Beijing Super Q Technology Co., Ltd. har EV-serien oliesmurte 600L, 1200L, 1600L sammensatte molekylære pumper og 3600L turbinetype molekylære pumper;fedtsmurte 300L, 650L, 1300L, 2000L sammensatte molekylære pumper.Denne artikel fokuserer på at forklare egenskaberne, installationen, brugen og vedligeholdelsen af molekylære pumper med fedtsmøring i EV-Z-serien.
Strukturegenskaber
EV-serien fedt molekylær pumpe vedtager importerede præcision keramiske lejer, pumperotoren gennem den dynamiske balance, stabil og pålidelig drift, motor egern bur tre-fase motor, lejesmøring ved fedt smøring, kan monteres i enhver orientering.
installation og brug
I. Om Ultimate Pressure
Molekylærpumpens "Ultimate Pressure" er baseret på ISO's internationale standard "Testmetode for ydeevne af turbomolekylære pumper", Efter fuldstændig bagning af pumpelegemet og testdækslet (48 timers tørring og afgasning), er det laveste tryk målt kl. den angivne placering af testdækslet.trykværdi.Ved faktisk brug er værdien af 'grænsetryk' relateret til arbejdstrykket og den effektive pumpehastighed for den konfigurerede støttepumpe.At vælge en støttepumpe med højere ydeevne er meget fordelagtigt for at opnå højere vakuum og reducere udstødningstiden.
På grund af det særlige ved molekylpumpens udstødningsprincip kræves det desuden, at pumpens luftindtag er så bredt som muligt, og gasvejen fra vakuumkammeret til den molekylære pumpeport skal undgå at dreje så meget som muligt, for at udøve den bedste effektivitet af den molekylære pumpe, og garanteret højere ultimativt vakuum.
II.Installation
2.1 Åbn pakken
Før installationen skal du kontrollere, om molekylærpumpen er blevet beskadiget under transporten.
Metoden er som følger: se strømforsyningsvejledningen til molekylærpumpen, tilslut den korrekt med molekylærpumpen, behøver ikke at passere vand eller vakuum, start molekylærpumpen, og kontroller om den kører, og om der er evt. unormal lyd.Hvis der er noget unormalt, skal du trykke på stopkontakten i tide for at stoppe pumpen.Bemærk: Strømfrekvensen bør ikke være højere end 25Hz under prøvedrift
2.2 Tilslutning af højvakuumflangen
Molekylpumpens forbindelse kan hejses af højvakuumflangen eller fastgøres på basen.Molekylpumpen skal fastgøres, når molekylpumpens højvakuumflange er forbundet til systemet gennem en metalbælge.
(Flangetætningsfladen har ingen ridser, og der må ikke være noget på tætningsringen)
2.3 Foreline vakuumforbindelse
En isolerings- og udluftningsventil skal installeres mellem forlinjepumpen og molekylpumpen for at forhindre den mekaniske pumpe i at returnere olie efter nedlukning.
2.4 Tilslutning af gasopladningsenheden
For at have et rent vakuummiljø, efter at molekylpumpen er stoppet, kan vakuumsystemet fyldes med nitrogen eller tør luft.Generelt kan en udluftningsventil forbindes til rørledningen på fortrinnet, eller en højvakuumventil kan bruges til at udlufte gassen i højvakuumenden.
III.Tilslutning af køling
På grund af lejets højhastighedsroterende friktion, opvarmningen af pumpelegemet og motorens temperaturstigning, skal lejet og motoren afkøles, når molekylpumpen arbejder.Luftkøling bruges generelt, og vandkøling bruges, når den omgivende temperatur er højere end 38°C.Blødtvandsrøret med en ydre diameter på 10 mm kan tilsluttes direkte til vandindløbet og -udløbet på molekylpumpen.Der anvendes et cirkulerende vandsystem med rent vand, og postevand med lavt nedbør kan også anvendes (vandtemperaturen skal være ≤28°C).
Utilsigtet vandstop eller høj vandtemperatur vil få temperatursensoren på molekylpumpelegemet til at virke, og strømforsyningen vil straks alarmere og stoppe udgangen.
Der er et interval på ca. 15 minutter (den specifikke tid afhænger af temperaturstigningshastigheden) efter det uventede vandstop eller vandtemperaturen er for høj, indtil molekylpumpen alarmerer på grund af overophedning.
IV.Bagning
Det endelige tryk afhænger af renheden af indersiden af pumpen og vakuumbanen inklusive vakuumkammeret.For at opnå det ultimative tryk på kortest tid, skal vakuumsystemet og molekylepumpen bages.Bagning skal udføres med molekylær pumpe kørende normalt.
Molekylpumpens bagetemperatur bør være lavere end 80°C, højvakuumflangen forbundet til pumpeporten bør ikke være højere end 120°C, og bagetemperaturen for vakuumsystemet er generelt mindre end 300°C.af skader.
Bagetiden afhænger af forureningsgraden af systemet og molekylpumpen og det forventede grænsearbejdstryk, men minimumstiden bør ikke være mindre end 4 timer.
For at opnå et vakuum på 10-4Pa kræves der i princippet ingen bagning;for at opnå et vakuum på 10-5Pa er det kun tilstrækkeligt at bage selve vakuumsystemet;for at opnå ultrahøjt vakuum skal vakuumsystemet og molekylpumpen normalt bages samtidigt.Målesystemet skal være færdigbagt, ellers vil det påvirke nøjagtigheden af måledataene på grund af dets udgasning.
V.Operation
Bekræft, at forvakuumet er bedre end 15 Pa, tryk på RON-tasten for at starte molekylpumpen, og tryk på STOP-tasten for at stoppe efter brug.Opmærksomhed!Softstart-nøglen skal bruges første gang eller genbruges efter lang tids tomgang.Blødstartsoperationen er som følger: det aktuelle trinvakuum er bedre end 15Pa, og softstarttasten er trykket ned.Efter 110 minutter når molekylpumpen arbejdsfrekvensen på 550Hz (550Hz svarer til EV300Z molekylær pumpe, 400Hz Svarende til EV650Z, 1300Z, 2000 molekylær pumpe), tryk derefter på softstart-tasten (tasten er oppe) for at stoppe Start.
（Under normal drift af molekylærpumpen er det forbudt at bære, flytte eller fylde luft.）
VI.Vedligeholdelse og reparation
6.1 Rengøring af pumpen
Når vakuumsystemets luftlækage og desorptionshastighed ikke ændres, og vakuumydelsen ikke kan genoprettes, selv efter lang tids bagning, eller når støttepumpen seriøst returnerer olie, skal pumpen rengøres.
（Hvis pumpen skal repareres og rengøres, skal den skilles ad af professionelle teknikere.Hvis den skilles ad uden træning, vil konsekvenserne være på eget ansvar.）
6.2 Udskiftning af lejer
Da pumpen skal afbalanceres, kan lejet ikke udskiftes af brugeren.
6.3 Slagbeskyttelse
Molekylær pumpe er en højhastigheds roterende maskine.Afstanden mellem den bevægelige plade og den statiske plade er meget lille, og den kan ikke modstå overdreven stød.Hastigheden og accelerationen af den bevægelige bærer i kontakt med den bør begrænses.Derudover vil den pludselige påvirkning af atmosfærisk volumen og faldet af eksterne hårde genstande under den normale drift af molekylærpumpen også forårsage alvorlig skade på molekylpumpen.
6.4 Vibrationsisolering
Normalt er den molekylære pumpe blevet strengt testet, og vibrationen er meget lille, og den kan tilsluttes direkte til det pumpede system.Til instrumentapplikationer med høj præcision (såsom elektronmikroskoper osv.), anbefales det at bruge vibrationsisolatorer for at minimere vibrationspåvirkningen på instrumentet.
6.5 Kraftig magnetfeltafskærmning
Den roterende rotor genererer hvirvelstrøm i magnetfeltet, som vil få rotoren til at varme op.Da varmen vil svække styrken af aluminiumsmaterialet, er anvendelsen af molekylpumpen i magnetfeltet begrænset til en vis grad.
6.6 elektromagnetisk interferens
Visse højfrekvente instrumenter, såsom molekylære pumper og frekvensomformere, kan forårsage elektromagnetisk interferens i det omgivende miljø.Men i tilfælde af opfyldelse af internationale standarder vil anvendelsen af molekylære pumper ikke være begrænset.Hvis kravene er opfyldt, bør tilsvarende certifikater udstedes samtidig.
6.7 Stærk radioaktivitetsbegrænsning
De fleste materialer vil ændre deres egenskaber i et stærkt radioaktivt miljø, især organiske materialer (såsom molekylær pumpeolie, tætningsringe) og halvlederkomponenter.Molekylær pumpe kan modstå strålingsintensitet på 105rad.Ved at vælge anti-radioaktive materialer og bruge en motordrevet strømforsyning kan anti-strålingsstyrken forbedres.Ved pumpning af tritium skal alle tætningsringe i molekylpumpen være lavet af metalmaterialer for at forhindre det radioaktive grundstof tritium i at slippe ud i atmosfæren
6.8 Forline pumpe
Ved højtryksenden af den molekylære pumpes ydeevnekurve varierer indløbstrykket fra omkring 200 Pa til 10-1 Pa, der spænder over tre størrelsesordener.Den gennemsnitlige frie vej for gasmolekyler bliver mindre, og pumpeeffekten begynder at forværres.Derfor, i overgangszonen, jo større brugen af støttepumpen er, desto større er pumpehastigheden af den molekylære pumpe.Forlinjepumpen bør være mindst 3 L/S.
Almindelige fejl og fejlfinding
EV-Z-serien fedtsmurt sammensat molekylær pumpe er en mekanisk vakuumpumpe, der realiserer luftudsugning gennem relativt højhastighedsrotation af flertrins dynamiske og statiske turbineblade.Den turbomolekylære pumpe har karakteristika for høj pumpehastighed og højt kompressionsforhold i det molekylære flow-område og er mere energibesparende end diffusionspumpen og har ingen olie- og dampforurening.EV-serien fedtsmurt sammensat molekylær pumpe er den molekylære pumpe med den største pumpehastighed på 100 kalibre i Kina.
Denne molekylære pumpe har ingen selektivitet og ingen hukommelseseffekt på den gas, der skal pumpes.På grund af det høje kompressionsforhold for gassen med stor molekylvægt kan pumpen opnå rent højvakuum og ultrahøjt vakuum uden kuldefælder og oliebafler..Det er meget udbredt inden for forskellige områder af elektronik, metallurgi, kemisk industri, videnskabelig forskning og vakuumteknologi.
Posttid: Jul-01-2022