Massestrømskontrollere (MFC) giver præcis måling og kontrol af massestrømmen af gasser.
I. Hvad er forskellen mellem en MFC og en MFM?
Masseflowmåler (MFM) er en slags instrument, der nøjagtigt måler gasflow, og dets måleværdi er ikke unøjagtig på grund af udsving i temperatur eller tryk, og kræver ikke temperatur- og trykkompensation. Massestrømsregulatoren (MFC) ikke kun har funktionen som en masseflowmåler, men endnu vigtigere kan den automatisk styre gasflowet, det vil sige at brugeren kan indstille flowet efter deres behov, og MFC'en holder automatisk flowet konstant på den indstillede værdi, selvom systemtrykket Udsving eller ændringer i omgivelsestemperaturen vil ikke få det til at afvige fra den indstillede værdi.Massestrømsregulatoren er en konstant flow-enhed, som er en gas-steady flow-enhed, der kan indstilles manuelt eller automatisk styres ved tilslutning til en computer.Masseflowmålere måler kun, men kontrollerer ikke.Massestrømsregulatoren har en reguleringsventil, som både kan måle og styre gasstrømmen.
II.Hvad er strukturen ogfunktionsprincip?
1, struktur
2, Driftsprincip
Når flowet kommer ind i indsugningsrøret, passerer det meste af flowet gennem afledningskanalen, hvoraf en lille del kommer ind i kapillarrøret inde i sensoren.På grund af den særlige opbygning af
afledningskanalen, kan de to dele af gasstrømmen være direkte proportionale.Føleren forvarmes og opvarmes, og temperaturen indeni er højere end temperaturen på indblæsningsluften.På dette tidspunkt måles massestrømmen af den lille del af gassen ved princippet om varmeoverførsel af kapillarrøret og princippet om temperaturforskelkalorimetri.Strømmen af gas målt på denne måde kan ignorere virkningerne af temperatur og tryk.Flowmålesignalet, der detekteres af sensoren, indlæses på printkortet og forstærkes og udsendes, og MFM'ens funktion er fuldført.Tilføjelse af PID lukket sløjfe automatisk kontrolfunktion til printkortet, Sammenlign flowmålesignalet målt af sensoren med det indstillede signal givet af brugeren.Ud fra dette styres reguleringsventilen således, at flowdetektionssignalet er lig med det indstillede signal, og dermed realiseres MFC'ens funktion.
III.Applikationer og funktioner.
MFC, som er almindeligt anvendt inden for områder som: halvleder- og IC-fremstilling, specialmaterialevidenskab, kemisk industri, petroleumsindustri, farmaceutisk industri, miljøbeskyttelse og vakuumsystemforskning osv.. De typiske anvendelser omfatter: mikroelektronisk procesudstyr såsom diffusion , oxidation, epitaksi, CVD, plasmaætsning, sputtering, ionimplantation;vakuumaflejringsudstyr, optisk fibersmeltning, mikroreaktionsudstyr, blandings- og matchningsgassystem, kapillærstrømskontrolsystem, gaskromatograf og andre analytiske instrumenter.
MFC giver høj nøjagtighed, fremragende repeterbarhed, hurtig respons, soft-start, bedre pålidelighed, bred vifte af driftstryk (god drift i højtryks- og vakuumsituationer), enkel og bekvem betjening, fleksibel installation, mulig tilslutning til pc for at udføre automatisk kontrol til brugernes system.
IV.Hvordan man bestemmer og håndterer fproblemer?
Vores virksomhed har professionel eftersalgsingeniør, som kan hjælpe dig med at løse problemer med installation og brug.
Indlægstid: 29-jul-2022