Regulátory hmotnostního průtoku (MFC) poskytují přesné měření a řízení hmotnostního průtoku plynů.
I. Jaký je rozdíl mezi MFC a MFM?
Hmotnostní průtokoměr (MFM) je druh přístroje, který přesně měří průtok plynu a jeho naměřená hodnota není nepřesná kvůli kolísání teploty nebo tlaku a nevyžaduje kompenzaci teploty a tlaku. Regulátor hmotnostního průtoku (MFC) nejen má funkci hmotnostního průtokoměru, ale co je důležitější, může automaticky řídit průtok plynu, to znamená, že uživatel může nastavit průtok podle svých potřeb a MFC automaticky udržuje průtok konstantní na nastavené hodnotě, i když tlak v systému Kolísání nebo změny okolní teploty nezpůsobí odchylku od nastavené hodnoty.Regulátor hmotnostního průtoku je zařízení s ustáleným průtokem, což je zařízení s ustáleným průtokem plynu, které lze ručně nastavit nebo automaticky ovládat spojením s počítačem.Hmotnostní průtokoměry pouze měří, ale neřídí.Regulátor hmotnostního průtoku má regulační ventil, který může měřit i řídit průtok plynu.
II.Jaká je struktura aprincip fungování?
1, Struktura
2、 Princip fungování
Když tok vstupuje do sacího potrubí, většina toku prochází přes kanál převáděče, jehož malá část vstupuje do kapiláry uvnitř snímače.Díky speciální struktuře
přes kanál odklonu, mohou být obě části proudu plynu přímo úměrné.Snímač je předehřátý a zahřátý a teplota uvnitř je vyšší než teplota přiváděného vzduchu.V tomto okamžiku je měřen hmotnostní průtok malé části plynu na principu přenosu tepla kapilárou a principu teplotní diferenční kalorimetrie.Tok plynu měřený tímto způsobem může ignorovat vlivy teploty a tlaku.Signál měření průtoku detekovaný snímačem je přiveden na desku plošných spojů a zesílen a vydán a funkce MFM je dokončena.Přidání funkce automatického řízení s uzavřenou smyčkou PID na obvodovou desku, Porovnejte signál měření průtoku měřený snímačem s nastaveným signálem zadaným uživatelem.Na základě toho je regulační ventil řízen tak, aby signál detekce průtoku byl roven nastavenému signálu, čímž je realizována funkce MFC.
III.Aplikace a funkce.
MFC, který je široce používán v oblastech jako: výroba polovodičů a IC, věda o speciálních materiálech, chemický průmysl, ropný průmysl, farmaceutický průmysl, ochrana životního prostředí a výzkum vakuových systémů atd. Typické aplikace zahrnují: mikroelektronická procesní zařízení, jako je difúze oxidace, epitaxe, CVD, plazmové leptání, naprašování, iontová implantace;vakuová depoziční zařízení, tavení optických vláken, mikroreakční zařízení, směšovací a párovací plynový systém, kapilární systém řízení toku, plynový chromatograf a další analytické přístroje.
MFC přináší vysokou přesnost, vynikající opakovatelnost, rychlou odezvu, měkký start, lepší spolehlivost, širokou škálu provozních tlaků (dobrý provoz ve vysokotlakých a vakuových situacích), jednoduché pohodlné ovládání, flexibilní instalaci, možnost připojení k PC pro automatické provádění ovládání systému uživatelů.
IV.Jak určit fneduhy?
Naše společnost má profesionálního poprodejního inženýra, který vám může pomoci vyřešit problémy s instalací a používáním.
Čas odeslání: 29. července 2022