Cunniscenza - Valve di vacuum

I. Introduzione di valve
A vàlvula di vacuum hè un cumpunente di u sistema di vacuum utilizatu per cambià a direzzione di u flussu d'aria, aghjustà a dimensione di u flussu di gas, tagliate o cunnette u pipeline in u sistema di vacuum.E parti di chjude di a valvula di vacuum sò sigillate da un sigillo di gomma o un sigillo metallicu.

II.Applicazioni cumuni di valvula di vacuum.
Valvule di vacuum
Adupratu in l'equipaggiu di sistema di vacuum altu o ultra-altu quandu u vacuum deve esse mantinutu in un sistema di manipulazione di vacuum chjusu.I valvole di vacuum sò aduprate per cuntrullà u flussu d'aria in a camera di vacuum, isolà, ventilà, furnisce riduzzione di pressione o cunduzzione di cuntrollu.Valvole di porta, valvole in linea è valvole d'angolo sò i tipi più cumuni di valvole di vacuum aduprate per applicazioni di vacuum altu o ultra-altu.Tipi di valve supplementari includenu valvole a farfalla, valvole di trasferimentu, valvole di sfera, valvole di pendulu, valvole all-metal, valvole di vacuum, valvole d'angolo d'aluminiu, valvole di vacuum rivestite in Teflon è valvole dritte.

Valvole a farfalla
sò valvuli d'apertura rapida custituiti da dischi metallichi o paleti chì pivotanu à l'angulu drittu à a direzzione di u flussu in u pipeline è quandu sò rotati nantu à u so assi, a valvula sigilla u sediu in u corpu di a valvula.

Valvole di trasferimentu (valvole rettangulari)
Valvole di separazione adattate per l'utilizazione trà e camere di vacuum bloccate è e camere di trasferimentu, è trà e camere di trasferimentu è e camere di trasfurmazioni in l'equipaggiu di fabricazione di semiconduttori.

Valvole a sfera di vacuum
sò valvole di flussu drittu à quartu di volta cù un assemblea di chjusu circulare cù sedi circulari currispondenti per un stress di sigillatura uniforme.

Valvule pendulum
hè una grande valvola di throttle inserita trà a camera di vacuum di prucessu è l'entrata di a pompa turbomolecular.Queste valvole di pendulu di vacuum sò tipicamente cuncepite cum'è valvole di porta o pendulum per applicazioni cumpresi sistemi di fabricazione industriale OLED, FPD è PV.

Valvule all-metal
Cuncepitu per l'usu in ambienti ultra-altu vacuum induve e alte temperature ùn permettenu micca l'usu di elastomeri è metalli di guarnizioni criogeniche.E valvole in metallo di cucitura furnisce un sigillamentu affidabile à alta temperatura da a pressione atmosferica à sottu à 10-11 mbar.

Valvule di vacuum
Funziona in modu affidabile in sistemi di produzzione di semiconduttori è in applicazioni cù contaminazione chimica è particulata.Puderanu esse aduprati in ambienti di vacuum grossu, vacuum altu o ultra-altu vacuum.

Valvole d'angolo d'aluminiu
L'entrata è l'output di sti valvuli sò in angulu drittu unu à l'altru.Queste valvole d'angolo sò fatte d'aluminiu A6061-T6 è sò aduprate in a fabricazione di semiconduttori è strumentazioni, R&D è sistemi di vacuum industriale per applicazioni di vacuum grossu à altu.

A valvula di vacuum rivestita in Teflon hè un dispositivu di cumpunenti di vacuum in acciaio inox cumpletamente ingegneria cù un revestimentu durable è altamente resistente à i chimichi.

III.Caratteristiche di e valvole di vacuum.
A pressione hè sottu à a pressione atmosferica è a caduta di pressione attraversu u flap di a valvula ùn pò micca più di 1 kg di forza / cm.A temperatura di travagliu di u mediu dipende di u prucessu di u dispusitivu utilizatu.A temperatura generalmente ùn trapassa u range di -70 ~ 150 ° C.U requisitu più basu per tali valvole hè di assicurà un altu gradu di strettezza di a cunnessione è a densità di a struttura è di u materiale di guarnizione.

Sicondu a valvula di vacuum pressure media pò esse divisu in quattru gruppi.
1) Valve di vacuum bassu: pressione media p = 760 ~ 1 mmHg.
2) Valvole di vacuum mediu: p = 1 × 10-3 mmHg.
3）Vàlvule à vacuum altu: p = 1 × 10-4 ~ 1 × 10-7 mmHg.
4) Valve ultra-alta vacuum: p≤1×10-8 mmHg.

Cum'è una valvula di circuitu chjusu cù un diametru di passaghju di menu di 250 mm, u gambu largamente utilizatu hè una valvola d'arrestu à soffiu di vacuum cù un muvimentu lineale.I vàlvuli di porta, in ogni modu, sò più ristretti, ma questu hè principarmenti per diametri grossi.Ancu dispunibuli sò valvule sferiche (valvole a sfera), valvole di pistone è valvole a farfalla.Plug valves per vacuum valves ùn sò micca stati promossi perchè necessitanu lubricazione d'oliu, facendu pussibule chì u vapore d'oliu entre in u sistema di vacuum, chì ùn hè micca permessu.I valvole di vacuum ponu esse cuntrullati manualmente è remotamente in u campu, è ancu elettricamente, elettromagneticu (valvole solenoide), pneumatically è idraulicamente.