EV-serien sammensatte molekylære pumper
EV-seriens tekniske data
Model | EV-600 EV-600F | EV-1200 EV-1200F | EV-1600 EV-1600F | ||||
Indløbsflange (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
Udløbsflange (mm) | 40 KF | 40 KF | 50 KF | ||||
Pumpehastighed (L/S) | 600 | 1200 | 1600 | ||||
Kompressions forhold | N2 | >109 | >109 | >109 | |||
H2 | >8X103 | >1X104 | >1X104 | ||||
Ultimativt vakuum (Pa) | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | <8X10-8 | <5X10-7 | |
Rotationshastighed (rpm) | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Vibration | ≤0,1 μm | ≤0,1 μm | ≤0,15 μm | ||||
Opløbstid (min) | <4,5 | <5 | <6 | ||||
Støttepumpe | 4-8 L/S | 8-15 L/S | 15 L/S | ||||
Afkølingsmetode | Vand(luft)køling | Vand(luft)køling | Vand(luft)køling | ||||
Kølevandstemperatur (℃) | ≤20 | ≤20 | ≤20 | ||||
Omgivelsestemperatur (℃) | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ||||
Kølevandsflowmængde | 1-2 l/min | 1-2 l/min | 1-2 l/min | ||||
Udbagningstemperatur (℃) | <120 | <120 | <120 | ||||
Varmekraft (w) | <250 | <300 | <300 | ||||
Varmeapparatets indgangsspænding (v) | AC220 | AC220 | AC220 | ||||
Montering | Lodret ±5° | Lodret ±5° | Lodret ±5° | ||||
Vægt (kg) | ≈25 | ≈29 | ≈31 |
Atmosfærisk pumpekurve af forbindelse
Molekylær pumpe
Komprimeringsforholdskurve for nitrogen og brint
med sammensat molekylær pumpe
EV Series Installationsdimensionstabel for sammensat molekylær pumpe
Model | EV-600 | EV-1200 | EV-1600 | ||||
Indløbsflange (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K | |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 | |
D2 | Φ212 | Φ212 | Φ237 | Φ237 | Φ274 | Φ274 | |
D3 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ296 | Φ296 | |
D4 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,9 | ¨183,9 | |
H1 | 375 | 375 | 405 | 405 | 393 | 393 | |
H2 | 235 | 235 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H3 | 238 | 238 | 265 | 265 | 250 | 250 | |
H4 | 108 | 108 | 113 | 113 | 110 | 110 | |
H5 | 4 | 4 | 19 | 19 | 16 | 16 | |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 160 | 160 | |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 176 | 176 | |
Pumpebens skruehul | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | |
Udløbsflange (mm) | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | KF50 | KF50 |
EV Series luftkølende sammensatte molekylære pumper
EV-serien luftkølet sammensat molekylær pumpe er sammensat af turbomolekylær pumpe og skivetraktionspumpe.Det har karakteristika af høj pumpehastighed og kompressionsforhold for molekylær strømning af turbomolekylær pumpe, høj pumpehastighed og kompressionsforhold for højt tryk af traktionspumpe, og udvider anvendelsesområdet for molekylær pumpe.
Den sammensatte molekylære pumpe har ingen selektivitet og hukommelseseffekt på den pumpede gas.På grund af dets høje kompressionsforhold til gassen med stor molekylvægt, kan pumpen opnå rent høj- og ultrahøjt vakuum uden kuldefælde og olieskærm.Det er meget udbredt inden for forskellige områder af elektronik, metallurgi, kemisk industri, videnskabelig forskning og vakuumteknologi.
Model | EV-600F | EV-1200F | EV-1600F | |||
Indløbsflange (mm) | 150 CF | 160 ISO-K | 200 CF | 200 ISO-K | 250 CF | 250 ISO-K |
D1 | Φ202 | Φ180 | Φ253 | Φ240 | Φ305 | Φ290 |
D2 | Φ236 | Φ236 | Φ266 | Φ266 | Φ274 | Φ274 |
D3 | ¨145,7 | ¨145,7 | ¨167,6 | ¨167,6 | ¨183,8 | ¨183,8 |
H1 | 455 | 455 | 472 | 472 | 465 | 465 |
H2 | 217,5 | 217,5 | 210 | 210 | 214,5 | 214,5 |
H3 | 151 | 151 | 151 | 151 | 153 | 153 |
L1 | 130 | 130 | 145 | 145 | 161 | 161 |
L2 | 137 | 137 | 152 | 152 | 166 | 166 |
Pumpebens skruehul | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 | 4-M8 |