Viden – Vakuumventiler

I. Indførelse af ventil
Vakuumventil er en vakuumsystemkomponent, der bruges til at ændre luftstrømmens retning, justere størrelsen af ​​gasstrømmen, afbryde eller forbinde rørledningen i vakuumsystemet.Vakuumventilens lukkedele er forseglet med gummitætning eller metaltætning.

II.Almindelige vakuumventilapplikationer.
Vakuum ventiler
Anvendes i høj- eller ultrahøjvakuumsystemudstyr, når vakuum skal opretholdes i et lukket vakuumhåndteringssystem.Vakuumventiler bruges til at styre luftstrømmen ind i vakuumkammeret, isolere, udlufte, give trykreduktion eller styre ledning.Portventiler, inline-ventiler og vinkelventiler er de mest almindelige typer af vakuumventiler, der bruges til høj- eller ultrahøjvakuumapplikationer.Yderligere ventiltyper omfatter sommerfugleventiler, overføringsventiler, kugleventiler, pendulventiler, helmetalventiler, vakuumventiler, aluminiumsvinkelventiler, teflonbelagte vakuumventiler og lige-gennemgående ventiler.

Sommerfugleventiler
er hurtigtåbnende ventiler bestående af metalskiver eller skovle, der drejer vinkelret på strømningsretningen i rørledningen, og når de drejes om deres akse, forsegler ventilen sædet i ventilhuset.

Overførselsventiler (rektangulære skydeventiler)
Adskillelsesventiler egnet til brug mellem belastningslåste vakuumkamre og overføringskamre og mellem overføringskamre og proceskamre i halvlederfremstillingsudstyr.

Vakuum kugleventiler
er kvart omgang lige flowventiler med en cirkulær lukkesamling med matchende cirkulære sæder for ensartet tætningsspænding.

Pendelventiler
er en stor spjældventil monteret mellem procesvakuumkammeret og turbomolekylærpumpens indløb.Disse vakuumpendulventiler er typisk designet som port- eller pendulventiler til applikationer, herunder OLED, FPD og PV industrielle produktionssystemer.

Helmetal ventiler
Designet til brug i miljøer med ultrahøjt vakuum, hvor høje temperaturer ikke tillader brug af elastomerer og kryogene pakningsmetaller.Bagebare helmetalventiler giver pålidelig højtemperaturforsegling fra atmosfærisk tryk til under 10-11 mbar.

Vakuum ventiler
Fungerer pålideligt i halvlederproduktionssystemer og i applikationer med kemisk og partikelforurening.De kan bruges i miljøer med hårdt vakuum, højvakuum eller ultrahøjt vakuum.

Vinkelventiler i aluminium
Indløbet og udløbet af disse ventiler er vinkelret på hinanden.Disse vinkelventiler er lavet af aluminium A6061-T6 og bruges i halvleder- og instrumenteringsfremstilling, R&D og industrielle vakuumsystemer til grov til højvakuumapplikationer.

Den Teflon-coatede vakuumventil er en fuldt konstrueret rustfrit stål vakuumkomponentenhed med en holdbar og meget kemisk resistent belægning.

III.Karakteristika for vakuumventiler.
Trykket er under atmosfærisk tryk og trykfaldet over ventilklappen må ikke overstige 1 kg kraft/cm.Mediets arbejdstemperatur afhænger af processen for den anvendte enhed.Temperaturen overstiger generelt ikke området -70 ~ 150°C.Det mest grundlæggende krav til sådanne ventiler er at sikre en høj grad af tæthed af forbindelsen og tætheden af ​​strukturen og pakningsmaterialet.

I henhold til mellemtryk kan vakuumventiler opdeles i fire grupper.
1) Lavvakuumventiler: mellemtryk p=760~1 mmHg.
2） Mellemvakuumventiler: p=1×10-3 mmHg.
3） Højvakuumventiler: p=1×10-4 ~1×10-7 mmHg.
4）Ultrahøjvakuumventil: p≤1×10-8 mmHg.

Som en lukket kredsløbsventil med en gennemløbsdiameter på mindre end 250 mm er den meget anvendte spindel en vakuumbælg-afspærringsventil med lineær bevægelse.Portventiler er dog mere begrænsede, men dette er primært til store diametre.Også tilgængelige er sfæriske propventiler (kugleventiler), stempelventiler og butterflyventiler.Stikventiler til vakuumventiler er ikke blevet fremmet, fordi de kræver oliesmøring, hvilket gør det muligt for oliedamp at komme ind i vakuumsystemet, hvilket ikke er tilladt.Vakuumventiler kan styres manuelt og fjernstyres i marken, såvel som elektrisk, elektromagnetisk (magnetventiler), pneumatisk og hydraulisk.