Vysoká rychlost čerpání odolná Nízká hlučnost rotační lamelové vzduchové čerpadlo DRV vakuové čerpadlo
Vývěva řady DRV je dvoustupňová rotační vývěva s olejovým těsněním vhodná pro aplikace s nízkým a středním vakuem, používaná hlavně k odstranění vzduchu a jiných suchých plynů.Je to jedno z hlavních zařízení pro nízké a střední vakuum, lze jej použít samostatně nebo jako popředí
čerpadlo jiných vývěv.
Vývěva se vyznačuje spolehlivým chodem, méně opotřebitelnými díly, nízkými vibracemi, nízkou hlučností a vysokou účinností.
Vakuové čerpadlo řady SV se dováží ze zahraniční vyspělé technologie a klíčové komponenty jsou dovezené nebo dovezené komponenty.
materiálů.Vývěva řady DRV dokáže zcela nahradit obdobné zahraniční produkty.
Brožura pro produkt molekulární pumpy řady EVFB
Modelka:
EVFB-100/301 Compound integrovaná molekulární pumpa
EVFB-160/401 Compound integrovaná molekulární pumpa
EVFB-160/450D Antivibrační molekulární pumpa
Integrovaná molekulární pumpa EVFB-160/701Compound
EVFB-200/1401 Compound integrovaná molekulární pumpa
EVFB-250/2201 Compound integrovaná molekulární pumpa
EVFB-160/701 Compound molekulární pumpa
EVFB-200/1401 Složená molekulární pumpa
EVFB-250/2201 Složená molekulární pumpa
Molekulární čerpadlo EVFB-400/3600 Turbo
Molekulární čerpadlo EVFB-400/4500 Turbo
Přehled produktu
Molekulární čerpadlo je druh vysokorychlostního rotačního vakuového čerpadla pro přenos hybnosti, jeho rozsah pracovního tlaku je obecně 10-1Pa ~ 10-7Pa, je jedním z důležitých zařízení pro získávání vakua pro dosažení vysokého vakua a ultra vysokého vakua.Molekulární čerpadlo má výhody rychlého spouštění, širokého pracovního rozsahu, nízké spotřeby energie, vysoké čistoty a jednoduché údržby.
Produkty molekulární pumpy popsané v tomto vzorníku jsou druhou generací produktů
nově spuštěné společností, které jsou navrženy a optimalizovány především pro průmyslové vakuum a vědeckovýzkumné oblasti, včetně první řady produktů průmyslových vakuových molekulárních pump s integrovanými ovladači a flexibilními aplikačními scénáři.Podle ráže jsou to především DN100, DN160, DN200, DN250 a DN400 a další výrobky.
Integrální molekulární čerpadlo mazané tukem
Hlavní vlastnosti této řady produktů:
（1） Integrovaný ovladač: Design integrovaného ovladače， Usnadnění integrace systému， Klíč start-stop；
（2） Přesné ložisko
（3） Vysoká spolehlivost：Celkové rotory； technologie pohonu BLDC；
（4） Funkční rozmanitost：Úplný sortiment příslušenství， K dispozici jsou přizpůsobená řešení；
（5） Poskytněte funkci nastavitelné rychlosti, pro splnění požadavků na různé rychlosti čerpání;
Tato řada produktů je vhodná především pro PVD, CVD, desky s tekutými krystaly a další průmyslové povlaky;Hmotnostní spektrometrie, fyzika vysokých energií, detekce netěsností ve vakuu, lékařství a biologické inženýrství a další oblasti vědeckého výzkumu.
Technické specifikace molekulární pumpy
| Modelka | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(na zakázku) | ||||
| ☑The vakuum parametry | |||||||
| Čerpací Rychlost (l/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimátni tlak | < 5×10-6 Pa (LF);< 5×10-7 Pa (CF) | < 8×10-6 Pa (LF) < 8×10-7 Pa (CF) | |||||
| Komprese poměr | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maximumcontinousinletpress jistě | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maximální kontinuální Tlak vpředu | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforeline tolerance tlaku | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fyzický parametr | |||||||
| Vstup příruba | DN100 ISO-K (LF) nebo CF | DN160 ISO-K (LF) nebo CF | |||||
| Přední linie příruba | DN25 ISO-KF nebo DN40KF（Volitelné） | ||||||
| Očistit příruba | DN16 ISO-KF | ||||||
| Hmotnost | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibrace | ≤0,05 μm | ||||||
| Hluk | ≤55 dB（Standardní chlazení vzduchem） | ||||||
| Ložisko | Keramické kuličkové ložisko mazané tukem | ||||||
| Provozní pozice | Žádný | ||||||
| Oper.ambient Magnetický pole | ≤3 mT（Největší 10mT， Nutno přizpůsobit） | ||||||
| Opera.ambie nt | Chlazení vzduchem | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Chlazení vodou | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Požadavky na chladicí vodu | Teplota vody: 15-30℃, tlak: 0,15 MPa, PH6~8, jasně, bez oleje, průtok: ≥ 1 l/min | ||||||
| Doporučeno přední čerpadlo | 2~6 l/s | 3~8 l/s | |||||
| ☑Ovladač parametry | |||||||
| Ovladač | EVFB-II | ||||||
| Rotační Rychlost | 48 000 ot | 36 000 ot./min | |||||
| Nízký Rychlost | 33600 ot | 25200 ot./min | |||||
| Start-up čas | ≤ 5 min | ||||||
| Napětí | 48VAC±2% | ||||||
| Sdělení režimu | RS-485 | ||||||
| Modelka | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The vakuum parametry | |||||||
| Ultimátni tlak (Pa) | <5x10-6（LF））<5x10-7（CF） | ||||||
| Čerpací Rychlost (l/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Komprese poměr | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maximumcontinousinletpress moč (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maximální spojitý tlak v přední čáře (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerance (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fyzický parametr | |||||||
| Vstup příruba | DN160 ISO-K（LF）nebo CF | DN200 ISO-K （LF）–CF | DN250 ISO-K (LF) nebo | ||||
| Přední linie příruba | DN25 ISO-KF nebo KF40 (volitelné) | DN40 ISO-KF nebo KF50 (volitelné) | |||||
| Očistit příruba | DN16 ISO-KF | ||||||
| Doporučeno přední čerpadlo (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Hmotnost(kg) | 20 ISO-K (LF) | 30 ISO-K (LF) | 40 ISO-K (LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibrace | ≤ | ||||||
| Hlučnost (dB) | ≤ | ||||||
| Ložisko | Keramické kuličkové ložisko mazané tukem | ||||||
| Provozní pozice | Žádný | ||||||
| Magnetický pole intenzita (mT) | ≤3（Největší 10mT，Potřeba přizpůsobit） | ||||||
| Oper.ambient teplota | Vzduch chlazení | 5~35℃ | |||||
| Voda chlazení | 5~40 ℃ | ||||||
| Chlazení voda požadavky | Teplota vody: 15-25 ℃, tlak: 0,15 MPa, PH6~8, jasně, bez oleje Průtok: ≥1,5 l/min | ||||||
| ☑Ovladač parametry | |||||||
| Ovladač | EVFB-III-A | ||||||
| Sdělení režimu | RS-485 | ||||||
| Napětí(V) | 220V AC±10% | ||||||
| Frekvence(Hz) | 50/60±5 % | ||||||
| Maximum vstup Napájení(W) | 100 | ||||||
| Začátek Konec řízení režimu | Tlačítka ovladače ovládají start a stop /RS485 controller start and stop /DB15 Control start and stop | ||||||
| Ochrany | Nadproud regulátoru, přepětí, podpětí, ochrana proti přehřátí, nadproud molekulárního čerpadla, přetížení, ochrana proti přehřátí atd. | ||||||
| Rotační Rychlost (ot./min) | 36 000 ± 0,1 % | 30 000 ± 0,1 % | 24 000 ± 0,1 % | ||||
| Nízký Rychlost (ot./min) | 25 200 ± 0,1 % | 21 000 ± 0,1 % | 16 800 ± 0,1 % | ||||
| Aktuální(A) | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Ochrana pojistka(A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Doba spouštění(min) | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Odstávka(min) | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Celkový rozměr
| Modelka | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Modelka | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160 CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| EVFB-200/1401 | 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Objednávání Informace
| Číslo | Produkt Modelka | Produkt kód | Příslušenství | Objednatčíslo | Vysvětlit |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standardní molekulární pumpa | A3123 | Standardní čerpadlo（Chlazení vzduchem je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily(malý průtok) | A3123-A | Standardní čerpadlo + příslušenství čistícího ventilu (malý průtok) | |||
| Komponenty vodního chlazení | A3123-B | Standardní čerpadlo + součásti vodního chlazení（Výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily （malý průtok）、Součásti chlazení vodou | A3123-C | Standardní čerpadlo + příslušenství odvzdušňovacího ventilu（malý průtok）+ součásti chlazení vodou（výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standardní molekulární pumpa | A3124 | Standardní čerpadlo（Chlazení vzduchem je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily(malý průtok) | A3124-A | Standardní čerpadlo + příslušenství čistícího ventilu (malý průtok) | |||
| Komponenty vodního chlazení | A3124-B | Standardní čerpadlo + součásti vodního chlazení（Výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily （malý průtok）、Součásti chlazení vodou | A3124-C | Standardní čerpadlo + příslušenství odvzdušňovacího ventilu（malý průtok）+ součásti chlazení vodou（výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standardní molekulární pumpa | A3127 | Standardní čerpadlo（Chlazení vzduchem je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily(malý průtok) | A3127-A | Standardní čerpadlo + příslušenství čistícího ventilu (malý průtok) | |||
| Komponenty vodního chlazení | A3127-B | Standardní čerpadlo + součásti vodního chlazení（Výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily （malý průtok）、Součásti chlazení vodou | A3127-C | Standardní čerpadlo + příslušenství odvzdušňovacího ventilu（malý průtok）+ součásti chlazení vodou（výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standardní molekulární pumpa | A3128 | Standardní čerpadlo（Chlazení vzduchem je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily(malý průtok) | A3128-A | Standardní čerpadlo + příslušenství čistícího ventilu (malý průtok) | |||
| Komponenty vodního chlazení | A3128-B | Standardní čerpadlo + součásti vodního chlazení（Výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3128-C | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventil |
| （malý průtok）、Součásti chlazení vodou | příslušenství（malý průtok）+ součásti vodního chlazení (vyměnitvzduchem chlazené komponenty) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standardní molekulární pumpa | A3129 | Standardní čerpadlo（Chlazení vzduchem je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily(malý průtok) | A3129-A | Standardní čerpadlo + příslušenství čistícího ventilu (malý průtok) | |||
| Komponenty vodního chlazení | A3129-B | Standardní čerpadlo + součásti vodního chlazení（Výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily （malý průtok）、Součásti chlazení vodou | A3129-C | Standardní čerpadlo + příslušenství odvzdušňovacího ventilu（malý průtok）+ součásti chlazení vodou（výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standardní molekulární pumpa | A3130 | Standardní čerpadlo（Chlazení vzduchem je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily(malý průtok) | A3130-A | Standardní čerpadlo + příslušenství čistícího ventilu (malý průtok) | |||
| Komponenty vodního chlazení | A3130-B | Standardní čerpadlo + součásti vodního chlazení（Výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily （malý průtok）、Součásti chlazení vodou | A3130-C | Standardní čerpadlo + příslušenství odvzdušňovacího ventilu（malý průtok）+ součásti chlazení vodou（výměna vzduchem chlazených součástí） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standardní molekulární pumpa | A3139 | Standardní čerpadlo（Vodní chlazeníje standardně ve výchozím nastavení) |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3139-A | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilPříslušenství | |||
| Komponenty ventilátoru | A3139-B | Standardní čerpadlo + ventilátor | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily,Komponenty ventilátoru | A3139-C | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilpříslušenství + komponenty ventilátoru | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standardní molekulární pumpa | A3140 | Standardní čerpadlo（Vodní chlazeníje standardně ve výchozím nastavení) |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3140-A | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilPříslušenství | |||
| Komponenty ventilátoru | A3140-B | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily,Komponenty ventilátoru | A3140-C | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilpříslušenství + komponenty ventilátoru | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standardní molekulární pumpa | A3135 | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3135-A | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilPříslušenství | |||
| Komponenty ventilátoru | A3135-B | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily, | A3135-C | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventil |
| Komponenty ventilátoru | příslušenství + komponenty ventilátoru | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standardní molekulární pumpa | A3136 | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3136-A | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilPříslušenství | |||
| Komponenty ventilátoru | A3136-B | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily、 | A3136-C | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilpříslušenství + komponenty ventilátoru | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standardní molekulární pumpa | A3141 | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3141-A | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilPříslušenství | |||
| Komponenty ventilátoru | A3141-B | Standardní čerpadlo + ventilátor | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily、Součásti ventilátoru | A3141-C | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilpříslušenství + komponenty ventilátoru | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standardní molekulární pumpa | A3142 | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3142-A | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilPříslušenství | |||
| Komponenty ventilátoru | A3142-B | Standardní čerpadlo + ventilátor | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily、 | A3142-C | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventilpříslušenství + komponenty ventilátoru | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Ovladač molekulární pumpy (Vhodné pro molekulární pumpy, jako jsou EVFB-100/301, EVFB- 160/401, EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Ovladač molekulární pumpy（ Vhodné pro molekulární pumpy, jako jsou EVFB-160/701, EVFB- 200/1401, EVFB-250/2201) |
Oddělené složené molekulární pumpy
Hlavní vlastnosti této řady produktů:
（1） Oddělený ovladač： Napájení AC220V，Klíč start-stop；
（2） Vysoká spolehlivost；Celkové rotory； technologie pohonu BLDC；
（3） Přesné ložisko
（4） Funkční rozmanitost：Úplný sortiment příslušenství， K dispozici jsou přizpůsobená řešení；
（5） Poskytněte funkci nastavitelné rychlosti, pro splnění požadavků na různé rychlosti čerpání ； Tato řada produktů je použitelná hlavně pro PVD, CVD, desky z tekutých krystalů a další
průmyslové nátěry, vědecký výzkum a další obory.
Technické parametry molekulární pumpy
| Modelka | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The vakuum parametry | ||||||||||
| konečný tlak (Pa) | <5x10-6（LF））<5x10-7（CF） | |||||||||
| Čerpací Rychlost (l/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Kompresní poměr | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maximum kontinuální vtoktlak (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maximumkontinuální Přední linie | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Max.přední tlaková tolerance (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fyzický parametr | ||||||||||
| Vstup příruba | DN160 ISO-K（LF）neboCF | DN200 ISO-K (LF) nebo CF | DN250 ISO-K（LF）neboCF | DN400 ISO-K（LF）neboCF | DN400 ISO-K（LF）neboCF | |||||
| Přední linie příruba | DN25 ISO-KF,KF40 (Volitelné) | DN40 ISO-KF，KF50（Volitelné） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）nebo KF50 (Volitelné) | ||||||
| Očistit příruba | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Doporučeno | 4~10 l/s | 8~16 l/s | 16~24 l/s | 30~70 l/s | ||||||
| Hmotnost(kg) | 20 ISO-K (LF) | 30 ISO-K (LF) | 40 ISO-K (LF) | ≈ 100 ISO-K (LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibrace | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Hluk (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Ložisko | Keramické kuličkové ložisko mazané tukem | Keramické kuličkové ložisko | ||||
| Provozní pozice | Žádný | Vertikálně ±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetické pole | ≤ 3 mT (největší 10 mT, nutno přizpůsobit) | ≤ 3 mT | ||||
| oper.okolní teplota | Vzduch chlazení | 5~35°C | / | / | ||
| Chlazení vodou | 5~40oC | |||||
| Chlazení voda požadavky | Teplota vody: 15-25 ℃, předem jistota: 0,15 MPa, průtok: ≥ 1,5 l/min | průtok: ≥ 3 l/min | ||||
| ☑Ovladač parametry | ||||||
| Oddělené ovladač | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI (4U) | ||||
| Dálkový řízení | Ovládání na ultravzdálenost （konzultujte s našimi inženýry） | |||||
| Sdělení režimu | RS-485 | |||||
| Napětí(V) | Od 100 do 240 VAC（± | 220VAC (±10%) | ||||
| Frekvence(Hz) | 50/60Hz±5% | |||||
| Maximální vstupní výkon(W) | 1000 | 1500 | ||||
| Začátek Konec řízení režimu | Tlačítka ovladače ovládají start a stop /RS485 controller start and stop /DB15 Control start and stop | |||||
| Ochrany | Nadproud regulátoru, přepětí, podpětí, ochrana proti přehřátí, nadproud molekulární pumpy,ochrana proti přetížení, přehřátí atd | |||||
| Rotační Rychlost (ot./min) | 36 000 ± 0,1 % | 30 000 ± 0,1 % | 24 000 ± 0,1 % | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| Nízký Rychlost (ot./min) | 25 200 ± 0,1 % | 21 000 ± 0,1 % | 16 800 ± 0,1 % | / | ||
| Aktuální(A) | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Ochrana pojistka(A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Start-up čas(min) | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Odstávka(min) | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| oper. okolní stav | Žádné korozivní plyny a zjevné prachové částice；teplota prostředí：-10℃~50℃；životní prostředívlhkost: ≤ 90 %, intenzita vibrací: ≤ 0,5 g | |||||
0 celkový rozměr
| Modelka | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| 160 CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Rozměry turbomolekulárního čerpadla EVFB-400/3600
Rozměry turbomolekulárního čerpadla EVFB-400/4500
Vzhled odděleného ovladače
EVFB-III-B（2U）oddělený ovladač
EVFB-VI (4U) samostatný ovladač
Objednat Informace
| číslo | Produkt Modelka | produkt kód | Příslušenství | Objednat číslo | Vysvětlit |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standardní molekulární pumpa | A3139-F | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3139-FA | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
| Komponenty ventilátoru | A3139-FB | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro proplachovací ventil, součásti ventilátoru | A3139-FC | Standardní čerpadlo + příslušenství čisticího ventilu + součásti ventilátoru | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standardní molekulární pumpa | A3140-F | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3140-FA | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
| Komponenty ventilátoru | A3140-FB | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro proplachovací ventil, součásti ventilátoru | A3140-FC | Standardní čerpadlo + příslušenství čisticího ventilu + součásti ventilátoru | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standardní molekulární pumpa | A3135-F | Standardní čerpadlo（vodní chlazení je standardně ve výchozím nastavení) |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3135-FA | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
| Komponenty ventilátoru | A3135-FB | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro proplachovací ventil, součásti ventilátoru | A3135-FC | Standardní čerpadlo + příslušenství čisticího ventilu + součásti ventilátoru | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standardní molekulární pumpa | A3136-F | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3136-FA | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
| Komponenty ventilátoru | A3136-FB | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro proplachovací ventil, součásti ventilátoru | A3136-FC | Standardní čerpadlo + příslušenství čisticího ventilu + součásti ventilátoru | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standardní molekulární pumpa | A3141-F | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3141-FA | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
| Komponenty ventilátoru | A3141-FB | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro proplachovací ventil, součásti ventilátoru | A3141-FC | Standardní čerpadlo + příslušenství čisticího ventilu + součásti ventilátoru | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standardní molekulární pumpa | A3142-F | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3142-FA | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
| Komponenty ventilátoru | A3142-FB | Standardní komponenty čerpadla + ventilátoru | |||
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3142-FC | Standardní čerpadlo + odvzdušňovací ventil |
| Komponenty ventilátoru | příslušenství + komponenty ventilátorů | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standardní molekulární pumpa | A3187 | Standardní čerpadlo（Vodní chlazení je standardně ve výchozím nastavení) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standardní molekulární pumpa | A3188 | Standardní čerpadlo（Vodní chlazení je standardně ve výchozím nastavení) |
|
9 |
EVFB-400/4500 (LF) |
A3185 | standardní molekulární pumpa | A3185 | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3185-A | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standardní molekulární pumpa | A3186 | Standardní čerpadlo（Chlazení vodou je standardně standardně） |
| Příslušenství pro vyplachovací ventily | A3186-A | Standardní příslušenství čerpadla + čistícího ventilu | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Ručně ovládaný panel |
A3261-1 | Volitelné zákazníkem ， Vhodné pro molekulární čerpadla, jako je EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Oddělený ovladač (4U) | A3270 | Vhodné pro Turbo molekulární čerpadla, jako jsou EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Oddělený ovladač (2U) | A3264 | Vhodné pro molekulární pumpy, jako je EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、 EVFB-250/2201 (oddělený typ) |
