Regulátor hmotnostního průtoku Měřič hmotnostního průtoku CS200
Funkce
1. Vysoká přesnost a rychlá odezva
Přesnost CS200 MFC byla vylepšena na ±1,0 % SP a nejpokročilejší modely mají zkrácenou dobu odezvy na méně než 0,8 s.
2. Nízký nulový drift a teplotní koeficient
Vynález nové senzorové technologie umožňuje CS200 MFC udržovat stabilitu a odolávat teplotním výkyvům.Bez zesilovače s automatickou nulou je očekávaný posun nuly menší než 0,6 % FS/rok a teplotní koeficient je menší než 0,02 % FS/℃ (nula)，0,05 % FS/ ℃ (rozpětí).
3. Kovově utěsněné modely a funkce vysoké čistoty
Smáčená dráha proudění u řady CS200 MFC je vyrobena z povrchově pasivované nerezové oceli.Všechny CS200 MFC jsou sestaveny v ultračistých čistých prostorách třídy 100 společnosti Sevenstar v souladu s normami SEMI a ISO 9001.
4. Kompatibilní rozhraní
CS200 MFC je kompatibilní s následujícími rozhraními, která si může vybrat zákazník: ±8V-±16V dvoukoncový napájecí zdroj a +14V-+28V jednostranný napájecí zdroj;digitální nebo analogový vstup a výstup signálu;SEMI standardní mechanické rozměry;a komunikační modul RS-485 nebo DeviceNet.
5. Různé funkce
Výkonný zákaznický software je standardně dodáván s každým modelem, zatímco další funkce, jako je více plynů, více rozsahů, automatické nulování, alarmy, měkký start a zpoždění jsou k dispozici podle výběru zákazníka.
Specifikace
| CS200 | |||||||
| Typ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Kompletní rozsah (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Přesnost | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS? (＜35 % FS) | ||||||
| Linearita | ±0,5 % FS | ||||||
| Opakovatelnost | ±0,2 % FS | ||||||
| Doba odezvy | ≤ 1 sec | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Poloha ventilu | Normálně zavřeno popř | Žádný ventil | Normálně zavřeno popř | Žádný ventil | Normálně zavřeno popř | Žádný ventil | |
| Normálně otevřeno (100 sccm≤FS≤5 slm）) | Normálně otevřeno (100 sccm≤FS≤5 slm）) | Normálně otevřeno (100 sccm≤FS≤5 slm）) | |||||
| Diferenční tlak | 0,05 až 0,35 MPa (průtok ≤ 10 slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPaＤ10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPaＤ10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 až 0,35 MPa (10 SLm) Průtok ≤ 30 SLm | (0,1–0,35) MPa＞10slm） | (0,1–0,35) MPa＞10slm） | |||||
| 0,2–0,45 MPa （průtok＞30slm） | |||||||
| Maximální provozní tlak | 0,45 MPa | |||||
| Teplota | Nula: ≤ ± 0,05 % FS/℃; | Nula: ≤ ± 0,02 % FS/℃;Rozsah: ≤ ± 0,05 % FS/℃ | ||||
| Součinitel | Rozpětí: ≤±0,1% FS/℃（průtok≤30slm） | |||||
| Rozpětí: ≤±0,2% FS/℃（průtok>30slm） | ||||||
| Důkazný tlak | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6 % FS za rok bez automatického nulování | |||||
| Únik integrity | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Vlhčené materiály | Viton; | Kov? (Nerezová ocel V/V, 5Ra) | Kov | |||
| Chemie povrchů | —— | poměr Cr/Fe ＞2,0;Tloušťka CrO ＞20 Angstromů | ||||
| Povrchová úprava | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Provozní teplota | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Vstupní signál | Digitální: RS485 nebo ProfiBus | N/A | Digitální: RS485 nebo ProfiBus nebo DeviceNetTM | N/A | Digitální:RS485 nebo ProfiBus nebo DeviceNetTM | N/A |
| nebo DeviceNetTM | Analogové: (0～5)VDC nebo (4～20)mA nebo (0～20)mA | Analogové: (0～5)VDC nebo (4～20)mA?nebo (0～20)mA | |||||
| Analogové: (0～5)VDC nebo (4～20)mA nebo (0～20)mA | |||||||
| Výstupní signál | Digitální: RS485 nebo DeviceNetTM nebo ProfiBus Analog: (0～5)VDC nebo (4～20)mA nebo (0～20)mA | ||||||
| Zdroj napájení | ±8 ~ ±16 V DC nebo +14 ~ +28 V DC (400 mA) | ||||||
| Elektronický konektor | 9kolíkový samec sub-D ，15kolíkový samec sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, analogový | ||||||
| Kování | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Kompresní armaturaΦ10; Kompresní armaturaΦ6； | Kompresní armaturaΦ6, | ||||||
| Kompresní armatura 3/8”;Kompresní armatura 1/4”； | Kompresní armaturaΦ3, | ||||||
| Kompresní armatura 1/8”;Kompresní armaturaΦ3； | Kompresní armatura 1/4”, | ||||||
| Ф6(vnitřní)×1hadice;ф5(vnitřní)×1,5hadice;ф4(vnitřní)×1hadice; | W-těsnění, | ||||||
| A-sael ; | C-těsnění | ||||||
| Hmotnost | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
