmHg.
3）Vàlvules d'alt buit: p=1×10-4 ~ 1×10-7 mmHg.
4) Vàlvula de buit ultra alt: p≤1 × 10-8 mmHg.

Com a vàlvula de circuit tancat amb un diàmetre de pas inferior a 250 mm, la tija àmpliament utilitzada és una vàlvula de tancament de manxa de buit amb moviment lineal.Les vàlvules de comporta, però, són més restringides, però això és principalment per a grans diàmetres.També hi ha vàlvules d'obturació esfèrica (vàlvules de bola), vàlvules d'èmbol i vàlvules de papallona.Les vàlvules d'obturació per a vàlvules de buit no s'han promogut perquè requereixen lubricació d'oli, cosa que fa possible que el vapor d'oli entri al sistema de buit, cosa que no està permès.Les vàlvules de buit es poden controlar de manera manual i remota al camp, així com elèctricament, electromagnèticament (electrovàlvules), pneumàtica i hidràulica.