Beijing Super Q Technology Co., Ltd hà EV 600L, 1200L, 1600L, 1200L, 1600L cumposti pompe moleculare è 3600L turbine tippu mulicular pumps;300L, 650L, 1300L, 2000L cumposti di pompe moleculari lubrificate à grassu.Questu articulu si focalizeghja nantu à spiegà e caratteristiche, a stallazione, l'usu è u mantenimentu di e pompe moleculari di lubricazione di grassu di a serie EV-Z.
Caratteristiche di a struttura
A pompa moleculare di grassu di a serie EV adopta cuscinetti in ceramica di precisione impurtata, u rotore di a pompa attraversu l'equilibriu dinamicu, u funziunamentu stabile è affidabile, u mutore trifase di gabbia di scoiattolo, lubricazione di cuscinetti da lubricazione di grassu, pò esse muntatu in ogni orientazione.
nstallazione è usu
I. À propositu di Ultimate Pressure
A "Pressione Ultima" di a pompa molekulari hè basatu annantu à u standard internaziunale ISO "Metudu di prova per u funziunamentu di pompe turbomoleculari", Dopu a coccia cumpleta di u corpu di a pompa è a copertina di prova (48 ore d'asciugatura è di degassificazione), a pressione più bassa misurata à a pusizione specifica di a tappa di prova.valore di pressione.In l'usu attuale, u valore di "pressione limite" hè in relazione cù a pressione di travagliu è a velocità di pompamentu efficace di a pompa di supportu cunfigurata.A scelta di una pompa di supportu più altu hè assai benefica per ottene un vacuum più altu è riduce u tempu di scarico.
Inoltre, per via di a particularità di u principiu di scarico di a pompa moleculare, l'entrata di l'aria di a pompa deve esse u più larga pussibule, è u percorsu di gas da a camera di vacuum à u portu di a pompa moleculare deve evità di vultà quant'è. pussibili, in modu à eserciteghja u megliu efficienza di a pompa molecular, è Guaranteed supiriuri ultimu vacuum.
II.Installazione
2.1 Aprite u Pacchettu
Prima di a stallazione, verificate se a pompa molecular hè stata dannata durante u transitu.
U metudu hè u seguitu: riferite à l'istruzzioni di l'alimentazione di a pompa moleculare, cunnetta bè cù a pompa moleculare, ùn hà micca bisognu di passà acqua o vacuum, avvià a pompa moleculare, è verificate s'ellu funziona è s'ellu ci hè. sonu anormale.Se ci hè qualchì anormalità, appughjà l'interruttore di stop in tempu per fermà a pompa.Nota: A frequenza di putenza ùn deve esse più altu di 25Hz durante l'operazione di prova
2.2 Cunnettendu u Flange High Vacuum
A cunnessione di a pompa moleculare pò esse rialzata da a flange à vacuum altu o fissata nantu à a basa.A pompa moleculare deve esse fissata quandu a flange à vacuum altu di a pompa moleculare hè cunnessa à u sistema per mezu di un soffiu metallicu.
(A superficia di sigillatura di a flange ùn hà micca graffi, è ùn ci sarà nunda nantu à l'anellu di sigillatura)
2.3 Cunnessione di vacuum foreline
Una valvula d'isolazione è di ventu deve esse installata trà a pompa di prima linea è a pompa moleculare per impedisce a pompa meccanica di rinvià l'oliu dopu l'arrestu.
2.4 Cunnettendu u dispusitivu di carica di gas
Per avè un ambiente di vacuum pulito, dopu chì a pompa moleculare hè fermata, u sistema di vacuum pò esse pienu di nitrogenu o aria secca.In generale, una valve di ventu pò esse cunnessa à u pipeline di u front-stage, o una valvula di vacuum altu pò esse usata per sventà u gasu à a fine di u vacuum altu.
III．Cunnettendu u cooling
A causa di l'attrito rotanti d'alta velocità di u cuscinettu, u riscaldamentu di u corpu di a pompa, è l'aumentu di a temperatura di u mutore, u cuscinettu è u mutore deve esse rinfriscati quandu a pompa moleculare funziona.U rinfrescante di l'aria hè generalmente utilizatu, è u raffreddamentu di l'acqua hè utilizatu quandu a temperatura di l'ambienti hè più altu di 38 ° C.A pipa d'acqua dolce cù un diametru esternu di 10 mm pò esse direttamente cunnessu à l'ingressu è l'output di l'acqua di a pompa molecular.Un sistema d'acqua circulante cù l'acqua pura hè utilizatu, è l'acqua di robba cù precipitazioni bassu pò ancu esse usata (a temperatura di l'acqua deve esse ≤28 ° C).
L'interruzione accidentale di l'acqua o a temperatura di l'acqua alta farà chì u sensoru di temperatura di u corpu di a pompa moleculare agisce, è l'alimentazione di l'energia si allarme immediatamente è ferma l'output.
Ci hè un intervallu di circa 15 minuti (u tempu specificu dipende da a tarifa di l'aumentu di a temperatura) dopu l'arrestu inesperu di l'acqua o a temperatura di l'acqua hè troppu alta finu à chì l'alarma di a pompa moleculare hè causata da u surriscaldamentu.
IV．Cottura
A pressione finale dipende da a pulizia di l'internu di a pompa è u percorsu di vacuum cumpresa a camera di vacuum.Per ottene a pressione finale in u più cortu tempu, u sistema di vacuum è a pompa moleculare deve esse cotti.A cottura deve esse realizatu cù a pompa moleculare chì funziona normalmente.
A temperatura di coccia di a pompa moleculare deve esse più bassu di 80 ° C, u flange di vacuum altu cunnessu à u portu di a pompa ùn deve esse più altu di 120 ° C, è a temperatura di coccia di u sistema di vacuum hè generalmente menu di 300 ° C.di danni.
U tempu di coccia dipende da u gradu di contaminazione di u sistema è di a pompa moleculare è di a pressione di travagliu limite prevista, ma u tempu minimu ùn deve esse menu di 4 ore.
Per ottene un vacuum di 10-4Pa, in principiu, ùn hè micca necessariu coccia;per ottene un vacuum di 10-5Pa, solu baking u sistema di vacuum stessu hè abbastanza;per ottene un vacuum ultra-altu, u sistema di vacuum è a pompa moleculare di solitu deve esse cotti à u stessu tempu.U sistema di misurazione deve esse cumplettamente cottu, altrimenti affettarà l'accuratezza di i dati di misurazione per via di u so outgassing.
V．Operazione
Confirmate chì u pre-vacuum hè megliu cà 15Pa, appughjà a chjave RON per inizià a pompa moleculare, è appughjà a chjave STOP per firmà dopu l'usu.Attenzione !A chjave di start soft deve esse usata per u primu usu o riutilizazione dopu un usu inattivu longu.U funziunamentu di start-soft hè a siguenti: u vacuum stage attuale hè megliu cà 15Pa è u tastu soft start hè pressatu.Dopu à 110 minuti, a pompa moleculare righjunghji a freccia di travagliu di 550Hz (550Hz currisponde à a pompa moleculare EV300Z, 400Hz Corrispondente à a pompa moleculare EV650Z, 1300Z, 2000), dopu appughjà u tastu di start soft (a chjave hè up) per piantà u soft. principià.
（Durante u funziunamentu normale di a pompa moleculare, hè pruibitu di portà, spustà o riempie d'aria.）
VI．Mantenimentu è Riparazione
6.1 Pulizia di a pompa
Quandu a fuga di l'aria è u tassu di desorption di u sistema di vacuum ùn cambianu micca, è u rendiment di u vacuum ùn pò micca esse restauratu ancu dopu à un longu tempu di coccia, o quandu a pompa di sustegnu torna seriamente l'oliu, a pompa deve esse pulita.
（Se a pompa deve esse riparata è pulita, deve esse disassemblata da tecnichi prufessiunali.S'ellu hè disassemblatu senza furmazione, e cunsequenze seranu à u vostru propiu risicu.）
6.2 Sostituzione di i cuscinetti
Siccomu a pompa deve esse equilibrata, u cuscinettu ùn pò esse rimpiazzatu da l'utilizatori.
6.3 Prutezzione di l'impattu
A pompa moleculare hè una macchina rotativa à alta velocità.U distaccu trà a piastra in muvimentu è a piastra statica hè assai chjuca, è ùn pò micca sustene l'impattu eccessivu.A vitezza è l'accelerazione di u traspurtadore in muvimentu in cuntattu cù ellu deve esse limitatu.Inoltre, l'impattu bruscu di u voluminu atmosfericu è a caduta di l'uggetti duri esterni durante u funziunamentu normale di a pompa molekulari pruvucarà ancu gravi danni à a pompa molecular.
6.4 Isolamentu di vibrazioni
Di solitu, a pompa moleculare hè stata pruvata strettamente, è a vibrazione hè assai chjuca, è pò esse direttamente cunnessa à u sistema pompatu.Per l'applicazioni di strumenti d'alta precisione (cum'è microscopi elettronichi, etc.), hè cunsigliatu d'utilizà isolatori di vibrazione per minimizzà l'impattu di a vibrazione nantu à u strumentu.
6.5 Forte schermu di u campu magneticu
U rotore rotanti genera correnti di Foucault in u campu magneticu, chì pruvucarà u rotore à riscalda.Siccomu u calore debilitarà a forza di u materiale d'aluminiu, l'applicazione di a pompa moleculare in u campu magneticu hè limitata à una certa misura.
6.6 interferenza elettromagnetica
Certi strumenti d'alta frequenza, cum'è pompe moleculari è convertitori di frequenza, ponu causà interferenza elettromagnetica à l'ambiente circondu.Ma in u casu di scuntrà i normi internaziunali, l'applicazione di e pompe molecolari ùn serà micca limitata.Se i requisiti sò soddisfatti, i certificati currispondenti devenu esse emessi à u stessu tempu.
6.7 Forte restrizione di radiuattività
A maiò parte di i materiali cambianu e so proprietà in un ambiente radiuattivu forte, in particulare i materiali organici (cum'è l'oliu di pompa moleculare, anelli di sigillatura) è i cumpunenti di semiconductor.A pompa moleculare pò resiste à l'intensità di radiazione di 105rad.Selezziunate materiali anti-radioattivu è utilizendu un fornimentu d'energia mutore, a forza anti-radiazione pò esse migliurata.Quandu u pumping tritium, per impedisce chì l'elementu radiuattivu tritium scappa in l'atmosfera, tutti l'anelli di sigillatura in a pompa moleculare deve esse fatti di materiali metallici.
6.8 Pompa di punta
À l'estremità d'alta pressione di a curva di prestazione di a pompa moleculare, a pressione di l'ingressu varieghja da circa 200 Pa à 10-1 Pa, chì copre trè ordini di grandezza.U percorsu liberu mediu di e molécule di gas diventa più chjucu, è l'effettu di pumping principia à deteriorate.Dunque, in a zona di transizione, più grande hè l'usu di a pompa di backing, più grande hè a velocità di pompa di a pompa moleculare.A pompa foreline ùn deve esse micca menu di 3 L/S minimu.
I difetti cumuni è i prublemi
A pompa moleculare composta lubrificata da grassu di a serie EV-Z hè una pompa di vacuu meccanica chì realiza l'estrazione di l'aria attraversu una rotazione relativamente alta velocità di pale di turbine dinamiche è statiche multi-stadi.A pompa turbomolecular hà e caratteristiche di alta vitezza di pumping è altu rapportu di compressione in a regione di u flussu moleculare, è hè più risparmiu d'energia chè a pompa di diffusione è ùn hà micca contaminazione d'oliu è di vapore.A pompa moleculare di a serie EV lubrificata da grassu hè a pompa moleculare cù a più grande velocità di pompa di 100 calibres in Cina.
Questa pompa moleculare ùn hà micca selettività è nisun effettu di memoria nantu à u gasu da esse pompatu.A causa di l'altu rapportu di compressione di u gasu cù un grande pesu moleculare, a pompa pò ottene un vacuum altu pulitu è un vacuum ultra-altu senza trappule friddi è baffles d'oliu..Hè largamente usatu in diversi campi di l'elettronica, a metallurgia, l'industria chimica, a ricerca scientifica è a tecnulugia di vacuum.
Tempu di post: Jul-01-2022