Kahibalo - Vacuum Valves

I. Pasiuna sa balbula
Ang vacuum valve usa ka component sa vacuum system nga gigamit sa pag-usab sa direksyon sa airflow, pag-adjust sa gidak-on sa gas flow, pagputol o pagkonektar sa pipeline sa vacuum system.Ang panapos nga mga bahin sa vacuum valve gisilyohan sa rubber seal o metal seal.

II.Kasagaran nga mga aplikasyon sa vacuum valve.
Vacuum nga mga balbula
Gigamit sa taas o ultra-high vacuum system nga mga ekipo kung ang vacuum kinahanglan nga magpabilin sa usa ka sirado nga vacuum handling system.Ang mga balbula sa vacuum gigamit aron makontrol ang pag-agos sa hangin ngadto sa vacuum chamber, i-isolate, vent, paghatag og pagkunhod sa presyur o pagkontrol sa conduction.Ang mga balbula sa ganghaan, mga inline nga balbula ug mga balbula sa anggulo mao ang labing kasagaran nga mga tipo sa mga vacuum valve nga gigamit alang sa taas o ultra-taas nga mga aplikasyon sa vacuum.Ang dugang nga mga klase sa balbula naglakip sa mga balbula sa butterfly, mga balbula sa pagbalhin, mga balbula sa bola, mga balbula sa pendulum, mga balbula nga metal, mga balbula sa vacuum, mga balbula sa anggulo sa aluminyo, mga balbula nga adunay sapaw sa Teflon ug mga tul-id nga mga balbula.

Mga balbula sa alibangbang
mao ang mga paspas nga pag-abli nga mga balbula nga gilangkoban sa mga metal nga disc o vanes nga nag-pivot sa husto nga mga anggulo sa direksyon sa agos sa pipeline ug kung gituyok sa ilang axis, ang balbula nagtak-op sa lingkuranan sa balbula nga lawas.

Mga balbula sa pagbalhin (rectangular gate valves)
Ang mga balbula sa panagbulag nga angay alang sa paggamit sa taliwala sa mga lawak nga vacuum nga naka-lock sa load ug mga lawak sa pagbalhin, ug tali sa mga lawak sa pagbalhin ug mga lawak sa pagproseso sa mga kagamitan sa paghimo sa semiconductor.

Vacuum Ball Valve
mao ang quarter turn straight flow valves nga adunay circular closure assembly nga adunay pareha nga circular seats para sa uniporme nga sealing stress.

Mga balbula sa pendulum
usa ka dako nga balbula sa throttle nga gitaod taliwala sa proseso nga vacuum chamber ug sa turbomolecular pump inlet.Kini nga mga vacuum pendulum valves kasagarang gidisenyo isip gate o pendulum valves alang sa mga aplikasyon lakip ang OLED, FPD ug PV nga mga sistema sa paggama sa industriya.

Ang tanan nga metal nga mga balbula
Gidisenyo alang sa paggamit sa mga ultra-high vacuum nga mga palibot diin ang taas nga temperatura wala magtugot sa paggamit sa mga elastomer ug cryogenic gasket nga mga metal.Ang bakeable all-metal valves naghatag ug kasaligang taas nga temperatura nga sealing gikan sa atmospheric pressure ngadto sa ubos sa 10-11 mbar.

Vacuum nga mga balbula
Masaligan ang paglihok sa mga sistema sa produksiyon sa semiconductor ug sa mga aplikasyon nga adunay kontaminasyon sa kemikal ug particulate.Mahimo kining gamiton sa rough vacuum, high vacuum o ultra-high vacuum environment.

Mga balbula sa anggulo sa aluminyo
Ang inlet ug outlet niini nga mga balbula naa sa husto nga mga anggulo sa usag usa.Kini nga mga anggulo nga balbula gihimo sa aluminum A6061-T6 ug gigamit sa semiconductor ug instrumentation manufacturing, R&D ug industriyal nga vacuum system alang sa bagis ngadto sa taas nga vacuum nga mga aplikasyon.

Ang Teflon nga adunay sapaw nga vacuum valve usa ka hingpit nga engineered nga stainless steel nga vacuum component device nga adunay lig-on ug taas nga kemikal nga resistensya nga coating.

III.Mga kinaiya sa vacuum valves.
Ang presyur ubos sa presyur sa atmospera ug ang pagkunhod sa presyur sa balbula flap dili molapas sa 1 kg nga puwersa/cm.Ang temperatura sa pagtrabaho sa medium nagdepende sa proseso sa gigamit nga aparato.Ang temperatura sa kasagaran dili molapas sa sakup sa -70 ~ 150 °C.Ang labing sukaranan nga kinahanglanon alang sa ingon nga mga balbula mao ang pagsiguro sa usa ka taas nga lebel sa kahugot sa koneksyon ug ang pagkadasok sa istruktura ug gasket nga materyal.

Sumala sa medium pressure vacuum balbula mahimong bahinon ngadto sa upat ka mga grupo.
1) Ubos nga vacuum valves: medium pressure p=760~1 mmHg.
2) Medium nga vacuum valves: p=1×10-3 mmHg.
3) Taas nga vacuum valves: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultra-taas nga vacuum valve: p≤1×10-8 mmHg.

Ingon nga usa ka closed-circuit valve nga adunay diyametro sa agianan nga ubos pa sa 250 mm, ang kaylap nga gigamit nga tukog usa ka vacuum bellows shut-off valve nga adunay linear nga paglihok.Ang mga balbula sa ganghaan, bisan pa, labi nga gipugngan, apan kini labi na alang sa dagkong mga diametro.Anaa usab ang spherical plug valves (ball valves), plunger valves ug butterfly valves.Ang mga balbula sa plug alang sa mga vacuum valve wala gipasiugda tungod kay nanginahanglan sila og lubrication sa lana, nga nagpaposible sa alisngaw sa lana nga mosulod sa vacuum system, nga dili gitugotan.Ang mga balbula sa vacuum mahimong kontrolado nga mano-mano ug layo sa uma, ingon man usab sa elektrikal, electromagnetically (solenoid valves), pneumatically ug hydraulically.