Ang Beijing Super Q Technology Co., Ltd. adunay EV series oil-lubricated 600L, 1200L, 1600L compound molekular pumps ug 3600L turbine type molecular pumps;grease-lubricated 300L, 650L, 1300L, 2000L compound molekular bomba.Kini nga artikulo nagpunting sa pagpatin-aw sa mga kinaiya, pag-instalar, paggamit ug pagmentinar sa EV-Z series grease lubrication compound molecular pump.
Mga kinaiya sa istruktura
Ang serye sa EV nga grease molecular pump nagsagop sa imported nga precision ceramic bearings, ang pump rotor pinaagi sa dinamikong balanse, stable ug kasaligan nga operasyon, ang motor squirrel cage nga tulo ka hugna nga motor, nga nagdala sa lubrication pinaagi sa grease lubrication, mahimong i-mount sa bisan unsang orientasyon.
instalasyon ug paggamit
I. Mahitungod sa Ultimate Pressure
Ang "Ultimate Pressure" sa molekular nga bomba gibase sa ISO internasyonal nga sumbanan "Paagi sa pagsulay alang sa paghimo sa turbomolecular nga mga bomba", Human sa bug-os nga pagluto sa lawas sa bomba ug sa tabon sa pagsulay (48 ka oras nga pagpauga ug pag-degassing), ang pinakaubos nga presyur nga gisukod sa ang espesipikong posisyon sa test cover.bili sa presyur.Sa aktuwal nga paggamit, ang bili sa 'limitasyon sa presyur' adunay kalabutan sa pagtrabaho nga presyur ug epektibo nga pumping speed sa gi-configure nga backing pump.Ang pagpili sa usa ka mas taas nga performance backing pump mapuslanon kaayo aron makakuha og mas taas nga vacuum ug makunhuran ang oras sa tambutso.
Dugang pa, tungod sa pagkatalagsaon sa prinsipyo sa tambutso sa molekular nga bomba, ang pagsulod sa hangin sa bomba gikinahanglan nga ingon ka lapad kutob sa mahimo, ug ang agianan sa gas gikan sa vacuum chamber ngadto sa molekular nga pump port kinahanglan nga likayan ang pagliko kutob sa mahimo. posible, aron sa pagpaningkamot sa labing maayo nga efficiency sa molecular pump, ug Garantiya mas taas nga ultimate vacuum.
II.Pag-instalar
2.1 Ablihi ang Pakete
Sa dili pa i-install, susiha kung ang molecular pump nadaot sa transit.
Ang pamaagi mao ang mosunod: tan-awa ang mga instruksyon sa suplay sa kuryente sa molecular pump, ikonektar kini sa husto sa molecular pump, dili kinahanglan nga moagi sa tubig o vacuum, sugdi ang molecular pump, ug susihon kung kini nagdagan ug kung adunay bisan unsa. abnormal nga tingog.Kung adunay bisan unsang abnormalidad, i-press ang stop switch sa oras aron mapahunong ang bomba.Mubo nga sulat: Ang frequency sa kuryente kinahanglan dili molapas sa 25Hz sa panahon sa pagsulay nga operasyon
2.2 Pagdugtong sa Taas nga Vacuum Flange
Ang koneksyon sa molecular pump mahimong ipataas sa taas nga vacuum flange o gitakda sa base.Ang molecular pump kinahanglan nga ayohon kung ang taas nga vacuum flange sa molekular nga bomba konektado sa sistema pinaagi sa usa ka metal bellows.
(Ang flange sealing surface walay mga garas, ug walay bisan unsa sa sealing ring)
2.3 Foreline vacuum nga koneksyon
Kinahanglang i-install ang isolation ug vent valve tali sa foreline pump ug sa molekular nga bomba aron mapugngan ang mekanikal nga bomba gikan sa pagbalik sa lana human sa pagsira.
2.4 Pagkonektar sa gas charging device
Aron adunay usa ka limpyo nga vacuum nga palibot, human ang molekular nga bomba gihunong, ang vacuum nga sistema mahimong mapuno sa nitroheno o uga nga hangin.Kasagaran, ang usa ka balbula sa vent mahimong konektado sa pipeline sa atubangan nga yugto, o ang usa ka taas nga balbula sa vacuum mahimong magamit aron mapahawa ang gas sa taas nga katapusan sa vacuum.
III.Pagkonektar sa pagpabugnaw
Tungod sa high-speed rotating friction sa bearing, ang pagpainit sa pump body, ug ang temperatura nga pagtaas sa motor, ang bearing ug ang motor kinahanglan nga pabugnawon kung ang molekular nga bomba nagtrabaho.Ang pagpabugnaw sa hangin kasagarang gigamit, ug ang pagpabugnaw sa tubig gigamit kung ang temperatura sa palibot mas taas kay sa 38°C.Ang humok nga tubo sa tubig nga adunay gawas nga diyametro nga 10mm mahimong direktang konektado sa agianan sa tubig ug outlet sa molecular pump.Usa ka sistema sa sirkulasyon sa tubig nga adunay puro nga tubig ang gigamit, ug ang tubig sa gripo nga adunay gamay nga ulan mahimo usab nga gamiton (ang temperatura sa tubig kinahanglan nga ≤28 ° C).
Ang aksidente nga paghunong sa tubig o taas nga temperatura sa tubig maghimo sa sensor sa temperatura sa molekular nga bomba sa lawas nga molihok, ug ang suplay sa kuryente diha-diha dayon maalarma ug mohunong sa output.
Adunay gilay-on nga mga 15 minuto (ang piho nga oras nagdepende sa rate sa pagtaas sa temperatura) pagkahuman sa wala damha nga paghunong sa tubig o ang temperatura sa tubig labi ka taas hangtod ang mga alarma sa molekular nga bomba tungod sa sobrang kainit.
IV.Linuto sa kalaha
Ang katapusang presyur nagdepende sa kalimpyo sa sulod sa bomba ug ang agianan sa vacuum lakip ang vacuum chamber.Aron makuha ang katapusang presyur sa pinakamubo nga panahon, ang vacuum system ug ang molecular pump kinahanglang lutoon.Ang pagluto kinahanglan nga himuon nga ang molekular nga bomba nga normal nga nagdagan.
Ang temperatura sa pagluto sa molecular pump kinahanglan nga mas ubos kay sa 80 ° C, ang taas nga vacuum flange nga konektado sa pump port kinahanglan nga dili mas taas kay sa 120 ° C, ug ang baking temperatura sa vacuum system kasagaran ubos pa sa 300 ° C.sa kadaot.
Ang oras sa pagluto nagdepende sa lebel sa polusyon sa sistema ug molecular pump ug ang gipaabot nga limitasyon sa presyur sa pagtrabaho, apan ang minimum nga oras kinahanglan dili moubos sa 4 ka oras.
Alang sa pagkuha sa usa ka vacuum sa 10-4Pa, sa prinsipyo, walay pagluto nga gikinahanglan;alang sa pagkuha sa usa ka vacuum nga 10-5Pa, igo lamang ang pagluto sa vacuum system mismo;alang sa pagkuha sa ultra-high vacuum, ang vacuum system ug ang molecular pump kasagaran kinahanglan nga lutoon sa samang higayon.Ang sistema sa pagsukod kinahanglan nga hingpit nga lutoon, kung dili kini makaapekto sa katukma sa datos sa pagsukod tungod sa outgassing niini.
V.Operasyon
Kumpirma nga ang pre-vacuum mas maayo kay sa 15Pa, i-press ang RON key aron masugdan ang molecular pump, ug i-press ang STOP key aron mohunong human magamit.Atensyon!Ang humok nga yawe sa pagsugod kinahanglang gamiton para sa unang paggamit o gamiton pag-usab human sa dugay nga walay pulos nga paggamit.Ang humok nga pagsugod nga operasyon mao ang mosunod: ang kasamtangan nga yugto nga vacuum mas maayo kay sa 15Pa ug ang humok nga pagsugod nga yawe gipugos.Human sa 110 ka minutos, ang molecular pump moabot sa working frequency sa 550Hz (550Hz katumbas sa EV300Z molecular pump, 400Hz Katugbang sa EV650Z, 1300Z, 2000 molecular pump,), unya pindota ang humok nga pagsugod yawe (ang yawe mao ang) sa pagpahunong sa humok pagsugod.
（Sa panahon sa normal nga operasyon sa molekular nga bomba, gidili ang pagdala, paglihok o pagpuno sa hangin.）
VI.Pagmentinar ug Pag-ayo
6.1 Paglimpyo sa bomba
Kung ang air leakage ug desorption rate sa vacuum system dili mausab, ug ang vacuum performance dili na mapasig-uli bisan human sa taas nga panahon sa pagluto, o kung ang backing pump seryoso nga mibalik sa lana, ang bomba kinahanglan nga limpyohan.
（Kung ang bomba kinahanglan nga ayohon ug limpyohan, kini kinahanglan nga bungkagon sa mga propesyonal nga technician.Kung kini gibungkag nga wala’y pagbansay, ang mga sangputanan naa sa imong kaugalingon nga peligro.）
6.2 Pag-ilis sa mga bearings
Tungod kay ang bomba kinahanglan nga balanse, ang bearing dili mapulihan sa tiggamit.
6.3 Proteksyon sa Epekto
Ang molecular pump usa ka high-speed rotating machine.Ang gintang tali sa naglihok nga plato ug sa static nga plato gamay kaayo, ug kini dili makasugakod sa sobra nga epekto.Ang katulin ug pagpatulin sa naglihok nga carrier sa kontak niini kinahanglan nga limitado.Dugang pa, ang kalit nga epekto sa gidaghanon sa atmospera ug ang pagtulo sa gawas nga gahi nga mga butang sa panahon sa normal nga operasyon sa molecular pump mahimo usab nga hinungdan sa grabe nga kadaot sa molekular nga bomba.
6.4 Pag-inusara sa vibration
Kasagaran, ang molecular pump hugot nga gisulayan, ug ang vibration gamay ra kaayo, ug kini mahimong direktang konektado sa pumped system.Para sa high-precision nga mga aplikasyon sa instrumento (sama sa electron microscopes, etc.), girekomendar nga gamiton ang vibration isolator aron mamenosan ang epekto sa vibration sa instrument.
6.5 Kusog nga panalipod sa magnetic field
Ang rotating rotor makamugna og eddy current sa magnetic field, nga maoy hinungdan sa pag-init sa rotor.Tungod kay ang kainit makapahuyang sa kusog sa aluminum nga materyal, ang paggamit sa molecular pump sa magnetic field limitado sa usa ka sukod.
6.6 electromagnetic interference
Ang pila ka mga instrumento nga adunay taas nga frequency, sama sa mga molecular pump ug frequency converter, mahimong hinungdan sa electromagnetic interference sa palibot nga palibot.Apan sa kaso sa pagtagbo sa internasyonal nga mga sumbanan, ang paggamit sa mga molekular nga bomba dili limitado.Kung ang mga kinahanglanon natuman, ang katugbang nga mga sertipiko kinahanglan nga i-isyu sa parehas nga oras.
6.7 Kusog nga radioactivity restriction
Kadaghanan sa mga materyales magbag-o sa ilang mga kabtangan sa usa ka lig-on nga radioactive nga palibot, labi na ang mga organikong materyales (sama sa molecular pump oil, sealing rings) ug mga sangkap sa semiconductor.Molecular pump makasukol sa radiation intensity sa 105rad.Pinaagi sa pagpili sa anti-radioactive nga mga materyales ug paggamit sa usa ka motor-driven nga suplay sa kuryente, ang anti-radiation nga kusog mahimong mapauswag.Kung nagbomba sa tritium, aron mapugngan ang radioactive nga elemento nga tritium gikan sa pag-ikyas sa atmospera, ang tanan nga mga sealing ring sa molecular pump kinahanglan nga hinimo sa metal nga mga materyales.
6.8 Foreline nga bomba
Sa high-pressure nga katapusan sa molecular pump performance curve, ang inlet pressure gikan sa 200 Pa ngadto sa 10-1 Pa, nga naglangkob sa tulo ka order sa magnitude.Ang kasagaran nga libre nga agianan sa mga molekula sa gas mahimong mas gamay, ug ang epekto sa pumping nagsugod sa pagkadaot.Busa, sa transition zone, mas dako ang paggamit sa backing pump, mas dako ang pumping speed sa molecular pump.Ang foreline pump kinahanglan dili moubos sa 3 L/S minimum.
Kasagaran nga mga sayup ug pag-shoot sa kasamok
Ang EV-Z series grease-lubricated compound molecular pump usa ka mechanical vacuum pump nga nakaamgo sa air extraction pinaagi sa medyo high-speed rotation sa multi-stage dynamic ug static turbine blades.Ang turbomolecular pump adunay mga kinaiya sa taas nga pumping speed ug taas nga compression ratio sa molecular flow region, ug mas makadaginot sa enerhiya kay sa diffusion pump ug walay oil ug steam pollution.Ang EV series grease-lubricated compound molecular pump mao ang molecular pump nga adunay pinakadako nga pumping speed nga 100 calibers sa China.
Kini nga molecular pump walay selectivity ug walay memory effect sa gas nga ibomba.Tungod sa taas nga compression ratio sa gas nga adunay dako nga molekular nga gibug-aton, ang bomba makakuha og limpyo nga taas nga vacuum ug ultra-high vacuum nga walay bugnaw nga mga lit-ag ug oil baffles..Kini kaylap nga gigamit sa nagkalain-laing natad sa electronics, metalurhiya, kemikal nga industriya, siyentipikong panukiduki ug vacuum nga teknolohiya.
Oras sa pag-post: Hul-01-2022