Společnost Beijing Super Q Technology Co., Ltd. má olejem mazaná 600L, 1200L, 1600L složená molekulární čerpadla řady EV a molekulární čerpadla 3600L turbínového typu;300L, 650L, 1300L, 2000L směsná molekulární čerpadla mazaná tukem.Tento článek se zaměřuje na vysvětlení charakteristik, instalace, použití a údržby molekulárních čerpadel na mazací tuk řady EV-Z.
Charakteristiky struktury
Molekulární čerpadlo na mazivo řady EV využívá dovážená přesná keramická ložiska, rotor čerpadla prostřednictvím dynamické rovnováhy, stabilní a spolehlivý provoz, třífázový motor s veverkovou klecí, mazání ložisek mazáním tukem, lze namontovat v jakékoli orientaci.
instalace a použití
I. O Ultimate Pressure
„Ultimátní tlak“ molekulární pumpy je založen na mezinárodní normě ISO „Testovací metoda pro výkon turbomolekulárních pump“, Po úplném vypálení těla pumpy a testovacího krytu (48 hodin sušení a odplynění) je nejnižší tlak naměřen při specifikovaná poloha zkušebního krytu.hodnota tlaku.Při skutečném použití je hodnota „mezního tlaku“ vztažena k pracovnímu tlaku a efektivní rychlosti čerpání nakonfigurovaného podpůrného čerpadla.Volba výkonnějšího podpůrného čerpadla je velmi prospěšná pro dosažení vyššího vakua a zkrácení výfukového času.
Navíc vzhledem ke zvláštnosti výfukového principu molekulární pumpy je požadováno, aby vstup vzduchu pumpy byl co nejširší a cesta plynu z vakuové komory k portu molekulární pumpy by se měla co nejvíce otáčet. možné, aby se dosáhlo co nejlepší účinnosti molekulárního čerpadla a zaručeno vyšší konečné vakuum.
II.Instalace
2.1 Otevřete balíček
Před instalací zkontrolujte, zda molekulární pumpa nebyla poškozena při přepravě.
Metoda je následující: podívejte se na pokyny pro napájení molekulární pumpy, připojte ji správně k molekulární pumpě, nemusíte propouštět vodu ani vakuum, spusťte molekulární pumpu a zkontrolujte, zda běží a zda je nějaká abnormální zvuk.Pokud dojde k nějaké abnormalitě, stiskněte včas vypínač, aby se čerpadlo zastavilo.Poznámka: Frekvence napájení by během zkušebního provozu neměla být vyšší než 25 Hz
2.2 Připojení vysokovakuové příruby
Připojení molekulární pumpy může být zvedáno pomocí vysokovakuové příruby nebo upevněno na základně.Molekulární čerpadlo musí být upevněno, když je vysokovakuová příruba molekulárního čerpadla připojena k systému prostřednictvím kovového vlnovce.
(Těsnicí plocha příruby nemá žádné škrábance a na těsnicím kroužku nesmí být nic)
2.3 Přední vakuové připojení
Mezi čerpadlem přední řady a molekulárním čerpadlem by měl být instalován izolační a odvzdušňovací ventil, aby se zabránilo mechanickému čerpadlu vracet olej po vypnutí.
2.4 Připojení plnicího zařízení plynu
Aby bylo zajištěno čisté vakuové prostředí, po zastavení molekulárního čerpadla může být vakuový systém naplněn dusíkem nebo suchým vzduchem.Obecně lze k potrubí předního stupně připojit odvzdušňovací ventil nebo k odvětrání plynu na vysokovakuovém konci lze použít vysokopodtlakový ventil.
III.Připojení chlazení
Kvůli vysokorychlostnímu rotačnímu tření ložiska, zahřívání tělesa čerpadla a nárůstu teploty motoru musí být ložisko a motor chlazeny, když molekulární čerpadlo pracuje.Chlazení vzduchem se obecně používá a chlazení vodou se používá, když je okolní teplota vyšší než 38 °C.Trubku na měkkou vodu s vnějším průměrem 10 mm lze přímo připojit ke vstupu a výstupu vody molekulárního čerpadla.Používá se systém cirkulační vody s čistou vodou a lze použít i vodu z vodovodu s nízkými srážkami (teplota vody musí být ≤28°C).
Náhodné zastavení vody nebo vysoká teplota vody způsobí, že teplotní senzor těla molekulární pumpy bude fungovat a napájecí zdroj okamžitě spustí alarm a zastaví výstup.
Po neočekávaném zastavení vody nebo příliš vysoké teplotě vody trvá asi 15 minut (konkrétní čas závisí na rychlosti nárůstu teploty), dokud molekulární pumpa nezazní alarm kvůli přehřátí.
IV.Pečení
Konečný tlak závisí na čistotě vnitřku vývěvy a vakuové dráze včetně vakuové komory.Aby bylo dosaženo maximálního tlaku v co nejkratším čase, musí být vakuový systém a molekulární pumpa vypáleny.Pečení by mělo být prováděno s normálně běžícím molekulárním čerpadlem.
Teplota pečení molekulárního čerpadla by měla být nižší než 80 °C, vysokovakuová příruba připojená k portu čerpadla by neměla být vyšší než 120 °C a teplota pečení vakuového systému je obecně nižší než 300 °C.poškození.
Doba pečení závisí na stupni znečištění systému a molekulárního čerpadla a očekávaném mezním pracovním tlaku, ale minimální doba by neměla být kratší než 4 hodiny.
Pro dosažení vakua 10-4Pa v zásadě není zapotřebí žádné pečení;pro dosažení vakua 10-5Pa stačí pouze zapékání samotného vakuového systému;pro získání ultravysokého vakua je obvykle potřeba vakuový systém a molekulární čerpadlo vypéct současně.Měřicí systém by měl být plně propečený, jinak to ovlivní přesnost naměřených dat kvůli jeho odplynění.
V.Úkon
Ujistěte se, že předběžné vakuum je lepší než 15 Pa, stiskněte tlačítko RON pro spuštění molekulární pumpy a stiskněte tlačítko STOP pro zastavení po použití.Pozornost!Tlačítko měkkého startu musí být použito pro první použití nebo pro opětovné použití po dlouhodobém nečinnosti.Operace měkkého startu je následující: vakuum aktuálního stupně je lepší než 15 Pa a je stisknuto tlačítko měkkého startu.Po 110 minutách dosáhne molekulární pumpa pracovní frekvence 550 Hz (550 Hz odpovídá molekulární pumpě EV300Z, 400 Hz odpovídá molekulární pumpě EV650Z, 1300Z, 2000), poté stiskněte klávesu měkkého startu (klávesa je nahoře) pro zastavení měkkého Start.
(Během normálního provozu molekulární pumpy je zakázáno přenášet, přemisťovat nebo plnit vzduch.)
VI.Údržba a oprava
6.1 Čištění čerpadla
Když se únik vzduchu a rychlost desorpce vakuového systému nemění a výkon vakua nelze obnovit ani po dlouhé době pečení nebo když podpůrné čerpadlo vážně vrací olej, je třeba čerpadlo vyčistit.
（Pokud je nutné čerpadlo opravit a vyčistit, musí jej rozebrat profesionální technici.Pokud jej rozeberete bez zaškolení, následky ponesete na vlastní nebezpečí.）
6.2 Výměna ložisek
Vzhledem k tomu, že čerpadlo musí být vyváženo, ložisko nemůže být vyměněno uživatelem.
6.3 Ochrana proti nárazu
Molekulární čerpadlo je vysokorychlostní rotační stroj.Mezera mezi pohyblivou deskou a statickou deskou je velmi malá a nemůže odolat nadměrnému nárazu.Rychlost a zrychlení pohybujícího se nosiče v kontaktu s ním by měly být omezeny.Kromě toho náhlý dopad atmosférického objemu a pád vnějších tvrdých předmětů během normálního provozu molekulární pumpy také způsobí vážné poškození molekulární pumpy.
6.4 Vibrační izolace
Obvykle byla molekulární pumpa přísně testována a vibrace jsou velmi malé a lze ji přímo připojit k čerpanému systému.Pro aplikace s vysoce přesnými nástroji (jako jsou elektronové mikroskopy atd.) se doporučuje používat izolátory vibrací, aby se minimalizoval dopad vibrací na nástroj.
6.5 Silné stínění magnetického pole
Rotující rotor generuje v magnetickém poli vířivý proud, který způsobí zahřátí rotoru.Protože teplo oslabí pevnost hliníkového materiálu, je aplikace molekulární pumpy v magnetickém poli do určité míry omezena.
6.6 elektromagnetické rušení
Některé vysokofrekvenční přístroje, jako jsou molekulární čerpadla a frekvenční měniče, mohou způsobovat elektromagnetické rušení okolního prostředí.Ale v případě splnění mezinárodních standardů nebude aplikace molekulárních pump omezena.Pokud jsou požadavky splněny, měly by být současně vydány odpovídající certifikáty.
6.7 Silné omezení radioaktivity
Většina materiálů změní své vlastnosti v silně radioaktivním prostředí, zejména organické materiály (jako je olej z molekulárních čerpadel, těsnicí kroužky) a polovodičové součástky.Molekulární čerpadlo může odolat intenzitě záření 105 rad.Výběrem antiradioaktivních materiálů a použitím motorem poháněného napájecího zdroje lze odolnost proti záření zlepšit.Při čerpání tritia, aby se zabránilo úniku radioaktivního prvku tritia do atmosféry, musí být všechny těsnicí kroužky v molekulárním čerpadle vyrobeny z kovových materiálů
6.8 Pumpa přední linie
Na vysokotlakém konci výkonnostní křivky molekulárního čerpadla se vstupní tlak pohybuje v rozmezí od přibližně 200 Pa do 10-1 Pa v rozsahu tří řádů.Střední volná dráha molekul plynu se zmenšuje a pumpovací efekt se začíná zhoršovat.Proto v přechodové zóně platí, že čím větší je použití podpůrného čerpadla, tím větší je čerpací rychlost molekulárního čerpadla.Čerpadlo přední linie by nemělo být menší než minimálně 3 l/s.
Běžné závady a odstraňování problémů
Molekulární molekulární čerpadlo řady EV-Z mazané mazivem je mechanické vakuové čerpadlo, které realizuje odsávání vzduchu prostřednictvím relativně vysokorychlostního otáčení vícestupňových dynamických a statických lopatek turbíny.Turbomolekulární čerpadlo má vlastnosti vysoké rychlosti čerpání a vysokého kompresního poměru v oblasti molekulárního toku a je energeticky úspornější než difuzní čerpadlo a nedochází k znečištění olejem a párou.Molekulární molekulární čerpadlo řady EV mazané mazivem je molekulární čerpadlo s největší čerpací rychlostí 100 ráží v Číně.
Toto molekulární čerpadlo nemá žádnou selektivitu a žádný paměťový efekt na plyn, který má být čerpán.Díky vysokému kompresnímu poměru plynu s velkou molekulovou hmotností může čerpadlo dosáhnout čistého vysokého vakua a ultra vysokého vakua bez vymrazovacích pastí a olejových přepážek..Je široce používán v různých oblastech elektroniky, metalurgie, chemického průmyslu, vědeckého výzkumu a vakuové techniky.
Čas odeslání: Červenec-01-2022