Controller di flussu di massa di gas termale (MFC)

Descrizione breve:

Controller di flussu di massa di gas termale (MFC) ùn solu hà a funzione di metru di flussu di massa, ma ancu più impurtante pò cuntrullà u flussu di gasu automaticamente chì significa chì l'utilizatore pò stabilisce u flussu cum'è dumanda.MFC fissarà automaticamente u flussu nantu à u valore stabilitu.U valore stabilitu ùn serà micca deviatu ancu s'è a fluttuazione di a pressione di u sistema o cambia a temperatura circundante.In corta, u cuntrollu di flussu di massa hè un dispositivu stabile di flussu, hè un dispositivu stabile di flussu di gas chì pò esse programatu manualmente o cuntrullatu automaticamente da un computer.

Mandate un email à noi

Detail di u produttu

Tags di u produttu

Urmalgasmculofbassumeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressura, ùn hè micca bisognuteccuompensationoftemperatureandpressure.

Mudellu	SQC-100
Gamme di flussu (N2)	0～5，10，20，30，50，100 ，200，500SCCM
Gamme di flussu (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Accuratezza	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Tipu di azzione di valvula	Normale chjusu
Linearità	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Ripetibilità	± 0,2% FS
Tempu di risposta	≤ 1 sec
Segnale di input/output	0~5V
Articulazione elettrica	Pin DB15 (agulla)
Operazione Tem.	5 ~ 45 ℃
Differential Pre.	0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM)
Tasso di fuga	1×10-8SCCS （He）
Max.Pressione	3MPa
Materiale mediu	316L SS è materiale di sigillatura
Material di sigillatura	Viton, Gomma di silicone, NBR, Teflon, Sigillo metallicu.
Dimensione di l'aghjuntu	VCR 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6mm
Alimentazione elettrica	+ 15V, 50mA; -15V, 200mA

Mudellu	SQC-200
Gamme di flussu (N2)	MFC: 0～20，30，50，100，150，200SLM
Gamme di flussu (N2)	MFM: 0~20 ，30 ，50，100 ，150， 200 ，250，300SLM
Accuratezza	± 2％FS
Tipu di azzione di valvula	Normale chjusu
Linearità	± 2％FS
Ripetibilità	± 0,2% FS
Tempu di risposta	≤ 5 sec
Segnale di input/output	1~5V;4~20mA
Articulazione elettrica	Pin DB15 (agulla)
Operazione Tem.	5 ~ 45 ℃
Differential Pre.	0.1~0.3MPa (MFC); 0.05~3.0MPa (MFM)
Tasso di fuga	1×10-8SCCS （He）
Max.Pressione	3MPa
Materiale mediu	316L SS è materiale di sigillatura
Material di sigillatura	Viton, Gomma di Silicone, NBR, ERP, Teflon
Dimensione di l'aghjuntu	Swagelok 3/8" 、1/2"； φ8、φ10、φ12mm
Alimentazione elettrica	24 V, 0,5 A