Tepelný regulátor hmotnostního toku plynu (MFC)
Thermřasymoselfnízkýmeter(MFM) isakindofaaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressjistě, nepotřebujithecompensationoftemperatjistěandpressure.
Modelka | SQC-100 |
Rozsahy průtoku (N2) | 0~5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Přesnost | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Typ pohonu ventilu | Normální zavřeno |
Linearita | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Opakovatelnost | ±0,2%FS |
Doba odezvy | ≤ 1 sec |
Vstupní/výstupní signál | 0~5V |
Elektrický kloub | DB15 pin (jehla) |
Operace Tem. | 5~45℃ |
Diferenciální Pre. | 0,05–0,5 MPa (MFC)) 0,03~3,0 MPa (MFM) |
Míra úniku | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Tlak | 3 MPa |
Střední Materiál | 316L SS a těsnící materiál |
Těsnicí materiál | Viton, silikonová pryž, NBR, teflon, kovové těsnění. |
Velikost kloubu | VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm |
Zdroj napájení | +15V,50mA;-15V,200mA |
Modelka | SQC-200 |
Rozsahy průtoku (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
MFM: 0~20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM | |
Přesnost | ±2%FS |
Typ pohonu ventilu | Normální zavřeno |
Linearita | ±2%FS |
Opakovatelnost | ±0,2%FS |
Doba odezvy | ≤ 5 s |
Vstupní/výstupní signál | 1~5V;4~20mA |
Elektrický kloub | DB15 pin (jehla) |
Operace Tem. | 5~45℃ |
Diferenciální Pre. | 0,1–0,3 MPa(MFC))) 0,05~3,0MPa(MFM) |
Míra úniku | 1×10-8SCCS (He) |
Max.Tlak | 3 MPa |
Střední Materiál | 316L SS a těsnící materiál |
Těsnicí materiál | Viton, silikonová pryž, NBR, ERP, teflon |
Velikost kloubu | Swagelok 3/8” 、1/2”; φ8, φ10, φ12 mm |
Zdroj napájení | 24V, 0,5A |
Zde napište svou zprávu a pošlete nám ji