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China OEM China High Vacuum Molecular Turbo Pompa per Vacuum Pumping di PVD Coating Machine

Descrizione breve:

EV-3600 L'impeller di a pompa turbomolecular adopta i denti di lama di sezione trasversale variabile inventati originariamente in Cina, chì aumenta a forza di a lama, riduce u pesu di u rotore, accurta u tempu di start-up, riduce a perdita meccanica è aumenta a vita di serviziu. .


Detail di u produttu

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Dimensioni di prufilu è cunnessione di muntatura di pompe turbo-molecular

Pompa turbomolecular serie EV01
Pompa turbomolecular serie EV01

A Curva di Velocità di a Pompa Molekulari Turbo
pumping nitrogenu è idrogenu

Pompa turbomolecular serie EV02

A Curva di Velocità di Turbo molecular
pompa à l'atmosfera

EV-3600 Dati Tecnicu

Flange d'entrée (mm)

400 ISO - K

Flange di uscita (mm)

100 ISO - K

Tasso di pompaggio (L/S)

3600

Rapportu di cumpressione

N2

> 108

H2

> 5X102

Pressione Ultima (Pa)

<2X10-6

Velocità nominale (rpm)

13500

Vibrazioni

≤ 0,15 μm

Tempu di principiu (min)

<11

Stop Time (min)

<20

Pompa rotativa consigliata

30-70 L/S

Metudu di rinfrescante

Raffreddamentu d'acqua

Température de l'eau de refroidissement (℃)

≤25

U flussu di rinfrescante d'acqua (L/min)

2

Température de cuisson du corps de pompe

<120 ℃

Modu di stallazione

Verticale ± 5 °

Pesu (kg)

≈ 100

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