Termisk gasmassestrømskontrol (MFC)
Detrmalgermrøvflavmeter(MFM) erkindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressja, behøver ikkethecompensationoftemperatureandpressure.
Model | SQC-100 |
Flowområder (N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
Nøjagtighed | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Ventildrev type | Normal Lukket |
Linearitet | ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM) |
Gentagelighed | ±0,2%FS |
Responstid | ≤1 sek |
Input/output signal | 0~5V |
Elektrisk led | DB15 pin (nål) |
Operation Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Differential præ. | 0,05 ~ 0,5 MPa (MFC); 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Lækagerate | 1×10-8SCCS (He) |
Maks.Tryk | 3 MPa |
Medium materiale | 316L SS og tætningsmateriale |
Tætningsmateriale | Viton, Silikonegummi, NBR, Teflon, Metalforsegling. |
Ledstørrelse | VCR 1/4";Swagelok 1/8" 、1/4";φ3、 φ6mm |
Strømforsyning | +15V,50mA;-15V,200mA |
Model | SQC-200 |
Flowområder (N2) | MFC:0~20,30,50,100,150, 200SLM |
MFM: 0–20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM | |
Nøjagtighed | ±2%FS |
Ventildrev type | Normal Lukket |
Linearitet | ±2%FS |
Gentagelighed | ±0,2%FS |
Responstid | ≤5 sek |
Input/output signal | 1~5V~4~20mA |
Elektrisk led | DB15 pin (nål) |
Operation Tem. | 5 ~ 45 ℃ |
Differential præ. | 0,1 ~ 0,3 MPa (MFC); 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM) |
Lækagerate | 1×10-8SCCS (He) |
Maks.Tryk | 3 MPa |
Medium materiale | 316L SS og tætningsmateriale |
Tætningsmateriale | Viton, Silikonegummi, NBR, ERP, Teflon |
Ledstørrelse | Swagelok 3/8"、1/2"; φ8、φ10、φ12mm |
Strømforsyning | 24V,0,5A |
Skriv din besked her og send den til os