ODM Factory China Semiconductor Turbo Molecular Pump EV1600L/S
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Dimensioni di prufilu è cunnessione di muntatura di pompe turbo-molecular
A Curva di Velocità di a Pompa Molekulari Turbo
pumping nitrogenu è idrogenu
A Curva di Velocità di Turbo molecular
pompa à l'atmosfera
EV-3600 Dati Tecnicu
Flange d'entrée (mm) | 400 ISO - K | |
Flange di uscita (mm) | 100 ISO - K | |
Tasso di pompaggio (L/S) | 3600 | |
Rapportu di cumpressione | N2 | > 108 |
H2 | > 5X102 | |
Pressione Ultima (Pa) | <2X10-6 | |
Velocità nominale (rpm) | 13500 | |
Vibrazioni | ≤ 0,15 μm | |
Tempu di principiu (min) | <11 | |
Stop Time (min) | <20 | |
Pompa rotativa consigliata | 30-70 L/S | |
Metudu di rinfrescante | Raffreddamentu d'acqua | |
Température de l'eau de refroidissement (℃) | ≤25 | |
U flussu di rinfrescante d'acqua (L/min) | 2 | |
Température de cuisson du corps de pompe | <120 ℃ | |
Modu di stallazione | Verticale ± 5 ° | |
Pesu (kg) | ≈ 100 |
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