Controller di flussu di massa Misuratore di flussu di massa CS200
Features
1. High Accuracy è Fast Response
A precisione di u CS200 MFC hè stata migliurata à ± 1.0% di SP, è i mudelli più avanzati anu un tempu di risposta ridutta di menu di 0.8 sec.
2. Low Zero Drift è Coefficient Temperature
L'invenzione di a nova tecnulugia di sensori permette à u CS200 MFC di mantene a stabilità è resiste à i fluttuazioni di a temperatura.Senza un amplificatore auto-zero, a deriva zero prevista hè menu di 0.6% FS / annu, è u coefficient di temperatura hè menu di 0.02% FS / ℃ (zero) ， 0.05% FS / ℃ (span).
3. Modelli Metal-Sealed è High Purity Feature
U percorsu di flussu bagnatu di a linea CS200 MFC hè custruitu da acciaio inox passivatu in superficia.Tutti i MFC CS200 sò assemblati in camere bianche ultraclean Class 100 di Sevenstar in cunfurmità cù i standard SEMI è ISO 9001.
4. Interfaces compatible
U CS200 MFC hè cumpatibile cù e seguenti interfacce, chì ponu esse selezziunate da u cliente: ± 8V-± 16V alimentazione doppia è + 14V-+28V alimentazione unicu;input è output di signali digitale o analogicu;dimensioni meccaniche standard SEMI;è u modulu di cumunicazione RS-485 o DeviceNet.
5. Funzioni miscellaneous
U putente software di u cliente vene in standard cù ogni mudellu, mentre chì funzioni supplementari cum'è multi-gas, multi-range, auto-zero, alarmi, soft start, è ritardu sò dispunibuli cum'è selezzione di i clienti.
Specificazione
| CS200 | |||||||
| Tipu | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Gamma piena scala (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ||||||
| Accuratezza | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Linearità | ± 0,5% FS | ||||||
| Ripetibilità | ± 0,2% FS | ||||||
| Tempu di risposta | ≤ 1 sec | ≤0,8 sec (SEMI E17-0600) | |||||
| Posizione di riposu di valvula | Normalmente chjusu o | Nisuna Valve | Normalmente chjusu o | Nisuna Valve | Normalmente chjusu o | Nisuna Valve | |
| Normalmente aperta（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalmente aperta（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalmente aperta（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Pressione differenziale | 0.05~0.35MPa (Flussu ≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm ＜ Flusso ≤ 30 slm ) | (0,1~0,35) MPa (＞10slm) | (0,1~0,35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2~0.45MPa (Flussu>30slm) | |||||||
| Pressione operativa massima | 0,45 MPa | |||||
| Temperature | Zero: ≤±0.05% FS/℃; | Zero: ≤±0.02% FS/℃;Span: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Coefficient | Span: ≤±0,1% FS/℃ (flussu ≤30slm) | |||||
| Span: ≤±0,2% FS/℃ (flussu> 30slm) | ||||||
| Pressione di prova | 3MPa (435 pisg) | |||||
| Deriva Zero | ＜0,6% FS per annu senza autozero | |||||
| Fuga integrità | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Materiali bagnati | Vitone; | Metal? (Acciaio Inox V/V, 5Ra) | Metallu | |||
| Chimica di a superficia | —— | rapportu Cr / Fe > 2,0;Spessore CrO > 20 Angstroms | ||||
| Finitura di a superficia | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Temperature di funziunamentu | （5~45）℃ | （0~50）℃ | ||||
| Segnale di input | Digitale: RS485 o ProfiBus | N/A | Digitale: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A | Digitale: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A |
| o DeviceNetTM | Analogicu: (0~5)VDC o (4~20)mA o (0~20)mA | Analogicu: (0~5)VDC o (4~20)mA? o (0~20)mA | |||||
| Analogicu: (0~5)VDC o (4~20)mA o (0~20)mA | |||||||
| Segnale di Output | Digitale: RS485 o DeviceNetTM o ProfiBus Analogico: (0~5)VDC o (4~20)mA o (0~20)mA | ||||||
| Alimentazione elettrica | ±8 ~ ±16 VDC o +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Connettore elettronicu | 9 pin male sub-D ， 15 pin male sub-D ， DeviceNetTM,ProfiBus ， Analogicu | ||||||
| Fittings | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Fitting di compressioneΦ10;Fitting di compressioneΦ6; | raccord à compressionΦ6, | ||||||
| Fitting di cumpressione 3/8 ";Fitting di cumpressione 1/4 "; | raccord à compressionΦ3, | ||||||
| Fitting di cumpressione 1/8 ";Fitting di compressioneΦ3; | Fitting di cumpressione 1/4 ", | ||||||
| Ф6 (internu) × 1 tubu; ф5 (internu) × 1.5 hose; ф4 (internu) × 1 tubu; | W-seal, | ||||||
| A-sael ; | C-seal | ||||||
| Pesu | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
