I. Zavedení ventilu
Vakuový ventil je součást vakuového systému, která se používá ke změně směru proudění vzduchu, nastavení velikosti proudění plynu, přerušení nebo připojení potrubí k vakuovému systému.Uzavírací části vakuového ventilu jsou utěsněny pryžovým těsněním nebo kovovým těsněním.
II.Běžné aplikace vakuových ventilů.
Vakuové ventily
Používá se v zařízeních s vysokým nebo ultravysokým vakuem, když musí být vakuum udržováno v uzavřeném vakuovém manipulačním systému.Vakuové ventily se používají k řízení průtoku vzduchu do vakuové komory, izolaci, odvětrávání, snížení tlaku nebo řízení vedení.Šoupátka, řadové ventily a rohové ventily jsou nejběžnějšími typy vakuových ventilů používaných pro aplikace s vysokým nebo ultra vysokým vakuem.Mezi další typy ventilů patří škrticí ventily, přepouštěcí ventily, kulové ventily, kyvadlové ventily, celokovové ventily, vakuové ventily, hliníkové rohové ventily, vakuové ventily potažené teflonem a přímé ventily.
Klapkové ventily
jsou rychle otevírané ventily skládající se z kovových kotoučů nebo lopatek, které se otáčejí v pravém úhlu ke směru proudění v potrubí a při otáčení kolem své osy ventil utěsňuje sedlo v tělese ventilu.
Přepouštěcí ventily (pravoúhlá šoupátka)
Oddělovací ventily vhodné pro použití mezi podtlakovými komorami a přenosovými komorami a mezi přenosovými komorami a zpracovatelskými komorami v zařízeních na výrobu polovodičů.
Vakuové kulové ventily
jsou čtvrtotáčkové ventily s přímým průtokem s kruhovým uzávěrem s odpovídajícím kruhovým sedlem pro rovnoměrné namáhání těsnění.
Kyvadlové ventily
je velký škrticí ventil umístěný mezi procesní vakuovou komorou a vstupem turbomolekulárního čerpadla.Tyto vakuové kyvadlové ventily jsou typicky navrženy jako hradlové nebo kyvadlové ventily pro aplikace včetně OLED, FPD a PV průmyslových výrobních systémů.
Celokovové ventily
Navrženo pro použití v prostředí s ultra vysokým vakuem, kde vysoké teploty neumožňují použití elastomerů a kryogenních těsnění.Vypékatelné celokovové ventily poskytují spolehlivé vysokoteplotní utěsnění od atmosférického tlaku pod 10-11 mbar.
Vakuové ventily
Spolehlivě fungují v systémech výroby polovodičů a v aplikacích s chemickým znečištěním a znečištěním částicemi.Mohou být použity v drsném vakuu, vysokém vakuu nebo ultra vysokém vakuu.
Hliníkové rohové ventily
Vstup a výstup těchto ventilů jsou navzájem v pravém úhlu.Tyto rohové ventily jsou vyrobeny z hliníku A6061-T6 a používají se ve výrobě polovodičů a přístrojů, výzkumu a vývoji a průmyslových vakuových systémech pro drsné až vysoce vakuové aplikace.
Vakuový ventil potažený teflonem je plně konstruované vakuové zařízení z nerezové oceli s trvanlivým a vysoce chemicky odolným povlakem.
III.Charakteristika vakuových ventilů.
Tlak je nižší než atmosférický tlak a tlaková ztráta na klapce ventilu nesmí překročit 1 kg síly/cm.Pracovní teplota média závisí na procesu použitého zařízení.Teplota obecně nepřesahuje rozsah -70 ~ 150 °C.Nejzákladnějším požadavkem na takové ventily je zajištění vysokého stupně těsnosti spoje a hustoty konstrukce a materiálu těsnění.
Podle středotlakého vakua lze ventily rozdělit do čtyř skupin.
1) Ventily pro nízké vakuum: střední tlak p=760~1 mmHg.
2）Vakuové ventily: p=1×10-3 mmHg.
3) Vysokovakuové ventily: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ventil pro ultravysoké vakuum: p≤1×10-8 mmHg.
Jako ventil s uzavřeným okruhem s průměrem průchodu menším než 250 mm je široce používaným vřetenem vakuový vlnovcový uzavírací ventil s lineárním pohybem.Šoupátka jsou však omezenější, ale to platí hlavně pro velké průměry.K dispozici jsou také kulové ventily (kulové ventily), plunžrové ventily a škrticí ventily.Zátkové ventily pro vakuové ventily nebyly podporovány, protože vyžadují mazání olejem, což umožňuje, aby se olejové páry dostaly do vakuového systému, což není povoleno.Vakuové ventily lze ovládat ručně i dálkově v terénu, dále elektricky, elektromagneticky (elektromagnetické ventily), pneumaticky a hydraulicky.
Čas odeslání: srpen-11-2022